一种金刚石晶片测量装置及其测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种金刚石晶片测量装置及其测量方法，涉及金刚石检测设备应用技术领域，现提出如下方案，包括机体，驱动机构，所述驱动机构安装于机体的内部；定位机构，所述定位机构安装于机体的上方，其一端与驱动机构相连接，所述定位机构包括与机体活动套设的连动板和与连动板固定连接的定位挡板，所述驱动机构驱动连动板进行上下移动，同时带动定位挡板同步进行上下移动

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石晶片测量装置及其测量方法


[0001]本专利技术涉及金刚石检测设备应用
，尤其涉及一种金刚石晶片测量装置及其测量方法
。

技术介绍

[0002]金刚石是钻石的原石，是由碳元素组成的自然元素矿物，晶体多呈八面体
、
菱形十二面体和立方体，有时也呈聚形，多为无色透明，金刚石是在地球深部高温
、
高压条件下形成的，主要产于金伯利岩
、
钾镁煌斑岩及榴辉岩中，非洲南部
、
俄罗斯
、
澳大利亚等地是世界主要的金刚石产区，中国的金刚石主要产出于山东蒙阴
、
辽宁瓦房店以及湖南沅江流域，金刚石的用途十分广泛，宝石级的金刚石可以琢磨成钻石，金刚石的热导率和电阻率是所有物质中最高的，可在电子元器件材料表面沉积纳米金刚石薄膜，可以缩小其散热部位尺寸，利用金刚石优良的红外线穿透性可以制造卫星和高功率激光器的红外窗口；现有的金刚石晶片在培养制造完成定型后，需要对其金刚石晶片进行检测，现有的检测设备分为很多种，对于不同位置的检测需要使用不同的设备进行，或者对待检测的金刚石晶片进行位置的改变，影响检测效果和效率，为此，我们提出了一种金刚石晶片测量装置及其测量方法
。

技术实现思路

[0003]本专利技术提出的一种金刚石晶片测量装置及其测量方法，以解决现有技术中的上述不足之处
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种金刚石晶片测量装置，包括机体，驱动机构，所述驱动机构安装于机体的内部；定位机构，所述定位机构安装于机体的上方，其一端与驱动机构相连接，所述定位机构包括与机体活动套设的连动板和与连动板固定连接的定位挡板，所述驱动机构驱动连动板进行上下移动，同时带动定位挡板同步进行上下移动；固定机构，所述固定机构安装于机体的上方，其一端与驱动机构相连接，所述固定机构包括螺纹杆
、
与螺纹杆螺纹套设的移动板和固定连接在移动板底部的牵引杆，所述驱动机构驱动螺纹杆进行转动，所述螺纹杆的转动带动移动板进行同步移动，所述移动板的移动带动牵引杆进行移动；表面平整度检测机构，所述表面平整度检测机构安装于移动板的下方，所述表面平整度检测机构包括与牵引杆转动连接的套管和固定连接在套管下方的连动架；圆周检测机构，所述圆周检测机构安装于机体的上方，其一端与驱动机构相连接，所述圆周检测机构包括与机体内部转动连接的双向螺纹杆
、
与双向螺纹杆分别螺纹套设的移动架和固定连接在移动架顶部的支撑板，所述驱动机构驱动双向螺纹杆进行转动，所述双向螺纹杆的转动同步带动移动架和支撑板进行移动
。
[0005]进一步地，所述驱动机构包括与机体内部固定连接的双轴电机，所述双轴电机的两端输出轴分别固定套设有第一锥齿轮和第二锥齿轮
。
[0006]进一步地，所述固定机构还包括与机体顶部固定连接的第一导向杆，所述移动板对应螺纹杆和第一导向杆处分别开设有第一螺纹孔和第一导向孔，所述螺纹杆螺纹套设在第一螺纹孔的内部，所述第一导向杆活动套设在第一导向孔的内部，所述牵引杆的底端固定连接有夹持板，所述螺纹杆对应第二锥齿轮处固定连接有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮的一侧与第二锥齿轮啮合传动
。
[0007]进一步地，所述表面平整度检测机构还包括与移动板顶部固定连接的驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有第一齿轮，所述套管对应第一齿轮处固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮的一侧与第一齿轮啮合传动，所述连动架上阵列固定连接有多个第一检测仪，所述连动架对称固定连接有卡板
。
[0008]进一步地，所述圆周检测机构还包括与双向螺纹杆固定套设的第四锥齿轮，所述第四锥齿轮的一侧与第一锥齿轮啮合传动，所述机体的内部固定连接有第二导向杆，所述移动架对应双向螺纹杆和第二导向杆分别开设有第二螺纹孔和第二导向孔，所述双向螺纹杆螺纹套设在第二螺纹孔的内部，所述第二导向杆活动套设在第二导向孔的内部，所述支撑板的顶部固定连接有弧形导轨，所述弧形导轨的内部活动套设有移动块，所述移动块上固定套设有第二检测仪，所述支撑板上开设有移动槽，所述移动槽的内部活动套设有限位条，所述限位条的一端固定连接有锁定板，所述锁定板上对应第二检测仪处开设有第一卡槽，所述第二检测仪的一侧活动套设在第一卡槽的内部，所述支撑板的一侧固定连接有固定板，所述固定板与锁定板之间固定连接有阻力弹簧
。
[0009]进一步地，所述定位机构还包括与机体顶部开设有通孔，所述连动板活动套设在通孔内部，所述连动板上开设有滑槽，所述通孔的内部对应滑槽处固定连接有滑块，所述滑块活动套设在滑槽的内部，所述双向螺纹杆上固定套设有第三齿轮，所述连动板对应第三齿轮处固定连接有齿条，所述齿条的一侧与第三齿轮啮合传动
。
[0010]进一步地，所述机体的顶部固定连接有放置圆台，所述机体的底部固定连接有支撑座，所述卡板对应第二检测仪处开设有第二卡槽，所述第二检测仪活动套设在第二卡槽的内部，所述卡板和锁定板的两侧分别开设有配合倒角
。
[0011]一种金刚石晶片测量方法，其适用于上述任意一项所述的一种金刚石晶片测量装置，包括如下步骤：步骤一：将待检测金刚石晶片通过定位挡板放置在放置圆台上，通过定位挡板使放置的金刚石晶片位于放置圆台的中心位置；步骤二：放置好后，双轴电机正向启动，通过双轴电机的正向启动同步带动第一锥齿轮和第二锥齿轮的同步转动，第一锥齿轮的转动与第四锥齿轮啮合，通过第四锥齿轮的转动带动双向螺纹杆的转动，双向螺纹杆的转动带动移动架向中间进行移动，同时双向螺纹杆的转动带动第三齿轮的转动，第三齿轮的转动同步带动齿条进行移动，同时带动连动板5进行移动，通过连动板的移动对定位的金刚石晶片进行定位解除，同时移动架向中间移动时带动支撑板同步进行移动，支撑板的移动带动弧形导轨和第二检测仪同步进行移动，同时使第二检测仪的检测头与待检测金刚石晶片的圆周面接触；步骤三：第二锥齿轮的转动同步与第三锥齿轮啮合转动，第三锥齿轮的转动带动
螺纹杆的转动，螺纹杆的转动带动移动板进行同步移动，移动板的移动带动牵引杆和夹持板进行移动，通过夹持板的移动对待检测金刚石晶片进行夹持固定处理，同时带动连动架和第一检测仪进行移动，同时使第一检测仪的检测头与待检测金刚石晶片的上表面接触，连动架向下移动时带动卡板同步向下，同时将锁定板向下进行挤压，通过将锁定板向下挤压对第二检测仪进行限位接触；步骤四：当锁定板对第二检测仪进行限位接触后，双轴电机停止工作，同时驱动电机进行正向启动，当驱动电机的启动带动第一齿轮的转动，第一齿轮的转动与第二齿轮啮合转动，通过第二齿轮的转动带动套管进行转动，当套管的转动带动连动架进行转动，当连动架的转动带动第一检测仪对待检测金刚石晶片的上表面进行平整度检测处理，连动架的转动通过卡板带动第二检测仪围绕弧形导轨进行运动，当第二检测仪移动到弧形导轨的一端结束位置时，驱动电机反向启动，驱动电机反向启动后带动第二检测仪向弧形导轨另一端进行移动，由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种金刚石晶片测量装置，包括机体（1），其特征在于；驱动机构，所述驱动机构安装于机体（1）的内部；定位机构，所述定位机构安装于机体（1）的上方，其一端与驱动机构相连接，所述定位机构包括与机体（1）活动套设的连动板（5）和与连动板（5）固定连接的定位挡板（6），所述驱动机构驱动连动板（5）进行上下移动，同时带动定位挡板（6）同步进行上下移动；固定机构，所述固定机构安装于机体（1）的上方，其一端与驱动机构相连接，所述固定机构包括螺纹杆（7）
、
与螺纹杆（7）螺纹套设的移动板（8）和固定连接在移动板（8）底部的牵引杆（9），所述驱动机构驱动螺纹杆（7）进行转动，所述螺纹杆（7）的转动带动移动板（8）进行同步移动，所述移动板（8）的移动带动牵引杆（9）进行移动；表面平整度检测机构，所述表面平整度检测机构安装于移动板（8）的下方，所述表面平整度检测机构包括与牵引杆（9）转动连接的套管（
13
）和固定连接在套管（
13
）下方的连动架（
14
）；圆周检测机构，所述圆周检测机构安装于机体（1）的上方，其一端与驱动机构相连接，所述圆周检测机构包括与机体（1）内部转动连接的双向螺纹杆（
20
）
、
与双向螺纹杆（
20
）分别螺纹套设的移动架（
22
）和固定连接在移动架（
22
）顶部的支撑板（
23
），所述驱动机构驱动双向螺纹杆（
20
）进行转动，所述双向螺纹杆（
20
）的转动同步带动移动架（
22
）和支撑板（
23
）进行移动
。2.
根据权利要求1所述的一种金刚石晶片测量装置，其特征在于，所述驱动机构包括与机体（1）内部固定连接的双轴电机（2），所述双轴电机（2）的两端输出轴分别固定套设有第一锥齿轮（3）和第二锥齿轮（4）
。3.
根据权利要求2所述的一种金刚石晶片测量装置，其特征在于，所述固定机构还包括与机体（1）顶部固定连接的第一导向杆（
11
），所述移动板（8）对应螺纹杆（7）和第一导向杆（
11
）处分别开设有第一螺纹孔和第一导向孔，所述螺纹杆（7）螺纹套设在第一螺纹孔的内部，所述第一导向杆（
11
）活动套设在第一导向孔的内部，所述牵引杆（9）的底端固定连接有夹持板（
10
），所述螺纹杆（7）对应第二锥齿轮（4）处固定连接有第三锥齿轮（
12
），所述第三锥齿轮（
12
）的一侧与第二锥齿轮（4）啮合传动
。4.
根据权利要求2所述的一种金刚石晶片测量装置，其特征在于，所述表面平整度检测机构还包括与移动板（8）顶部固定连接的驱动电机（
17
），所述驱动电机（
17
）的输出轴固定连接有第一齿轮（
18
），所述套管（
13
）对应第一齿轮（
18
）处固定连接有第二齿轮（
16
），所述第二齿轮（
16
）的一侧与第一齿轮（
18
）啮合传动，所述连动架（
14
）上阵列固定连接有多个第一检测仪（
15
），所述连动架（
14
）对称固定连接有卡板（
19
）
。5.
根据权利要求4所述的一种金刚石晶片测量装置，其特征在于，所述圆周检测机构还包括与双向螺纹杆（
20
）固定套设的第四锥齿轮（
21
），所述第四锥齿轮（
21
）的一侧与第一锥齿轮（3）啮合传动，所述机体（1）的内部固定连接有第二导向杆（
33
），所述移动架（
22
）对应双向螺纹杆（
20
）和第二导向杆（
33
）分别开设有第二螺纹孔和第二导向孔，所述双向螺纹杆（
20
）螺纹套设在第二螺纹孔的内部，所述第二导向杆（
33
）活动套设在第二导向孔的内部，所述支撑板（
23
）的顶部固定连接有弧形导轨（
24
），所述弧形导轨（
24
）的内部活动套设有移动块（
25
），所述移动块（
25
）上固定套设有第二检测仪（
26
），所述支撑板（
23
）上开设有移动槽，所述移动槽的内部活动套设有限位条（
27
），所述限位条（
27
）的一端固定连接有锁定板
（
28
），所述锁定板（
28
）上对应第二检测仪（
26
）处开设有第一卡槽，所述第二检测仪（
26
）的一侧活动套设在第一卡槽的内部，所述支撑板（
23
）的一侧固定连接有固定板（
29
），所述固定板（
29
）与锁定板（
28
）之间固定连接有阻力弹簧（
30
）
。6.
根据权利要求1所述的一种金刚石晶片测量装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王焕然，
申请(专利权)人：青岛国工新钻材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：