颜色云纹检查方法及其装置制造方法及图纸

颜色云纹检查方法及其装置。本发明专利技术的课题是不受到个人差异、个人的状态差异的影响，而高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。作为解决手段，本发明专利技术将聚光光学系统（３４）的焦点调节为可去除网纹的状态，通过摄像装置（３５）拍摄基板（３１），根据摄像数据检查颜色云纹的有无、程度等。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在滤色器的制造工艺等中，用于检查在基板上形成的彩色覆膜的颜色云纹(mura)的有无、程度等的方法及其装置。
技术介绍
以往，公知的是在平板显示器所使用的滤色器的制造工艺等中，产生由颜料分散的不均匀、成分凝聚、膜厚变化所引起的颜色云纹。为了防止发生在产生了该颜色云纹的状态下继续进行制造作业的问题，使用摄像机和光源，进行颜色云纹的有无、程度等的检查。此外，提出了利用具有CCD等的摄像装置拍摄LCD等被检查显示元件的显示画面，来检查被检查显示元件的良与否的方法(参照专利文献1)。专利文献1的方法如下在通过目视识别了在摄像图像中产生了网纹(moire)的情况下，调节摄像装置的镜头的焦点(焦距)，由此抵消LCD面板的频率特性，去除网纹。专利文献1日本特开平8-149358号公报在采用专利文献1的方法检查颜色云纹的有无、程度等时，认为可以通过去除网纹而高精度地检查颜色云纹的有无、程度、位置等，但由于是操作者通过目视来识别产生了网纹，所以必然产生个人差异，且对于摄像装置的镜头的焦点(焦距)的调节程度，也因为由操作者一边目视一边调节焦点，所以必然产生个人差异，结果是存在如下问题更换操作者时，颜色云纹的有无、程度等的检查结果出现偏差。具体讲，存在不能充分地去除网纹、或者把颜色云纹也去除了的问题。并且，即使在操作者不变的情况下，例如早晨和傍晚时的视力、集中力等是变化的，所以存在检查结果出现偏差的问题。另外，彩色覆膜的颜色、基板上的图形、彩色覆膜的叠层顺序因每个机型而不同，所以存在网纹的产生条件变化的问题。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供颜色云纹检查方法及其装置，可以高精度地检查颜色云纹的有无、程度等，而不会受到个人差异、机型的差异、个人的状态差异的影响。在本专利技术的颜色云纹检查方法中，由光源向形成了彩色覆膜的基板照射光，通过可以调节焦点的聚光光学系统、由摄像装置拍摄形成了彩色覆膜的基板面，根据摄像结果检查颜色云纹，其中，在检查开始时，以基板为基准，自动调节聚光光学系统的焦点。如果采用该结构，在检查开始时自动调节聚光光学系统的焦点，由此可以高精度地检查彩色覆膜是具有透光性的彩色覆膜、基板是具有透光性的基板的情况下的颜色云纹的有无、程度等。其中，如果是可以通过透过光检测的云纹(由彩色覆膜的厚度不均等引起的、透过云纹部的光和透过正常部的光的波长和/或强度不同)，优选为聚光光学系统对透过了基板和彩色覆膜的光进行会聚。并且，如果是可以通过反射光检测的云纹(由彩色覆膜的劣化不均等引起的、被云纹部反射的光和被正常部反射的光的波长和/或强度不同)，优选为聚光光学系统对彩色覆膜所反射的光进行会聚。另外，在同时测量透过光固有的云纹及反射光固有的云纹的情况下，形成以基板为基准相互对称地配置了光源的光学系统，通过择一地向基板照射光，可以检查透过彩色覆膜的光的云纹和被彩色覆膜反射的光的云纹。并且，由于是择一的检查方法，所以不增加聚光光学系统的数目即可进行检查。而且，通过连续地切换，可以同时检查透过彩色覆膜的光的云纹和被彩色覆膜反射的光的云纹，计算出合成的结果。并且，优选为聚光光学系统的焦点自动调节以去除网纹的方式进行，可以根据不存在网纹的状态下的摄像结果，高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。另外，更优选的是，聚光光学系统的焦点自动调节以焦点处于以基板的被测量面为中心的景深之外的方式进行，可以根据不存在网纹的状态下的摄像结果，高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。本专利技术的颜色云纹检查装置包括光源，其向形成了彩色覆膜的基板照射光；摄像装置，其通过可以调节焦点的聚光光学系统拍摄形成了彩色覆膜的基板面；以及检查单元，其根据摄像结果检查颜色云纹，其中，还包括焦点自动调节单元，其在检查开始时，以基板为基准，自动调节聚光光学系统的焦点。如果采用该结构，在检查开始时自动调节聚光光学系统的焦点，由此可以高精度地检查彩色覆膜是具有透光性的彩色覆膜、基板是具有透光性的基板的情况下的颜色云纹的有无、程度等。其中，如果是可以通过透过光检测的云纹(由彩色覆膜的厚度不均等引起的、透过云纹部的光和透过正常部的光的波长和/或强度不同)，优选为聚光光学系统对透过了基板和彩色覆膜的光进行会聚。并且，如果是可以通过反射光检测的云纹(由彩色覆膜的劣化不均等引起的、在云纹部反射的光和在正常部反射的光的波长和/或强度不同)，优选为聚光光学系统对基板或彩色覆膜所反射的光进行会聚。另外，在同时测量透过光固有的云纹及反射光固有的云纹的情况下，形成以基板为基准相互对称地配置了光源的光学系统，通过择一地向基板照射光，可以检查透过彩色覆膜的光的云纹和被彩色覆膜反射的光的云纹。并且，由于是择一的检查方法，所以不增加聚光光学系统的数目即可进行检查。而且，通过连续地切换，可以同时检查透过彩色覆膜的光的云纹和被彩色覆膜反射的光的云纹，计算出合成的结果。此外，优选为焦点自动调节单元以去除网纹的方式进行聚光光学系统的焦点自动调节，可以根据不存在网纹的状态下的摄像结果，高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。另外，更优选的是，聚光光学系统的焦点自动调节以焦点位于以基板的被测量面为中心的景深之外的方式进行，可以根据不存在网纹的状态下的摄像结果，高精度地检查颜色云纹的有无、程度等。本专利技术的颜色云纹检查方法具有可以高精度地检查颜色云纹的有无、程度、位置等的特有效果。本专利技术的颜色云纹检查装置也具有可以高精度地检查颜色云纹的有无、程度、位置等的特有效果。附图说明图1是表示应用了本专利技术的颜色云纹检查方法的平板显示器用的滤色器制造装置的主要部分的概略图。图2是详细表示颜色云纹检查装置的概略图。图3是说明颜色云纹检查装置的处理的一例的流程图。图4是表示存在网纹的状态下的多个矩阵的亮度偏差和预定阈值之间的关系的概略图。图5是表示不存在网纹的状态下的多个矩阵的亮度偏差和预定阈值之间的关系的概略图。图6是表示把聚光光学系统的焦点设定在基板表面上的状态下的景深和调节后的焦点位置的概略图。图7是表示把聚光光学系统的焦点设定在基板表面上的状态下的摄像例的图。图8是表示使聚光光学系统的焦点偏离基板表面的状态下的摄像例的图。图9是表示本专利技术的颜色云纹检查装置的另一种实施方式的概略图。具体实施例方式以下，参照附图详细说明本专利技术的颜色云纹检查方法及其装置的实施方式。图1是表示应用了本专利技术的颜色云纹检查方法的平板显示器用的滤色器制造装置的主要部分的概略图。该滤色器制造装置具有涂布装置1，其在玻璃等具有透光性的基板上涂布具有透光性的彩色覆膜；干燥器2，其用于干燥涂布后的彩色覆膜；以及颜色云纹检查装置3，其检查干燥后的彩色覆膜的颜色云纹的有无、程度、位置等。例如，在滤色器的情况下，是把至少三原色配置成矩阵状而形成的，所以针对每种颜色设置涂布装置1、干燥器2、以及颜色云纹检查装置3。图2是详细表示颜色云纹检查装置3的概略图。该颜色云纹检查装置3具有在水平方向上运送形成了彩色覆膜的基板31的运送装置32；在预定位置从下方向基板31照射光的光源33；被配置成接收透过基板31的光的聚光光学系统34和摄像装置35；根据摄像装置35所得到的图像数据进行预定的图像处理的图像处理装置36；根据图像处理结果等生成并提供针对运送装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颜色云纹检查方法，由光源向形成了彩色覆膜的基板照射光，通过可以调节焦点的聚光光学系统、由摄像装置拍摄形成了彩色覆膜的基板面，根据摄像结果检查颜色云纹，其特征在于，在检查开始时，以基板为基准，自动调节聚光光学系统的焦点。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小山恭史，田岛久容，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]