【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光器，尤其涉及一种激光器的储能放电装置及其充放电方法。
技术介绍
1、横向激励脉冲气体激光器的脉冲辉光放电通常采用紫外预电离引发放电方式，如脉冲teaco2激光器、xecl/krf准分子激光器、放电引发脉冲hf/df激光器等。激光器脉冲辉光放电是由一对相对一定距离设置的长条形平板电极产生的，紫外预电离装置对称设置在平板电极宽度方向的两侧，作用是在平板电极放电开始前，使电极间隙中产生大量且分布均匀的自由电子，降低放电间隙的击穿电压，从而实现大体积均匀辉光放电。这种放电方式的平板电极表面必须非常光滑，通常要求表面微观不平度的算术平均值在0.1µm以下。
2、研制高能量高功率脉冲气体激光器需要提高电极放电间隙以增大放电体积，则击穿电压也随之升高，这种情况下紫外预电离装置为了满足与平板电极的绝缘要求，需要增大与平板电极的距离。由于紫外预电离的作用效果与其作用距离的平方成反比，这就使得其对平板电极间隙的预电离效果变差。特别是对于放电引发脉冲hf/df激光器，由于工作气体中包含强电负性气体sf6，其对气体中的自由电子有强...
【技术保护点】
1.一种激光器的储能放电装置，其特征在于，包括：支撑框以及设置于支撑框内的放电机构和储能机构；
2.根据权利要求1所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述阴极的表面均匀布满尖刺，所述尖刺用于形成与所述阳极连接的放电通道；所述阳极电连接板的长度与所述阳极的长度相等。
3.根据权利要求1所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述储能机构包括阴极电连接板、储能电容组、反转电容组、充电连接板、充放电电感组、接地连接板、脉冲开关、触发信号线、开关接地板以及充电连接线；
4.根据权利要求3所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述储能电...
【技术特征摘要】
1.一种激光器的储能放电装置，其特征在于，包括：支撑框以及设置于支撑框内的放电机构和储能机构；
2.根据权利要求1所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述阴极的表面均匀布满尖刺，所述尖刺用于形成与所述阳极连接的放电通道；所述阳极电连接板的长度与所述阳极的长度相等。
3.根据权利要求1所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述储能机构包括阴极电连接板、储能电容组、反转电容组、充电连接板、充放电电感组、接地连接板、脉冲开关、触发信号线、开关接地板以及充电连接线；
4.根据权利要求3所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述储能电容组包括两排储能电容，每排储能电容沿所述阴极的长轴均匀分布于所述阴极电连接板上；两排储能电容沿所述阴极的短轴对称设置。
5.根据权利要求3所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述反转电容组包括两排反转电容，每排反转电容沿所述阴极的长轴均匀分布；两排反转电容沿所述阴极的短轴对称设置；
6.根据权利要求3所述的激光器的储能放电装置，其特征在于，所述充放电电感组包括两排充放电电感，每排充放电电感沿所述阴极的长轴均匀分布，两...
【专利技术属性】
技术研发人员：李姜，于德洋，田耕耘，邵春雷，杨贵龙，尹贺，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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