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本实用新型涉及一种对微光学部件定位的结构，结构包括支撑体，微反射镜芯片坑，Ｖ形槽，入射、出射微光学部件，衬底，微通道阵列和盖板组成，本实用新型中微通道模块制备的材料可以采用ＳＵ－８光刻胶，ＰＭＭＡ或单晶硅，使微通道阵列的高度和宽度与微反射镜...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;吉林大学授权不得商用。