一种微孔陶瓷吸盘装置制造方法及图纸

本申请公开了一种微孔陶瓷吸盘装置，属于微孔陶瓷吸盘技术领域，包括固定板，所述固定板上固定设置有两个支撑架，且两个所述支撑架上转动设置有螺纹杆，其中一个所述支撑架上固定设置有电机，且所述电机的输出端与螺纹杆之间固定连接，所述螺纹杆上滑动设置有两个对称设置的滑块，且所述支撑架上转动设置有连接杆，且所述滑块与连接杆之间设有控制连接杆转动的传动机构，所述连接杆的末端上滑动设置有吸盘，通过设置在固定板上带有两段旋转方向相反的螺纹杆，实现了启动电机使得螺纹杆转动，螺纹连接在螺纹杆上的两个滑块能够相向移动，并通过长杆带动连接杆转动，从而是达到改变吸盘的位置的目的。盘的位置的目的。盘的位置的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种微孔陶瓷吸盘装置


[0001]本申请属于微孔陶瓷吸盘
，尤其涉及一种微孔陶瓷吸盘装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造过程中，晶圆片需要在多达几百种工艺设备之间来回传输并进行加工检测，在加工过程中，需要将晶圆片十分平稳、固定地安放在工艺设备上，因此需要配合使用吸盘装置进行配合操作。
[0003]根据已授权公告号CN215266244U公开了一种微孔陶瓷吸盘装置，包括固定座，所述固定座的内壁通过轴承转动连接有螺纹管，所述螺纹管的内壁通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有活动座，所述固定座和活动座的顶部均固定连接有安装座，所述安装座的内壁滑动连接有安装块，所述安装块的顶部分别固定连接有第一陶瓷吸盘和第二陶瓷吸盘，所述安装块的表面开设有卡接槽，所述卡接槽的内壁滑动连接有卡接杆。本技术通过卡接杆、安装座和安装块的配合，能够对吸盘进行快捷的拆换，同时通过滑杆和挡块的配合，能够对连接板的运行轨迹进行限制，进一步提高了拆换吸盘的便捷度，有效的降低了设备的停机时间，更加有利于使用，该装置具有双吸盘进行吸附，但是在吸附过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微孔陶瓷吸盘装置，包括固定板（1），其特征在于，所述固定板（1）上固定设置有两个支撑架（2），且两个所述支撑架（2）上转动设置有螺纹杆（3），其中一个所述支撑架（2）上固定设置有电机（4），且所述电机（4）的输出端与螺纹杆（3）之间固定连接，所述螺纹杆（3）上螺纹连接有两个对称设置的滑块（5），且所述支撑架（2）上转动设置有连接杆（6），且所述滑块（5）与连接杆（6）之间设有控制连接杆（6）转动的传动机构，所述连接杆（6）的末端上滑动设置有吸盘（7），且所述吸盘（7）与连接杆（6）之间设有卡合吸盘（7）的限位机构。2.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，所述螺纹杆（3）上设有两段螺纹，且两段所述螺纹的旋转方向相反。3.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，两个所述支撑架（2）之间固定设置有导向杆（8），且所述导向杆（8）与滑块（5）之间滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：