一种对微光学部件定位的结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种对微光学部件定位的结构，结构包括支撑体，微反射镜芯片坑，Ｖ形槽，入射、出射微光学部件，衬底，微通道阵列和盖板组成，本实用新型专利技术中微通道模块制备的材料可以采用ＳＵ－８光刻胶，ＰＭＭＡ或单晶硅，使微通道阵列的高度和宽度与微反射镜的尺寸相匹配，将入射微光学部件输出的光束分别通过相应的微通道阵列由出射微光学部件接收，由于采用精度和位置精度很高的微通道阵列，利用微通道阵列之间的平行和垂直关系，保证微光学部件精确对准和光束共面。采用本实用新型专利技术定位结构减少了微反射镜的损伤，减少微反射镜缺陷影响微光学部件精确定位的问题，同时使微光学部件光轴共面的问题得以解决，本实用新型专利技术还可用于其它需要定位的场合。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微光机电器件
，涉及微光机电器件的制作。
技术介绍
MEMS技术已经在很多领域得到很广泛的应用。在光通信领域，采用MEMS技术将自由空间的光学系统微型化成微米级的微光学系统(MOEMS)，可以提高器件间的耦合效率、降低器件的功耗，制作出真正意义上的集成化光学系统。与传统的波导调制型光开关相比，MOEMS光开关具有耦合损耗小、串音干扰低、与工作的波长和偏振态无关，以及不受通讯中所采用的数据格式的限制等优点。对于MOEMS光开关阵列，光束准直及输入、输出耦合是重要组成部分。现有的准直元件定位方法如图1所示，它由基座、带尾纤的入射准直器、带尾纤的出射准直器和微反射镜芯片组成。在对准时需要将光开关芯片作为基准进行准直器调节。存在的主要问题有①调节过程中对微反射镜芯片可能会有损伤，②对于某一个微反射镜的缺陷将影响准直器的精确定位，从而影响该准直器与其他相关微反射镜的对准。③因采用的是反射式对准方式，难于保证各准直器光轴共面。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中微反射镜损伤，微反射镜缺陷影响准直器精确定位，准直器光轴共面难于保证的问题，本技术目的是提供一种高精度、低成本、简单易行的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对微光学部件定位的结构，它包括支撑体（１），微反射镜芯片坑（２），Ｖ形槽（３），入射微光学部件（４）、出射微光学部件（５）、出射微光学部件（６），其特征在于：还包括微通道模块，微通道模块由衬底（７）、微通道阵列（８）、微通道阵列（９）和盖板（１０）组成，衬底（７）下表面位于微反射镜芯片坑（２）的上表面，微通道阵列（８）、微通道阵列（９）高度和宽度与微反射镜芯片坑（２）上的微反射镜高度和宽度相匹配，微通道阵列（８）、微通道阵列（９）的间距与入射微光学部件（５）和出射微光学部件（６）的间距相同，相互垂直的微通道阵列（８）、微通道阵列（９）分别与入射微光学部件（５）和出射微光学部件（６）垂直和或...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁静秋，赵莉娜，董玮，王惟彪，陈维友，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林大学，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]