一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体制造技术

技术编号:40814549 阅读:2 留言:0更新日期:2024-03-28 19:35
本技术是一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,所述CVD设备主体设置有内腔,CVD设备主体装配有滑杆,滑杆装配有限位板,限位板装配有传动丝杆,传动丝杆装配有第一传动齿轮,传动丝杆装配有牵引块,限位板装配有安装板,安装板装配有转动杆,转动杆装配有第二传动齿轮,第二传动齿轮与第一传动齿轮装配,转动杆装配有第一链轮,CVD设备主体装配有横板,横板装配有竖板,竖板装配有操作块,上述一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体通过牵引块和传动丝杆的配合解决了现有的CVD设备进行人工合成钻石,CVD设备内腔中会产生高温,往CVD设备送料和拿取材料时,高温容易对工人的手臂进行灼伤,增加安全隐患的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及金刚石生长设备领域,具体是一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体。


技术介绍

1、cvd设备,又称化学气相沉积设备,属于一种薄膜沉积设备,它是cvd应用的载体,也是工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,从细分种类来看,根据工艺技术的不同,cvd设备可分为pecvd、apcvd/lpcvd、alcvd、vpe等设备。

2、现有的cvd金刚石生长设备在生产的过程中需要通入反应气体,而反应气体涉及有多种,一般为甲烷、氢气和氮气这三种,只有当这三种气体在生长腔体内发生反应前被充分混合以及在生长腔体内分布均匀的情况下,其效果和效率才是最佳的,但是现有的用于金刚石生长的cvd设备在使用的过程中还存在以下问题:

3、现有的cvd设备进行人工合成钻石,cvd设备内腔中会产生高温,往cvd设备送料和拿取材料时,内腔会进行展现,腔体内部的高温往外界输送,高温容易对工人的手臂进行灼伤,增加安全隐患,因此涉及一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体用于现有的金刚石生长设备领域中时候很有必要的。


技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足,现有的cvd设备进行人工合成钻石,cvd设备内腔中会产生高温,往cvd设备送料和拿取材料时,内腔会进行展现,腔体内部的高温往外界输送,高温容易对工人的手臂进行灼伤,增加安全隐患的问题,本技术提出一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体,所述cvd设备主体上设置有内腔,cvd设备主体上对称固定装配有滑杆,滑杆位于内腔的上方,两个滑杆的一端固定装配有限位板,限位板上活动装配有传动丝杆,传动丝杆在两个滑杆之间进行转动,传动丝杆的一端固定装配有第一传动齿轮,第一传动齿轮位于限位板的一侧,传动丝杆上螺纹装配有牵引块,牵引块在两个滑杆上进行移动,限位板的底部固定装配有安装板,安装板上活动装配有转动杆,转动杆的一端固定装配有第二传动齿轮,第二传动齿轮与第一传动齿轮进行齿纹装配,转动杆的另一端固定装配有第一链轮。

3、作为优选,所述cvd设备主体上固定装配有横板,横板位于内腔的下方,横板的一端固定装配有竖板,竖板的侧面固定装配有操作块,操作块的内部设置有转动腔,转动腔上对称设置有牵引腔,转动腔上活动装配有螺纹套杆,螺纹套杆的一端活动贯穿操作块,螺纹套杆的表面对称固定装配有滑动块,滑动块与牵引腔进行活动装配。

4、作为优选,所述转动腔上活动装配有操作丝杆,操作丝杆与螺纹套杆进行螺纹装配,操作丝杆的一端活动贯穿操作块和竖板,并且操作丝杆的一端固定装配有第二链轮,第二链轮和第一链轮上缠绕有链条。

5、作为优选,所述竖板上固定装配有固定架,固定架上固定装配有操作电机,操作电机的输出端活动贯穿固定架,并且操作电机的输出端与第二链轮进行固定装配。

6、作为优选,所述cvd设备主体上对称固定装配有装配板,两个装配板之间固定装配有连接杆,连接杆上活动装配有转动块,转动块上固定装配有保温挡板,牵引块的底部固定装配有拉绳,拉绳的另一端与保温挡板进行固定装配。

7、作为优选,所述螺纹套杆的一端固定装配有气缸,气缸上固定装配有连接板,连接板上对称固定装配有固定块,固定块上均固定装配有装配块,装配块的一端均固定装配有安装块,安装块上均活动装配有活动块,活动块的一端均固定装配有移动块,移动块位于两个安装块之间,装配块上均固定装配有连接块,两个连接块上固定装配有固定板,固定板上对称贯穿设置有移动口,移动块与移动口进行活动装配,移动块上均固定装配有牵引板,牵引板上均固定装配有夹持块。

8、作为优选,所述气缸的输出端固定装配有活塞杆,活塞杆活动贯穿连接板,并且活塞杆的一端固定装配有推块,推块上活动装配有两个安装框,安装框的对称两侧面均固定装配有安装杆,固定块的侧面均固定装配有第一固定杆,第一固定杆上均活动装配有调节板,调节板的另一端与其中一个安装杆进行活动装配,活动块上均固定装配有第二固定杆,第二固定杆位于安装块和移动块之间,第二固定杆上均活动装配有引导板,引导板的另一端与另一个安装杆进行活动装配,横板上固定装配有放置台,放置台位于夹持块的下方。

9、本技术的有益之处在于:

10、本技术通过启动气缸,活塞杆带动推块进行移动,使得两个安装框在推块上进行移动,引导板和调节板进行调节,活动块在安装块上移动,使得移动块在移动口上移动,让两个夹持块对放置台上的材料进行夹持,启动操作电机,使得操作丝杆在螺纹套杆中转动,让滑动块在牵引腔上进行移动,通过第二链轮通过链条带动第一链轮进行转动,第一链轮通过转动杆带动第二传动齿轮进行转动,第二传动齿轮带动第一传动齿轮进行转动,第一传动齿轮带动传动丝杆在牵引块上转动,使得牵引块在两个传动丝杆上进行移动,牵引块朝限位板的方向进行移动,使得拉绳对保温挡板进行拉拽,让转动块沿着连接杆上进行转动,内腔进行打开,此时螺纹套杆带动夹持的物料朝内腔的方向进行移动,避免人工操作带来的灼伤,提高使用安全。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述CVD设备主体(10)上设置有内腔(61),CVD设备主体(10)上对称固定装配有滑杆(20),滑杆(20)位于内腔(61)的上方,两个滑杆(20)的一端固定装配有限位板(21),限位板(21)上活动装配有传动丝杆(22),传动丝杆(22)在两个滑杆(20)之间进行转动,传动丝杆(22)的一端固定装配有第一传动齿轮(23),第一传动齿轮(23)位于限位板(21)的一侧,传动丝杆(22)上螺纹装配有牵引块(30),牵引块(30)在两个滑杆(20)上进行移动,限位板(21)的底部固定装配有安装板(32),安装板(32)上活动装配有转动杆(33),转动杆(33)的一端固定装配有第二传动齿轮(40),第二传动齿轮(40)与第一传动齿轮(23)进行齿纹装配,转动杆(33)的另一端固定装配有第一链轮(41)。

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述CVD设备主体(10)上固定装配有横板(42),横板(42)位于内腔(61)的下方,横板(42)的一端固定装配有竖板(43),竖板(43)的侧面固定装配有操作块(50),操作块(50)的内部设置有转动腔(85),转动腔(85)上对称设置有牵引腔(86),转动腔(85)上活动装配有螺纹套杆(87),螺纹套杆(87)的一端活动贯穿操作块(50),螺纹套杆(87)的表面对称固定装配有滑动块(88),滑动块(88)与牵引腔(86)进行活动装配。

3.根据权利要求2所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述转动腔(85)上活动装配有操作丝杆(89),操作丝杆(89)与螺纹套杆(87)进行螺纹装配,操作丝杆(89)的一端活动贯穿操作块(50)和竖板(43),并且操作丝杆(89)的一端固定装配有第二链轮(51),第二链轮(51)和第一链轮(41)上缠绕有链条(52)。

4.根据权利要求3所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述竖板(43)上固定装配有固定架(53),固定架(53)上固定装配有操作电机(60),操作电机(60)的输出端活动贯穿固定架(53),并且操作电机(60)的输出端与第二链轮(51)进行固定装配。

5.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述CVD设备主体(10)上对称固定装配有装配板(11),两个装配板(11)之间固定装配有连接杆(62),连接杆(62)上活动装配有转动块(13),转动块(13)上固定装配有保温挡板(12),牵引块(30)的底部固定装配有拉绳(31),拉绳(31)的另一端与保温挡板(12)进行固定装配。

6.根据权利要求2所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述螺纹套杆(87)的一端固定装配有气缸(63),气缸(63)上固定装配有连接板(70),连接板(70)上对称固定装配有固定块(71),固定块(71)上均固定装配有装配块(72),装配块(72)的一端均固定装配有安装块(73),安装块(73)上均活动装配有活动块(80),活动块(80)的一端均固定装配有移动块(81),移动块(81)位于两个安装块(73)之间,装配块(72)上均固定装配有连接块(82),两个连接块(82)上固定装配有固定板(83),固定板(83)上对称贯穿设置有移动口(90),移动块(81)与移动口(90)进行活动装配,移动块(81)上均固定装配有牵引板(91),牵引板(91)上均固定装配有夹持块(92)。

7.根据权利要求6所述的一种用于金刚石生长的新型CVD设备腔体,其特征在于:所述气缸(63)的输出端固定装配有活塞杆(93),活塞杆(93)活动贯穿连接板(70),并且活塞杆(93)的一端固定装配有推块(94),推块(94)上活动装配有两个安装框(95),安装框(95)的对称两侧面均固定装配有安装杆(96),固定块(71)的侧面均固定装配有第一固定杆(97),第一固定杆(97)上均活动装配有调节板(98),调节板(98)的另一端与其中一个安装杆(96)进行活动装配,活动块(80)上均固定装配有第二固定杆(99),第二固定杆(99)位于安装块(73)和移动块(81)之间,第二固定杆(99)上均活动装配有引导板(84),引导板(84)的另一端与另一个安装杆(96)进行活动装配,横板(42)上固定装配有放置台(74),放置台(74)位于夹持块(92)的下方。

...

【技术特征摘要】

1.一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体,其特征在于:所述cvd设备主体(10)上设置有内腔(61),cvd设备主体(10)上对称固定装配有滑杆(20),滑杆(20)位于内腔(61)的上方,两个滑杆(20)的一端固定装配有限位板(21),限位板(21)上活动装配有传动丝杆(22),传动丝杆(22)在两个滑杆(20)之间进行转动,传动丝杆(22)的一端固定装配有第一传动齿轮(23),第一传动齿轮(23)位于限位板(21)的一侧,传动丝杆(22)上螺纹装配有牵引块(30),牵引块(30)在两个滑杆(20)上进行移动,限位板(21)的底部固定装配有安装板(32),安装板(32)上活动装配有转动杆(33),转动杆(33)的一端固定装配有第二传动齿轮(40),第二传动齿轮(40)与第一传动齿轮(23)进行齿纹装配,转动杆(33)的另一端固定装配有第一链轮(41)。

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体,其特征在于:所述cvd设备主体(10)上固定装配有横板(42),横板(42)位于内腔(61)的下方,横板(42)的一端固定装配有竖板(43),竖板(43)的侧面固定装配有操作块(50),操作块(50)的内部设置有转动腔(85),转动腔(85)上对称设置有牵引腔(86),转动腔(85)上活动装配有螺纹套杆(87),螺纹套杆(87)的一端活动贯穿操作块(50),螺纹套杆(87)的表面对称固定装配有滑动块(88),滑动块(88)与牵引腔(86)进行活动装配。

3.根据权利要求2所述的一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体,其特征在于:所述转动腔(85)上活动装配有操作丝杆(89),操作丝杆(89)与螺纹套杆(87)进行螺纹装配,操作丝杆(89)的一端活动贯穿操作块(50)和竖板(43),并且操作丝杆(89)的一端固定装配有第二链轮(51),第二链轮(51)和第一链轮(41)上缠绕有链条(52)。

4.根据权利要求3所述的一种用于金刚石生长的新型cvd设备腔体,其特征在于:所述竖板(43)上固定装配有固定架(53),固定架(53)上固定装配有操作电机(60),操作电机(60)的输出端活动贯穿固定架(53),并且操作电机(60)的输出...

【专利技术属性】
技术研发人员:王焕然
申请(专利权)人:青岛国工新钻材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1