【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷手指粗糙度检测设备
[0001]本申请属于陶瓷手指加工
,尤其涉及一种陶瓷手指粗糙度检测设备
。
技术介绍
[0002]陶瓷手指是半导体设备上使用的陶瓷配件,主要制作材料是
95
‑
99.9%
氧化铝陶瓷,故陶瓷手指又叫氧化铝陶瓷手指,用于抓取搬运晶圆芯片,在机器上相当于人类的手指,高纯度的氧化铝陶瓷手指具有良好的性能,如硬度高
、
耐磨性高
、
耐热性能好
、
抗腐蚀性强
。
[0003]陶瓷手指在生产加工后,一般需要经过粗糙度检测才能使用,陶瓷手指的不规则形状,传统的陶瓷手指检测需要工人对每个陶瓷手指进行摆正,当陶瓷手指摆放位置不对时会对检测结果产生影响,造成经济损失
。
[0004]为此,我们提出来一种陶瓷手指粗糙度检测设备解决上述问题
。
技术实现思路
[0005]本申请的目的是为了解决现有技术中,由于陶瓷手指的不规则形状,传统的陶瓷手指检测需要工人对每个陶瓷手指进行摆正,当陶瓷手指摆放位置不对时会对检测结果产生影响,造成经济损失的问题,而提出的一种陶瓷手指粗糙度检测设备
。
[0006]为了实现上述目的,本申请采用了如下技术方案:
[0007]一种陶瓷手指粗糙度检测设备,包括底座,所述底座上固定设置有两组支架和检测机构,同一组所述支架间转动设置有转轴,其中一个所述支架上固定设置有电机,其中一个所述转轴的一端与电机输出端固定连接,两 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种陶瓷手指粗糙度检测设备,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定设置有两组支架(2)和检测机构(3),同一组所述支架(2)间转动设置有转轴(4),其中一个所述支架(2)上固定设置有电机(5),其中一个所述转轴(4)的一端与电机(5)输出端固定连接,两个所述转轴(4)间相互平行,两个所述转轴(4)之间通过传送带(6)传动连接,所述传送带(6)外表面固定连接有多个组装块(
19
),所述组装块(
19
)上开设有凹槽(7),所述凹槽(7)底面设置有承料板(8),所述凹槽(7)侧壁设置有夹持板(9),所述承料板(8)和夹持板(9)间通过联动机构(
10
)连接
。2.
根据权利要求1所述的一种陶瓷手指粗糙度检测设备,其特征在于,所述联动机构(
10
)包括固定设置于承料板(8)底端的密封柱一(
11
),所述夹持板(9)侧壁固定设置有密封柱二(
12
),在所述组装块(
19
)上开设有两端均与凹槽(7)相连通的气道(
13
),所述密封柱一(
11
)和密封柱二(
12
)分别与气道(
13
)的两端密封滑动连接,所述夹持板(9)与凹槽(7)底面通过多个弹簧连接
。3.
根据权利要求2所述的一种陶瓷手指粗糙度检测设备,其特征在于,所述密封柱一(
11
)和密封柱二(
12
)均为长方体
。4.
根据权利要求1所述的一种陶瓷手指粗糙度检测设备,...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国彬,
申请(专利权)人:深圳市德澳美科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。