透明衬底端面部的检查装置及其检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术的透明衬底端面部的检查装置以及透明衬底端面部的检查方法可靠且高精度地检测出透明衬底的端面部中的缺陷。作为透明衬底的显示面板衬底１０承载在旋转载物台２１上，由与显示面板衬底１０的端面部面对配置的端面照明部３９间歇地照射光。沿显示面板衬底１０的表面照射的光由下部反射镜４２向显示面板衬底１０的端面部反射。该端面部及其附近部分被ＣＣＤ摄像机３６拍摄，基于得到的图像数据的各像素的图像的浓度，检测出显示面板衬底１０的端面部中的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种检查分割为预定大小的透明玻璃衬底等的透明衬底的端面部有无缺陷等的装置以及方法。并且，透明衬底也可以包括贴合一对玻璃衬底等的平面显示面板用的贴合衬底。
技术介绍
液晶显示装置中使用的液晶显示面板衬底是在一对玻璃衬底之间充入液晶而构成。在一方玻璃衬底上设置布线、TFT等，称为普通TFT衬底。在另一方衬底上设置滤色片(CF)，称为普通CF衬底。这样的显示面板衬底例如通过相互贴合一对素玻璃衬底(motherglass substrates)后，进行分割以成为显示面板衬底的大小来形成。在构成TFT衬底的素玻璃衬底上按每个显示面板衬底预先设置有预定的TFT、布线等。图13是分割后的显示面板衬底的概要斜视图。在构成显示面板衬底10的TFT衬底11(在图13中配置于下侧)上设置TFT、布线等，在一方的侧部上形成端子部11a，该端子部11a设置了分别与各布线相连接的多个端子11b。另一方的CF衬底12与TFT衬底11相贴合，以设置了充入液晶的预定的间隔的状态使端子部11a露出来。制作这样结构的显示面板衬底10时，如图14(a)所示，设置于贴合玻璃衬底10A的TFT衬底11A的端子部11a的各端子11b彼此通过设置在TFT衬底11A的端子部11a的侧缘的短链路11c相互电连接。短链路11c防止各端子11b以及各布线中积累电荷，并防止各布线的静电破坏。并且，由贴合素CF衬底与素TFT衬底而成的贴合素玻璃衬底分别分割为多数贴合玻璃衬底10A后，沿图14(b)所示的分割线11d分割TFT衬底11A，由此，解除由短链路11c相互连接的各端子部11b(参考图13)。TFT衬底11A沿分割线11d分割时，沿分割线11d的端面11e被研磨，同时，在该端面11e的两侧的边缘部分别被倒角。另外，此时不仅是沿TFT衬底11中的端子部11a的端面11e，在未形成显示面板衬底10的端子部的端面中，CF衬底12的上部边缘与TFT衬底11的下部边缘也被倒角。贴合玻璃衬底10A通过分别分割相互贴合的一对素玻璃衬底而形成。图15是贴合素衬底被分割后得到的贴合玻璃衬底10A的剖面图。此时，由于分割CF衬底12A以使设置于TFT衬底11A的端子部11a露出，CF衬底12A的分割位置与TFT衬底11A的分割位置不同，如图15所示，CF衬底12A的分割位置位于为使TFT衬底11A与CF衬底12A相互贴合而设置的密封材料13的附近。由此，有可能在分割CF衬底12A时，由密封材料13引起的张力施加于被分割的CF衬底12A的端面12e，被分割的端面12e如图15中虚线所示，成越接近密封材料13越逐渐向接近密封材料13的方向倾斜的状态(空洞)。此外，由相互贴合的一对素玻璃衬底分割为贴合玻璃衬底10A时以及为了从贴合玻璃衬底10A切除短链路11c而分割TFT衬底11A的端子部11a时，有在被分割的显示面板衬底10的TFT衬底11的端面或CF衬底12的端面上产生碎片的可能。与TFT衬底11的端子部11a相邻接的端面11e上如产生比较大的贝壳状的碎片时，该碎片时间长了会扩展到TFT衬底11的内部，因此，设置在端子部11a的端子11b有断裂的可能。这样，在由相互贴合的一对素玻璃衬底分割而成的TFT衬底11的端面部或CF衬底12的端面部处产生有碎片等缺陷的显示面板衬底10如被送到下一工序并作为液晶显示装置，就有所制造的液晶显示装置不能正常工作、产生次品的危险。如在液晶显示装置的最后制造阶段发现次品，存在液晶显示装置的制造时的合格率显著降低的问题。特别是，如上述，CF衬底12的端面12e呈倾斜的状态的情况下，在其后的清洗工序中，倾斜的端面12e与TFT衬底11之间有可能浸入水分、腐蚀TFT衬底11中的端子部11a的端子11b，因此成为次品的可能性高。为了解决这样的问题，最好在将由素贴合衬底分割而成的显示面板衬底10的TFT衬底11的端面部或CF衬底12的端面部送到下一工序前进行检查，检测出端面倾斜、端面部的碎片等的缺陷。但是，存在不容易高效正确地检测出显示面板衬底10中的端面倾斜、碎片等的缺陷部分的问题。进而，显示面板衬底10的TFT衬底11的端面部以及CF衬底12的端面部通常在TFT衬底11以及CF衬底12之间注入液晶后，分别对各端面部的边缘部通过由砂轮进行的湿式研磨加工进行倒角，但存在不容易确认只按预定量可靠进行倒角的问题。本专利技术既为解决这样的问题，其目的在于提供一种，能够正确有效地检测出透明衬底的端面部中的碎片等的缺陷，并且能够容易地对端面中的倒角部分的状态进行检查等。
技术实现思路
本专利技术的透明衬底端面部的检查装置特征在于，具备载物台，支撑透明衬底；第1照明单元，与承载在该载物台上的透明衬底的端面部面对配置，向该端面部间歇地照射光；摄像单元，将该端面部及其附近部分作为摄像区域，配置在与该透明衬底的表面相对的至少1个方向上；图象处理单元，基于通过该摄像单元拍摄的图像数据的图像的浓度检测出该端面部中的缺陷。由此来达成上述目的。进而具备向上述端面部反射沿上述透明衬底照射的光的第1反射单元，也可以使通过该第1反射单元反射的光照射的该端面部及其附近部分作为摄像区域来配置上述摄像单元。上述摄像单元配置在上述反射单元相对于上述透明衬底的相反侧。上述载物台以水平状态支撑上述透明衬底，上述第1反射单元设置在上述透明衬底的下方。上述载物台以水平状态支撑上述透明衬底，上述第2反射单元也可以设置在上述透明衬底的上方。上述载物台可以在水平方向上移动。上述载物台可以以与载物台表面垂直为轴转动。上述第1反射单元以及上述摄像单元可作为整体，相对上述载物台移动。上述第1反射单元也可以设置为对于上述第1照明单元可以整体移动。上述第1反射单元可以调整针对上述透明衬底的端面部的反射方向。上述第2反射单元以及上述摄像单元可作为整体，相对上述载物台移动。上述第2反射单元可以设置为对于上述第1照明单元可以整体移动。上述第2反射单元可以调整针对上述透明衬底的端面部的反射方向。进而也可以具备在上述第1照明单元的熄灭时向上述透明衬底的端面部间歇地照射光的第2照明单元。上述第1照明单元可以是与上述透明衬底的端面部平行延长的线状光源。上述线状光源可以是LED阵。上述摄像单元可以是CCD摄像机。上述第1照明单元与上述第1反射单元可以分别设置在上述透明衬底的两侧外缘部的端面侧。上述第1照明单元与上述第2反射单元可以分别设置在上述透明衬底的两侧外缘部的端面侧。上述图像处理单元也可以按在上述摄像单元中被拍摄的图像数据中的每个像素求出图像的浓度，基于该像素的图像的浓度确定上述透明衬底的端面。上述图像处理单元基于确定后的上述透明衬底的端面部与像素的图像的浓度可以检测出缺陷。上述端面部的边缘部也可以进行倒角加工。上述图像处理单元也可以将上述透明衬底的端面部中的漫反射作为光的强度高的缺陷部分检测出来。上述透明衬底是在设置了充入液晶的预定的间隔的状态下，贴合两片玻璃衬底以使端子部露出的贴合玻璃衬底。上述图像处理单元可以将为使端子部露出贴合的贴合玻璃衬底的各自的端面部的一方或双方作为检查对象进行切换。本专利技术的透明衬底端面部的检查方法的特征在于，包含通过第1照明单元对透明衬底的端面部间歇地照射光的工序；通过摄像单元对上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明衬底端面部的检查装置，其特征在于，具备：　　　　载物台，支撑透明衬底；　　　　第１照明单元，与承载在该载物台上的透明衬底的端面部面对配置，向该端面部间歇地照射光；　　　　摄像单元，将该端面部及其附近部分作为摄像区域，配置在与该透明衬底的表面相对的至少１个方向上；　　　　图象处理单元，基于通过该摄像单元拍摄的图像数据的图像的浓度检测出该端面部中的缺陷。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本润一，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]