【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜设备，具体涉及一种载具及镀膜设备。
技术介绍
1、在利用射频电源产生等离子体进行镀膜的设备生产中，需要利用射频电源给载具创造电场环境，从而实现等离子在电场中产生辉光放电，在产生电场的过程中，需要持续提供一个稳定的电场，以保证产品良率。
2、载具的馈电舟脚支撑于馈电承舟块，馈电承舟块通过馈电舟脚与导电舟体电性连接并产生电场，而在生产过程中，容易发生高频放电打弧的情况，影响电场的稳定性，并且直接影响产品的良率、效率和产量。
3、因此，镀膜设备在生产过程中，如何避免或者降低局部高频打弧的现象，改善馈电接触，保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种载具及镀膜设备，使得镀膜设备在生产过程中，能够避免或者降低局部高频打弧的现象，改善馈电接触，保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种载具，包括导电舟体和设于所述导电舟体底部的支撑件...
【技术保护点】
1.一种载具，其特征在于，包括导电舟体(1)和支撑于所述导电舟体(1)底部的支撑件，所述支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚(2)，所述馈电舟脚(2)支撑于馈电承舟块(3)；
2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述馈电舟脚(2)包括本体部(22)，所述本体部(22)用于对所述导电舟体(1)提供支撑，所述本体部(22)为绝缘体并形成所述绝缘件，所述本体部(22)设有穿孔(21)，所述导电件能够穿过所述穿孔(21)并分别与所述导电舟体(1)及所述馈电承舟块(3)电性连接。
3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导电舟体(1)还包括多个间隔块...
【技术特征摘要】
1.一种载具，其特征在于，包括导电舟体(1)和支撑于所述导电舟体(1)底部的支撑件，所述支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚(2)，所述馈电舟脚(2)支撑于馈电承舟块(3)；
2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述馈电舟脚(2)包括本体部(22)，所述本体部(22)用于对所述导电舟体(1)提供支撑，所述本体部(22)为绝缘体并形成所述绝缘件，所述本体部(22)设有穿孔(21)，所述导电件能够穿过所述穿孔(21)并分别与所述导电舟体(1)及所述馈电承舟块(3)电性连接。
3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导电舟体(1)还包括多个间隔块(11)和多个舟片(12)，所述间隔块(11)和所述舟片(12)依次间隔错开布置，并通过连杆(15)连接，所述本体部(22)的上方对应设有至少两个所述间隔块(11)。
4.根据权利要求3所述的载具，其特征在于，位于所述本体部(22)上方的至少两个所述间隔块(11)包括第一间隔块(13)，所述第一间隔块(13)与所述导电件电性连接。
5.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为顶端与所述第一间隔块(13)固定或一体成型的导电柱(41)，所述导电柱(41)的底端能够穿过所述穿孔(21)并与所述馈电承舟块(3)的接触面(31)接触。
6.根据权利要求5所述的载具，其特征在于，所述穿孔(21)的轴向长度小于所述导电柱(41)的轴向长度。
7.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为弹性结构导体(42)，所述弹性结构导体(42)穿过所述穿孔(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：张胜，徐兴文，李挺，严大，施述鹏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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