【技术实现步骤摘要】
本申请涉及薄膜沉积，特别是涉及一种加热系统及其控制方法、镀膜设备。
技术介绍
1、镀膜设备是能够提供沉积环境并容纳基片(如晶圆)，允许向沉积环境内通入反应气体以在基片表面沉积薄膜的设备。为实现沉积，镀膜设备还具有加热装置，当基片置于腔体内时，通常会利用设置在腔体内的加热器对基片进行加热。
2、在相关技术中，镀膜设备的加热器的加热以辐射传热为主，然而这种加热方式的加热效率不高，能耗高，且容易在局部产生较大的温差。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述的问题，提供一种提高加热效率、降低局部温差的加热系统及其控制方法、镀膜设备。
2、一种加热系统，用于镀膜设备，所述加热系统包括：
3、载具，其内形成用于装载基片的装载腔；及
4、加热组件，包括加热器及泵气装置；所述加热器形成有气流通道，并被配置为加热流通于所述气流通道内的气体；所述气流通道具有进气端及出气端，所述进气端及所述出气端均与所述装载腔连通；泵气装置，连通所述加热器，并被配置为能够驱动所述气流通道内的气体自所述进气端流向所述出气端，以使气体自所述出气端流入所述装载腔，自所述装载腔流入所述进气端。
5、在其中一个实施例中，所述加热组件还包括混气装置，所述混气装置连通于所述出气端与所述装载腔之间，所述混气装置内具有混流板。
6、在其中一个实施例中，所述加热组件还包括过滤装置，所述过滤装置设于所述进气端与所述载具之间和/或所述出气端与所述载具之间。
8、每一所述进气挡板设于所述混气管段连通所述进气管段的一端内，每一所述进气挡板上开设有过气孔；所述收集部形成于所述进气挡板的下方。
9、在其中一个实施例中，所述过滤装置还包括螺旋板，所述混气管段在所述气流方向上连通于所述收集部与所述出气管段之间，所述螺旋板设于所述混气管段内，且绕所述混气管段的轴向螺旋延伸。
10、在其中一个实施例中，所述混气管段相对水平面倾斜设置，且连通所述出气管段的一端高于连通所述收集部的一端。
11、在其中一个实施例中，所述过滤装置还包括至少一层出气挡板，每一所述出气挡板设于所述混气管段连通所述出气管段的一端内，所述出气挡板上开设有过气孔。
12、在其中一个实施例中，所述收集部的底部形成有开口；所述过滤装置还包括端盖，所述端盖可拆卸地封堵于所述收集部的所述开口。
13、在其中一个实施例中，所述过滤装置包括输气管及气阀，所述输气管用于与所述加热系统的外部连通，所述气阀设于所述输气管上。
14、在其中一个实施例中，所述泵气装置及所述过滤装置中一者设于所述进气端与所述载具之间，另一者设于所述出气端与所述载具之间。
15、在其中一个实施例中，所述泵气装置在不工作状态时关闭，气体无法进入所述泵气装置。
16、在其中一个实施例中，所述泵气装置设于所述加热器与所述载具之间；
17、所述泵气装置包括动力机构，泵气室以及叶轮，所述气流通道与所述装载腔通过所述泵气室连通，所述叶轮设于所述泵气室内，所述动力机构传动连接所述叶轮。
18、在其中一个实施例中，所述泵气装置还包括支撑座，所述叶轮通过所述支撑座设于所述泵气室内，所述支撑座上开设有过气孔。
19、在其中一个实施例中，所述加热器包括壳体及连接所述壳体的导热件与发热体，所述壳体内形成所述气流通道；所述导热件隔离于所述气流通道与所述发热体之间，所述发热体背向所述导热件的一侧用于朝向所述载具。
20、在其中一个实施例中，所述加热系统包括至少两组所述加热组件，全部所述加热组件均匀间隔设于所述载具外部。
21、一种镀膜设备，包括上述的加热系统。
22、在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括真空腔体；所述泵气装置至少部分设于所述真空腔体内，或所述泵气装置设于所述真空腔体外；
23、所述泵气装置通过气管连通所述载具，位于所述真空腔体外的所述气管及所述泵气装置外部设有隔热层。
24、在其中一个实施例中，所述镀膜设备还包括真空腔体，所述泵气装置及所述加热组件设于所述真空腔体外，并共同形成加热泵气组件。
25、一种加热系统的控制方法，所述控制方法用于上述的加热系统，包括：
26、启动加热组件；
27、向加热组件内充入气体，并启动泵气装置；
28、监测载具的温度，当所述载具的温度达到设定温度时，关闭泵气装置。
29、在其中一个实施例中，所述向加热组件内充入气体，并启动泵气装置的步骤之后，还包括；
30、监测装载腔内压力，当所述装载腔内气压大于第一压力值时，释放部分气体。
31、在其中一个实施例中，所述监测载具的温度，当所述载具的温度达到设定温度时，关闭泵气装置的步骤之后，还包括：
32、监测装载腔内压力，并对装载腔进行抽气，使所述装载腔内气达到第二压力值；
33、持续经所述加热组件向装载腔内通入气体。
34、上述加热系统及其控制方法、镀膜设备中，载具与加热器组成一个贯通空间，通入该空间的气体先在气流通道内受热，再被泵气装置泵送至载具内的装载腔，用于提升装载腔内的温度。泵气装置不但能够将受热气体不断泵入装载腔，还能将气体不断从装载腔补充至气流通道内，实现气体在载具及加热器之间的循环。如此，加热系统利用强制对流使换热更加充分，载具及其内基片能够被更高效且均匀地加热。
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1.一种加热系统，用于镀膜设备，其特征在于，所述加热系统包括：
2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热组件（12）还包括混气装置，所述混气装置连通于所述出气端（1213）与所述装载腔（111）之间，所述混气装置内具有混流板。
3.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热组件（12）还包括过滤装置（124），所述过滤装置（124）设于所述进气端（1212）与所述载具（11）之间和/或所述出气端（1213）与所述载具（11）之间。
4.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）包括管体及至少一层进气挡板（1245），所述管体包括进气管段（1241）、收集部（1242）、混气管段（1244）以及出气管段（1243），其中，所述进气管段（1241）、所述混气管段（1244）以及所述出气管段（1243）在气流方向上顺次连通；
5.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）还包括螺旋板（1247），所述混气管段（1244）在所述气流方向上连通于所述收集部（1242）与所述出气
6.根据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述混气管段（1244）相对水平面倾斜设置，且连通所述出气管段（1243）的一端高于连通所述收集部（1242）的一端；所述过滤装置（124）还包括至少一层出气挡板（1248），每一所述出气挡板（1248）设于所述混气管段（1244）连通所述出气管段（1243）的一端内，所述出气挡板（1248）上开设有过气孔。
7.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述收集部（1242）的底部形成有开口；所述过滤装置（124）还包括端盖（1246），所述端盖（1246）可拆卸地封堵于所述收集部（1242）的所述开口。
8.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）包括输气管（1249）及气阀（12410），所述输气管（1249）用于与所述加热系统的外部连通，所述气阀（12410）设于所述输气管（1249）上。
9.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述泵气装置（123）及所述过滤装置（124）中一者设于所述进气端（1212）与所述载具（11）之间，另一者设于所述出气端（1213）与所述载具（11）之间。
10.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述泵气装置（123）在不工作状态时关闭，气体无法进入所述泵气装置（123）。
11.根据权利要求1-10任一项所述的加热系统，其特征在于，所述泵气装置（123）设于所述加热器（121）与所述载具（11）之间；
12.根据权利要求11所述的加热系统，其特征在于，所述泵气装置（123）还包括支撑座（1236），所述叶轮（1233）通过所述支撑座（1236）设于所述泵气室（1232）内，所述支撑座（1236）上开设有过气孔。
13.根据权利要求1-10任一项所述的加热系统，其特征在于，所述加热器（121）包括壳体（1214）及连接所述壳体（1214）的导热件（1215）与发热体（1216），所述壳体（1214）内形成所述气流通道（1211）；所述导热件（1215）隔离于所述气流通道（1211）与所述发热体（1216）之间，所述发热体（1216）背向所述导热件（1215）的一侧用于朝向所述载具（11）。
14.根据权利要求1-10任一项所述的加热系统，其特征在于，所述加热系统包括至少两组所述加热组件（12），全部所述加热组件（12）均匀间隔设于所述载具（11）外部。
15.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-14任一项所述的加热系统。
16.根据权利要求15所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括真空腔体（20）；所述泵气装置（123）至少部分设于所述真空腔体（20）内，或所述泵气装置（123）设于所述真空腔体（20）外；
17.根据权利要求15或16所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括真空腔体（20），所述泵气装置（123）及所述加热组件（12）设于所述真空腔体（20）外，并共同形成加热泵气组件（70）。
18.一种加热系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法用于权利要求1-14任一项所述的加热系统，包括：
19.根据权利要求18所述的控制方法，其特征在于，所述向加热组件内充入气体，并启动泵气装置的步骤之后，还包括：
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【技术特征摘要】
1.一种加热系统，用于镀膜设备，其特征在于，所述加热系统包括：
2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热组件（12）还包括混气装置，所述混气装置连通于所述出气端（1213）与所述装载腔（111）之间，所述混气装置内具有混流板。
3.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热组件（12）还包括过滤装置（124），所述过滤装置（124）设于所述进气端（1212）与所述载具（11）之间和/或所述出气端（1213）与所述载具（11）之间。
4.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）包括管体及至少一层进气挡板（1245），所述管体包括进气管段（1241）、收集部（1242）、混气管段（1244）以及出气管段（1243），其中，所述进气管段（1241）、所述混气管段（1244）以及所述出气管段（1243）在气流方向上顺次连通；
5.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）还包括螺旋板（1247），所述混气管段（1244）在所述气流方向上连通于所述收集部（1242）与所述出气管段（1243）之间，所述螺旋板（1247）设于所述混气管段（1244）内，且绕所述混气管段（1244）的轴向螺旋延伸。
6.根据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述混气管段（1244）相对水平面倾斜设置，且连通所述出气管段（1243）的一端高于连通所述收集部（1242）的一端；所述过滤装置（124）还包括至少一层出气挡板（1248），每一所述出气挡板（1248）设于所述混气管段（1244）连通所述出气管段（1243）的一端内，所述出气挡板（1248）上开设有过气孔。
7.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述收集部（1242）的底部形成有开口；所述过滤装置（124）还包括端盖（1246），所述端盖（1246）可拆卸地封堵于所述收集部（1242）的所述开口。
8.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述过滤装置（124）包括输气管（1249）及气阀（12410），所述输气管（1249）用于与所述加热系统的外部连通，所述气阀（12410）设于所述输气管（1249）上。
9.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述泵气装置（123）及所述过滤装置（124）中一者设于所述进气端（1212...
【专利技术属性】
技术研发人员：施述鹏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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