保护部件形成装置制造方法及图纸

提供保护部件形成装置，在按压液状树脂而使其扩展时，判定该液状树脂是否扩展到规定的范围。保护部件形成装置在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在基板的正面上形成保护部件，具有：液状树脂提供单元，其向与基板密接的树脂膜上提供液状树脂；以及按压单元，其具有平坦且具有透光性的按压面，隔着覆盖片而利用按压面按压液状树脂，使液状树脂在树脂膜上扩展；紫外线照射单元，其向液状树脂照射紫外线而使其硬化；以及判定单元，其判定被扩展的液状树脂的状态，判定单元具有：照相机，其拍摄液状树脂和基板；以及判定部，其根据照相机拍摄而得到的图像来检测液状树脂和基板，判定液状树脂是否扩展到以基板为基准的规定的范围。定的范围。定的范围。

【技术实现步骤摘要】
保护部件形成装置


[0001]本专利技术涉及在正面具有凹凸的基板的该正面上形成保护部件的保护部件形成装置。

技术介绍

[0002]用于移动电话或计算机等电子设备的器件芯片是通过从背面侧对排列配设有多个器件的基板进行磨削而使其薄化并按每个器件对该基板进行分割而形成的。基板的磨削通过磨削装置来实施。在磨削装置中，在使背面侧向上方露出的状态下利用卡盘工作台来保持基板，使在圆环轨道上移动的磨削磨具与该基板的背面侧接触而对该基板进行磨削。此时，为了保护基板的正面侧，在基板的正面预先粘贴层叠有基材层和糊层的保护部件。
[0003]在基板的正面侧配设有构成器件和布线的图案。另外，有时在基板的正面侧预先形成有作为器件的电极的凸块。因此，由于各种图案和凸块等而在基板的正面形成有凹凸。在基板的正面的凹凸的高低差较大的情况下，保护部件的糊层无法充分地吸收凹凸，保护部件的固定变得不稳定。另外，保护部件的基材层侧的面变得不平坦，无法在磨削装置的卡盘工作台上均匀地支承基板，因此在对基板进行磨削时基板的背面是不平坦的。
[0004]此外，在基板的外周部的没有形成器件的外周剩余区域中没有形成图案和凸块，比形成有器件的器件形成区域低，因此在基板的外周部无法充分地粘贴保护部件。因此，在对基板进行磨削时容易在基板的外周产生缺口。为了能够充分地吸收基板的正面的凹凸，考虑使用糊层较厚的保护部件，但在该情况下，在从基板剥离保护部件时容易在凹凸上残留糊层的残渣而成为器件芯片不良的原因。
[0005]因此，开发了如下的保护部件：向覆盖片上提供液状树脂，在使基板的正面侧朝向下方的状态下将基板载置在覆盖片上，从上方按压基板而使该液状树脂浸入到基板的凹凸，通过使该液状树脂硬化而形成保护部件(参照专利文献1)。在基板的正面形成该保护部件时，在基板的正面预先配设有膜。此时，使膜以仿照基板的正面的凹凸的方式与基板的正面密接。另外，至少在与基板的器件形成区域密接的区域中，在膜上不形成糊层，糊层不与基板的器件形成区域接触。
[0006]这里，如果使用比基板的正面宽的膜，则在朝向基板的正面的外侧扩展的液状树脂到达基板的外侧时，液状树脂被膜抑制，因此液状树脂不会绕入到基板的背面侧。所形成的保护部件包含膜、硬化的液状树脂以及覆盖片，覆盖片侧的面变得平坦。而且，在对基板进行磨削之后，如果从基板的正面连同膜一起去除保护部件，则在基板的正面的凹凸上不会残留液状树脂和糊层的残渣。
[0007]专利文献1：日本特开2017-50536号公报
[0008]但是，在对提供到与基板的正面密接的膜上的液状树脂进行按压而使其扩展时，存在液状树脂无法充分地扩展到规定的范围的情况。当在液状树脂没有充分地扩展的状态下使液状树脂硬化而形成保护部件时，在将基板搬入到磨削装置的卡盘工作台上时，基板无法被适当地支承。因此，无法得到期望的磨削结果，因此成为问题。

技术实现思路

[0009]本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于，提供在按压液状树脂而使其扩展时能够判定该液状树脂是否扩展到规定的范围的保护部件形成装置。
[0010]根据本专利技术的一个方式，提供保护部件形成装置，其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该正面平坦的保护部件，该树脂膜比该基板大并且与该基板的该正面以仿照该凹凸的方式密接，其特征在于，该保护部件形成装置具有：支承工作台，其对在该正面上密接有该树脂膜的该基板进行支承；液状树脂提供单元，其向与该支承工作台所支承的该基板密接的该树脂膜上提供该液状树脂；按压单元，其具有能够保持该覆盖片的平坦且具有透光性的按压面，该按压单元隔着由该按压面保持的该覆盖片而利用该按压面按压提供到该树脂膜上的该液状树脂，使该液状树脂在该树脂膜上扩展；紫外线照射单元，其隔着该按压面和该覆盖片向该液状树脂照射紫外线而使该液状树脂硬化，形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖片的该保护部件；以及判定单元，其判定被该按压单元扩展的该液状树脂的状态，该判定单元具有：照相机，其隔着该按压单元的该按压面从上方拍摄该液状树脂和该基板；判定部，其根据该照相机拍摄而得到的图像来检测该液状树脂和该基板，判定该液状树脂是否扩展到以该基板为基准的规定的范围；以及通知部，其通知该判定部的判定结果。
[0011]另外，根据本专利技术的另一方式，提供保护部件形成装置，其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该正面平坦的保护部件，该树脂膜比该基板大并且与该基板的该正面以仿照该凹凸的方式密接，其特征在于，该保护部件形成装置具有：支承工作台，其支承面由透光性部件形成，能够利用该支承面支承该覆盖片；液状树脂提供单元，其向该支承工作台所支承的该覆盖片的上表面提供该液状树脂；按压单元，其利用平坦的按压面从上方按压该树脂膜所密接的该正面朝向下方的状态的该基板，以使该树脂膜与该支承工作台所支承的该覆盖片上的该液状树脂密接；紫外线照射单元，其隔着该支承工作台的该支承面和该覆盖片向该液状树脂照射紫外线而使该液状树脂硬化，形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖片的该保护部件；以及判定单元，其判定被该按压单元扩展的该液状树脂的状态，该判定单元具有：照相机，其隔着该支承工作台的该支承面从下方拍摄该液状树脂和该基板；判定部，其根据该照相机拍摄而得到的图像来检测该基板和该液状树脂，判定该液状树脂是否扩展到以该基板为基准的规定的范围；以及通知部，其通知该判定部的判定结果。
[0012]优选的是，该照相机具有鱼眼镜头或广角镜头，该鱼眼镜头或该广角镜头与该紫外线照射单元相邻地配置，并且设置在与所面对的该基板的中央对应的位置，使用该鱼眼镜头或该广角镜头来实施拍摄。
[0013]在本专利技术的一个方式的保护部件形成装置中，向与基板的正面密接的树脂膜上提供液状树脂，使液状树脂隔着覆盖片被按压单元的按压面按压而在该树脂膜上扩展。此时，例如将按压面的方向设定为与基板的背面平行。而且，该保护部件形成装置具有判定单元，该判定单元具有透过该按压面而从上方拍摄该液状树脂和该基板的照相机。
[0014]或者，在本专利技术的一个方式的保护部件形成装置中，向覆盖片上提供液状树脂，利用与树脂膜密接的基板而隔着该树脂膜按压该液状树脂，使该液状树脂在该覆盖片上扩展。而且，该保护部件形成装置具有判定单元，该判定单元具有透过对覆盖片进行支承的支
承工作台的支承面而从下方拍摄该液状树脂和该基板的照相机。
[0015]如果利用照相机拍摄液状树脂和基板，则能够判定液状树脂是否扩展到规定的范围。因此，在液状树脂没有充分扩展的情况下，能够在使液状树脂硬化之前检测到该液状树脂没有充分扩展的情况，进而进一步按压液状树脂而使液状树脂扩展。由于液状树脂的硬化是在确认了液状树脂充分扩展之后实施的，因此能够在基板的正面适当地形成保护部件。
[0016]因此，根据本专利技术的一个方式，提供在按压液状树脂而使其扩展时能够判定该液状树脂是否扩展到规定的范围的保护部件形成装置。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护部件形成装置，其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该正面平坦的保护部件，该树脂膜比该基板大并且与该基板的该正面以仿照该凹凸的方式密接，其特征在于，该保护部件形成装置具有：支承工作台，其对在该正面上密接有该树脂膜的该基板进行支承；液状树脂提供单元，其向与该支承工作台所支承的该基板密接的该树脂膜上提供该液状树脂；按压单元，其具有能够保持该覆盖片的平坦且具有透光性的按压面，该按压单元隔着由该按压面保持的该覆盖片而利用该按压面按压提供到该树脂膜上的该液状树脂，使该液状树脂在该树脂膜上扩展；紫外线照射单元，其隔着该按压面和该覆盖片向该液状树脂照射紫外线而使该液状树脂硬化，形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖片的该保护部件；以及判定单元，其判定被该按压单元扩展的该液状树脂的状态，该判定单元具有：照相机，其隔着该按压单元的该按压面从上方拍摄该液状树脂和该基板；判定部，其根据该照相机拍摄而得到的图像来检测该液状树脂和该基板，判定该液状树脂是否扩展到以该基板为基准的规定的范围；以及通知部，其通知该判定部的判定结果。2.一种保护部件形成装置，其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该...

【专利技术属性】
技术研发人员：柿沼良典，右山芳国，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：