【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微型元件的定址(addressing)方法，特别涉及一种空间光调制器(SLM)中活动元件的定址方法。
技术介绍
微型电机系统(MEMS)可以包括采用微电子处理技术在晶片衬底上制造的活动微型镜。最经常地，使用静电驱动来偏转微型镜。为了产生力，在两个电极之间产生电压，其中一个电极是固定的，而另一个附在致动器如活动微型镜上。以特定图案装载用于例如掩模写入工具或芯片制造工具中的具有致动器阵列的SLM，其中在印上每个戳记之前，每个致动器处于已定址状态或者未定址状态。该图案可以是要分别印在掩膜或芯片上的图案的子集。每个致动器镜通过在该镜与下方地址电极之间施加电压来以静电方式偏转，其后，在触发电磁辐射源来印上戳记之前，允许致动器镜运动其预定偏转状态。空间光调制器(SLM)中致动器镜的偏转幅度取决于多个因素，如定址电压、镜铰链材料硬度、镜铰链厚度、电极与镜之间的距离等。采用在其他方面经过优化的参数，定址电压通常是用于使得能够达到最大所需镜偏转幅度的不定(determining free)参数。反过来，这为定址CMOS电路的电压范围设置了要求。由于未来各代SL...
【技术保护点】
一种用于采用空间光调制器对至少一个电磁辐射脉冲进行调制的方法，包括以下操作：－提供至少一个机械活动调制器元件，－提供至少一个能够对所述活动调制器元件产生力的致动元件，－将地址信号提供给所述至少一个活动调制器元件， －将第一放大信号提供给属于所述至少一个活动调制器元件的至少一个第一电极，－对所述放大信号进行整形和定时，以产生活动调制器元件中的机械响应，其表示所述电磁辐射脉冲在照射到所述活动调制器元件上时的期望调制状态。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：乌尔里克扬布拉德，
申请(专利权)人：麦克罗尼克激光系统公司，
类型：发明
国别省市：SE[瑞典]
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