本申请涉及陶瓷吸盘生产的领域，涉及一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，其包括烧结箱，所述烧结箱中设置有用于放置陶瓷吸盘的放置板，所述烧结箱中安装有用于对陶瓷吸盘进行固定的固定部件，所述烧结箱中安装有用于对陶瓷吸盘进行翻转的翻转部件，所述固定部件安装在翻转部件上；所述翻转部件包括转动安装在烧结箱中的翻转轴和固定连接在翻转轴上的翻转板，所述固定部件安装在翻转板上，所述翻转板上安装有用于驱动翻转轴进行转动的驱动部件。本申请改善了工作人员容易被烫伤的问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置
[0001]本申请涉及陶瓷吸盘生产的领域，尤其是涉及一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置。
技术介绍
[0002]目前，随着我国半导体产业的快速发展，对制造装备的精度提出了更高的要求。为了解决高端光刻机的运动及测量的高精度要求，光刻机在工作台等系统采用了陶瓷材料。其中应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢。
[0003]相关技术可参考公告号为CN217520236U的中国技术专利，其公开了一种新型陶瓷吸盘烧结装置，包括支撑机构、加热机构与旋转机构，加热机构固定在支撑机构上方，旋转机构安装在加热机构上；旋转机构包括固定壳、第一电机、丝杠、升降座、升降板、升降杆、固定环、转筒、第二电机、升降块、滑块、传动轴、转盘，第一电机安装在固定壳内部，丝杠安装在第一电机输出端，升降座设置在丝杠外侧，升降板固定在升降座上，升降杆固定在升降板上方，固定环安装在升降杆上方，转筒设置在升降板内侧，第二电机安装在转筒下方，升降块设置在转筒内部，滑块固定在升降块外侧，传动轴固定在升降块上方，转盘固定在传动轴上方；启动第二电机，第二电机通过转筒和传动轴带动转盘上的陶瓷吸盘转动，使得陶瓷吸盘能够被均匀加热。
[0004]针对上述的相关技术，由于陶瓷吸盘放置在转盘上，在使用加热机构对陶瓷吸盘进行烧结的过程中，陶瓷吸盘与转盘接触的一面受热不均匀，需要工作人员对陶瓷吸盘进行翻转，导致工作人员容易被烫伤。
技术实现思路
[0005]为了改善工作人员容易被烫伤的问题，本申请提供一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置。
[0006]本申请提供的一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置采用如下的技术方案：一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，包括烧结箱，所述烧结箱中设置有用于放置陶瓷吸盘的放置板，所述烧结箱中安装有用于对陶瓷吸盘进行固定的固定部件，所述烧结箱中安装有用于对陶瓷吸盘进行翻转的翻转部件，所述固定部件安装在翻转部件上；所述翻转部件包括转动安装在烧结箱中的翻转轴和固定连接在翻转轴上的翻转板，所述固定部件安装在翻转板上，所述翻转板上安装有用于驱动翻转轴进行转动的驱动部件。
[0007]通过采用上述技术方案，启动驱动部件，驱动部件带动翻转轴进行转动，翻转轴带动翻转板进行转动，翻转板带动固定部件进行转动，固定部件带动陶瓷吸盘进行转动，即可完成对陶瓷吸盘的翻转，减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员容易被烫伤的问题。
[0008]优选的，所述固定部件包括滑动安装在翻转板上的两个固定板，两个所述固定板相对设置，所述放置板设置有两个，两个所述放置板分别安装在固定板相对的侧壁上，所述驱动部件可驱动两个固定板相互靠近或远离。
[0009]通过采用上述技术方案，启动驱动部件，驱动部件即可带动两个固定板相互靠近，两个固定板分别带动放置板进行移动，当两个放置板均与陶瓷吸盘进行接触时，即可对陶瓷吸盘进行固定，当陶瓷吸盘翻转完成后，驱动部件带动两个固定板相互远离，两个放置板同时相互远离，陶瓷吸盘仍然放置在放置板上，即可快速对陶瓷吸盘进行烧结，进一步的减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员容易被烫伤的问题。
[0010]优选的，两个所述固定板相对的侧壁上均固定连接有固定弹簧，所述固定弹簧与放置板固定连接。
[0011]通过采用上述技术方案，在放置板对陶瓷吸盘进行固定的过程中，固定弹簧能够对放置板提供持续的作用力，使得放置板与陶瓷吸盘进行抵紧，提高了放置板对陶瓷吸盘固定的稳定性。
[0012]优选的，所述翻转板上固定连接有安装块，所述驱动部件包括固定连接在翻转板上的电机和转动安装在安装块上的双向螺杆；所述电机的输出轴与双向螺杆固定连接，两个所述固定板分别套设在双向螺杆的两端，且均与双向螺杆螺纹连接。
[0013]通过采用上述技术方案，启动电机，电机带动双向螺杆进行转动，双向螺杆即可带动两个固定板相互靠近或远离，同时双向螺杆与固定板之间具有自锁功能，减少了固定板与陶瓷吸盘之间晃动情况的发生。
[0014]优选的，所述翻转板上固定连接有固定块，所述驱动部件还包括套设在双向螺杆上的第一锥形齿轮、转动安装在固定块上的传动轴以及固定连接在传动轴上的第二锥形齿轮；所述双向螺杆的周面上开设有滑槽，所述第一锥形齿轮的内壁上固定连接有放置在滑槽中的滑块，所述第一锥形齿轮与固定板转动连接，所述第一锥形齿轮可与第二锥形齿轮啮合；所述传动轴上固定连接有第一齿轮，所述翻转轴上固定连接有与第一齿轮啮合的第二齿轮；所述固定板可与双向螺杆上的螺纹分离，所述翻转板上安装有用于将固定板与双向螺杆上的螺纹持续抵接的弹性部件。
[0015]通过采用上述技术方案，在双向螺杆转动的过程中，双向螺杆带动滑块进行转动，滑块带动第一锥形齿轮进行转动，与此同时固定板带动第一锥形齿轮进行移动，当两个放置板对陶瓷吸盘进行固定时，固定板与双向螺杆上的螺纹分离，双向螺杆不能够带动固定板进行移动，同时固定板与弹性部件抵紧，并且第一锥形齿轮与第二锥形齿轮进行啮合，第一锥形齿轮带动第二锥形齿轮进行转动，第二锥形齿轮带动传动轴进行转动，传动轴带动第一齿轮进行转动，第一齿轮带动第二齿轮进行转动，第二齿轮带动翻转轴进行转动，即可实现对陶瓷吸盘的翻转，进一步的减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员容易被烫伤的问题。
[0016]优选的，所述弹性部件包括固定连接在翻转板上的连接板和固定连接在连接板上的回弹弹簧，所述回弹弹簧与固定板抵接。
[0017]通过采用上述技术方案，在固定板移动的过程中，固定板首先与回弹弹簧进行接触，然后对回弹弹簧进行挤压，当电机反转时，回弹弹簧即可推动固定板进行移动，使得固定板重新与双向螺杆进行螺纹连接，双向螺杆即可带动两个固定板相互远离，无需工作人
员进行操作。
[0018]优选的，所述放置板上固定连接有用于对陶瓷吸盘进行限位的限位环。
[0019]通过采用上述技术方案，限位环能够对陶瓷吸盘进行限位，减少了陶瓷吸盘与放置板之间相对滑动情况的发生。
[0020]优选的，两个所述固定板相对的侧壁上均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆与放置板固定连接。
[0021]通过采用上述技术方案，伸缩杆能够对放置板进行限位，提高了放置板移动时的稳定性。
[0022]优选的，所述烧结箱上设置有观察窗。
[0023]通过采用上述技术方案，便于工作人员对烧结箱中的情况进行观察。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.本申请通过设置驱动部件、翻转轴、翻转板与固定部件，启动驱动部件，驱动部件带动翻转轴进行转动，翻转轴带动翻转板进行转动，翻转板带动固定部件进行转动，固定部件带动陶瓷吸盘进行转动，即可完成对陶瓷吸盘的翻转，减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员容易被烫伤的问题；2.本申请通过设置两个固定板与两个放置板，启本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，包括烧结箱(1)，其特征在于：所述烧结箱(1)中设置有用于放置陶瓷吸盘的放置板(11)，所述烧结箱(1)中安装有用于对陶瓷吸盘进行固定的固定部件(2)，所述烧结箱(1)中安装有用于对陶瓷吸盘进行翻转的翻转部件(3)，所述固定部件(2)安装在翻转部件(3)上；所述翻转部件(3)包括转动安装在烧结箱(1)中的翻转轴(31)和固定连接在翻转轴(31)上的翻转板(32)，所述固定部件(2)安装在翻转板(32)上，所述翻转板(32)上安装有用于驱动翻转轴(31)进行转动的驱动部件(4)。2.根据权利要求1所述的一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，其特征在于：所述固定部件(2)包括滑动安装在翻转板(32)上的两个固定板(21)，两个所述固定板(21)相对设置，所述放置板(11)设置有两个，两个所述放置板(11)分别安装在固定板(21)相对的侧壁上，所述驱动部件(4)可驱动两个固定板(21)相互靠近或远离。3.根据权利要求2所述的一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，其特征在于：两个所述固定板(21)相对的侧壁上均固定连接有固定弹簧(22)，所述固定弹簧(22)与放置板(11)固定连接。4.根据权利要求2所述的一种多通道分区高精密多孔陶瓷吸盘烧结装置，其特征在于：所述翻转板(32)上固定连接有安装块(321)，所述驱动部件(4)包括固定连接在翻转板(32)上的电机(41)和转动安装在安装块(321)上的双向螺杆(42)；所述电机(41)的输出轴与双向螺杆(42)固定连接，两个所述固定板(21)分别套设在双向螺杆(42)的两端，且均与双向螺杆(42)螺纹连接。5.根据权利要求4所述的一种多通道分区...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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