胶带粘贴系统技术方案

[问题]提供一种胶带粘贴系统，能够自动地实施切割胶带的切换与交换。[解决方案]胶带粘贴系统(1)包括：储存器(5)，该储存器(5)用于储存多个胶带盒(4)，这些胶带盒(4)各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带(DT)；粘贴装置(3)，该粘贴装置(3)具有将切割胶带(DT)的引出区域(R)限制到预定轨道的可动导向辊(32a)、(32b)，固定导向辊(33a)、(33b)以及刀板(35)，上述胶带盒(4)能够换装，上述粘贴装置(3)将切割胶带(DT)粘贴在切割支架(DF)以及工件(W)上；以及第一运送机器人(6)，该第一运送机器人(6)在储存器(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】胶带粘贴系统


[0001]本专利技术涉及切割胶带的胶带粘贴系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域中，存在将硅晶圆等的半导体衬底(以下，称为“工件”)割断成晶片(chip)的工序，在该工序中，粘贴于工件上的切割胶带约束各个晶片的位置，由此能够高效地进行晶片的割断。
[0003]在专利文献1中记载了如下内容：通过粘贴用辊的加压力将扩展胶带E粘贴于吸附固定在工作台211上的晶圆W上。此外，附图标号是专利文献1的附图标号。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：JP特开2013—4584号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]然而，在专利文献1记载的装置中，当根据晶圆W的类型切换胶带时或由于胶带的消耗而更换胶带时，必须将缠绕在各种辊子上并以通过预定轨道的方式设置的已使用的扩展胶带E移除，并再次手动设置新的扩展胶带E，使其通过预定轨道。
[0009]因此，为了能够自动地实施切割胶带的切换与交换，出现了一个需要解决的技术课题，本专利技术的目的就是解决这个课题。
[0010]用于解决课题的技术方案
[0011]为了实现上述目的，本专利技术涉及的胶带接合装置为胶带粘贴系统，该胶带粘贴系统包括：储存器，该储存器用于储存多个胶带盒，这些胶带盒各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带，上述切割胶带处于一部分被引出的状态；粘贴装置，该粘贴装置具有限制部，该限制部将上述切割胶带的一部分被引出的引出区域限制到预定轨道，上述胶带盒能够换装，上述粘贴装置将上述切割胶带粘贴在切割支架以及工件上；以及传递装置，该传递装置在上述储存器和上述粘贴装置之间传递上述胶带盒。
[0012]按照该构成，当切割胶带以一部分被引出的状态被收纳在胶带盒中，胶带盒通过传递装置被传递到粘贴装置并被换装到粘贴装置时，限制部将切割胶带的引出区域限制到预定轨道，由此，能够自动地实施切割胶带的切换与交换。
[0013]专利技术的效果
[0014]本专利技术能够自动地实施切割胶带的切换与交换。
附图说明
[0015]图1为表示本专利技术一个实施方式相关的胶带粘贴系统的构成的立体图；
[0016]图2为表示胶带粘贴系统的构成的示意图；
[0017]图3为表示粘贴装置的构成的立体图；
[0018]图4为表示胶带盒的构成的立体图；
[0019]图5为表示胶带粘贴系统的主要构成的方框图；
[0020]图6为表示自动设置切割胶带的顺序的示意图。
[0021]图7为表示将切割胶带粘贴到工件和切割支架的顺序的示意图。
具体实施方式
[0022]基于附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。此外，以下，在提及构成要素的数量、数值、量、范围等的情况下，除了特别明示的情况以及原理上明显限定于特定的数量的情况之外，并不限定于该特定的数量，可以是特定的数量以上也可以是特定的数量以下。
[0023]另外，在提及构成要素等的形状、位置关系时，除了特别明示的情况以及原理上明显认为并非如此的情况等之外，包含实质上与该形状等近似或类似的情况等。
[0024]此外，附图有时为了容易理解特征而存在放大特征的部分等进行夸大的情况，构成要素的尺寸比率等不一定与实际相同。
[0025]如图1、图2所示那样，胶带粘贴系统1将切割胶带DT粘贴于工件W和切割支架DF上。工件W例如是硅晶圆等的半导体衬底，但并不限定于此。切割胶带DT是紫外线固化胶带等。
[0026]胶带粘贴系统1具有运送装置2和粘贴装置3。
[0027]运送装置2具有保持工件W的内周侧工作台21和载置切割支架DF的外周侧工作台22。
[0028]在内周侧工作台21的表面埋设有图中未示出的吸附体，该吸附体由具有无数气孔的多孔质材料构成。吸附体的气孔的粗糙度例如为#400或#800等。
[0029]内周侧工作台21与在图中未示出的真空源以及压缩空气源切换自如地连接。当真空源起动时，向载置于内周侧工作台21上的工件W与吸附体的上表面(吸附面)之间供给负压，将工件W吸附保持于吸附面上。另外，若压缩空气源起动，则向工件W与吸附面之间供给压缩空气(释放空气)，解除工件W与吸附面的吸附。
[0030]内周侧工作台21以及外周侧工作台22载置于滑块23上，按照可朝向运送方向D1滑动的方式构成。
[0031]如图3所示的那样，粘贴装置3具有：基部31，在该基部31中，将胶带盒4以可换装的方式设置；可动导向辊32a、32b，该可动导向辊32a、32b从基部31的侧面立设，限制切割胶带DT的轨道；固定导向辊33a、33b，该固定导向辊33a、33b从基部31的侧面立设，限制切割胶带DT的轨道；按压辊34，该按压辊34上下升降而将胶带主体B粘贴于工件W上；以及刀板35，该刀板35限制分离片S的轨道。
[0032]如图4所示的那样，胶带盒4是一个模块化的装置，可于呈辊状卷绕的切割胶带DT的一部分被引出的状态收纳切割胶带DT，同时，可以由下面描述的第一运送机器人6和第二运送机器人7运送。各胶带盒4所收纳的切割胶带DT可以是相同或不同的类型。以下，将切割胶带DT的一部分被引出的范围称为“引出区域R”。
[0033]胶带盒4包括：抽出轴41，该抽出轴41以可抽出的方式支持辊状的切割胶带DT；卷取轴42，该卷取轴42卷取切割胶带DT的分离器S，对切割胶带DT赋予抽出力；以及固定导向辊43a～43b，该固定导向辊43a、43b限制切割胶带DT的轨道，以使张力作用于切割带DT并引
出切割胶带DT的一部分。
[0034]抽出轴41上设有转速传感器，该传感器根据抽出轴41的转速计算出切割胶带DT的剩余量，或者设有金属检测传感器等，该金属检测传感器在切割胶带DT量变少时对抽出轴41进行检测，从而可以检测出切割胶带DT的剩余量变少。
[0035]抽出轴41和卷取轴42从底座44的侧面立设，固定导向辊43a、43b在两端由底座44和支撑板45支撑。又，底座44的上端设有被吸附部46，该被吸附部46可被下面描述的第一运送机器人6和第二运送机器人7吸附。底座44和基部31可以通过图中未示出的锁定机构等自由拆卸地构成。
[0036]又，底座44的一部分，具体来说，从侧面观察，在抽出轴41以及卷取轴42与固定导向辊43a之间设置切口部47。切口部47设置为其大小可收纳可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b、刀板35。
[0037]如图2所示，胶带粘贴系统1包括：储存器5，用于储存多个胶带盒4；以及第一运送机器人6，作为在粘贴装置3和储存器5之间传递胶带盒4的传递装置。第一运送机器人6具有吸附部61，可吸附保持胶带盒4的被吸附部46。又，在下文中，当区分粘贴装置3上所安装的胶带盒4与储存器5内所存储的胶带盒4的场合，对前者赋予符号4A，后者赋予符号4B，以分别进行区别。
[0038]在图1和图2中示出了如下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种胶带粘贴系统，其特征在于，该胶带粘贴系统包括：储存器，该储存器用于储存多个胶带盒，这些胶带盒各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带，上述切割胶带处于一部分被引出的状态；粘贴装置，该粘贴装置具有限制部，该限制部将上述切割胶带的一部分被引出的引出区域限制到预定轨道，上述胶带盒能够换装，上述粘贴装置将上述切割胶带粘贴在切割支架以及工件上；以及传递装置，该传递装置在上述储存器和上述粘贴装置之间传递上述胶带盒。2.根据权利要求1记载的胶带粘贴系统，其特征在于，该胶带粘贴系统进一步包括：存储装...

【专利技术属性】
技术研发人员：木崎清贵，金泽雅喜，青木仁，
申请(专利权)人：株式会社东京精密，
类型：发明
国别省市：