【技术实现步骤摘要】
一种应用于硅片转移用机械手的吸盘
本申请涉及硅片转移的
，尤其是涉及一种应用于硅片转移用机械手的吸盘。
技术介绍
目前硅片在制绒后需要进行扩散，扩散工艺则需要将花篮中的硅片转移到石英舟内，然后将石英舟放入到扩散炉内。硅片的质量小，厚度薄，因此常采用吸盘吸附的方式来移动硅片。参照图1，目前，常用于硅片转移用机械手上的吸盘的上具有气流槽400，吸盘的一侧上具有与气流槽400连通的通气孔410，气流槽400的槽口处封堵有槽盖420，利用真空泵为动力源，每个吸盘上气流槽400均通过气管与真空泵接通，从而启动真空泵实现吸盘上的通气孔410将硅片吸附固定。上述中的技术方案存在以下缺陷：吸盘向硅片移动时，吸盘须完全对准硅片与硅片之间的空隙，从而使得吸盘能插入硅片与硅片之间以对硅片完成吸附，进而提高了加工过程中的精度要求。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，能让吸盘更容易插入至硅片与硅片之间的间隙，从而降低加工过程中的精度要求，提高容错性。本申请的上述技术目的是通...
【技术保护点】
1.一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，包括吸附部（100）和安装部（200），其特征在于：所述吸附部（100）远离安装部（200）的一端开设有刃型边（110）。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，包括吸附部（100）和安装部（200），其特征在于：所述吸附部（100）远离安装部（200）的一端开设有刃型边（110）。
2.根据权利要求1所述的一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，其特征在于：所述刃型边（110）倾斜设置，所述吸附部（100）的短侧边上开设有第一斜面（120）。
3.根据权利要求2所述的一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，其特征在于：所述吸附部（100）的长侧边远离安装部（200）的一端上朝刃型边（110）开设有斜边（130），所述斜边（130）的相对两侧壁上均开设有第二斜面（140）。
4.根据权利要求1所述的一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，其特征在于：所述安装部（200）的厚度大于所述吸附部（100）的厚度，所述安装部（200）与吸附部（100）的连接处开设有第三斜面（210）。
5.根据权利要求4所述的一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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