【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜设备，具体涉及一种载具及镀膜设备。
技术介绍
1、在利用射频电源产生等离子体进行镀膜的设备生产中，需要利用射频电源给载具创造电场环境，从而实现等离子在电场中产生辉光放电，在产生电场的过程中，需要持续提供一个稳定的电场，以保证产品良率。
2、载具的馈电舟脚支撑于馈电承舟块，馈电承舟块通过馈电舟脚与导电舟体电性连接并产生电场，而在生产过程中，容易发生高频放电打弧的情况，影响电场的稳定性，并且直接影响产品的良率、效率和产量。
3、因此，镀膜设备在生产过程中，如何避免或者降低局部高频打弧的现象，改善馈电接触，保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种载具及镀膜设备，使得镀膜设备在生产过程中，能够避免或者降低局部高频打弧的现象，改善馈电接触，保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种载具，包括导电舟体和设于所述导电舟体底部的支撑件，所述支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚，所述馈电舟脚支撑于馈电承舟块；所述导电舟体和所述馈电承舟块通过导电件电性连接，所述馈电舟脚包括包裹于所述导电件外的绝缘件。
3、可选地，所述馈电舟脚包括本体部，所述本体部用于对所述导电舟体提供支撑，所述本体部为绝缘体并形成所述绝缘件，所述本体部设有穿孔，所述导电件能够穿过所述穿孔并分别与所述导电舟体及所述馈电承舟块电性连接。
4、可选地，
5、可选地，位于所述本体部上方的至少两个所述间隔块包括第一间隔块，所述第一间隔块与所述导电件电性连接。
6、可选地，所述导电件为顶端与所述第一间隔块固定或一体成型的导电柱，所述导电柱的底端能够穿过所述穿孔并与所述馈电承舟块的接触面接触。
7、可选地，所述穿孔的轴向长度小于所述导电柱的轴向长度。
8、可选地，所述导电件为弹性结构导体，所述弹性结构导体穿过所述穿孔，且所述弹性结构导体的两端分别与所述第一间隔块及所述馈电承舟块抵接，所述弹性结构导体自然状态下的轴向长度大于所述穿孔的轴向长度。
9、可选地，所述弹性结构导体的顶端与所述第一间隔块固定或所述弹性结构导体与所述第一间隔块一体成型。
10、可选地，所述弹性结构导体沿轴向包括螺旋结构段或波浪结构段。
11、可选地，所述波浪结构段由导电块加工形成，或者，所述波浪结构段由导电片折叠形成。
12、可选地，所述本体部的底部设有与所述接触面相适配的配合面，且所述导电件的底部端面和所述接触面相适配。
13、可选地，位于所述本体部上方的至少两个所述间隔块还包括第二间隔块，所述第二间隔块设有配合槽，所述馈电舟脚设有配合凸起，所述导电件穿过所述穿孔并与所述馈电承舟块接触的状态下，所述配合凸起位于所述配合槽内。
14、可选地，所述本体部的底部还设有限位件，所述限位件用于限制所述馈电舟脚与所述馈电承舟块脱离。
15、本申请还提供了一种镀膜设备，包括如上所述的载具。
16、本申请所提供的载具和镀膜设备，相较于现有技术有如下技术效果：
17、在导电舟体和馈电承舟块之间仅通过导电件实现电连接，该导电件通过绝缘件包裹，相较于直接将馈电舟脚整体设置为导电材质，并通过该馈电舟脚在导电舟体和馈电承舟块之间实现电性连接的方案来说，能够避免由于高电流、高电压、等离子气体以及接触不良等问题，发生局部电流过大的情况，进而避免馈电舟脚高频放电打弧的情况。并且，通过导电件实现电性连接，并在导电件外通过绝缘件包裹，能够精准缩小馈电舟脚处的馈电区域，避免导电馈电舟脚的边缘棱角区域与馈电承舟块附近其它导体或镀上导电膜后的绝缘体之间易产生高频放电、尖端放电等的情况，通过将导电体设置为弹性结构，减少馈电接触的两端面之间被镀上膜层，改善馈电接触，进而保证整个电场的稳定性，保证产品的良率、效率和产量。
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1.一种载具，其特征在于，包括导电舟体(1)和支撑于所述导电舟体(1)底部的支撑件，所述支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚(2)，所述馈电舟脚(2)支撑于馈电承舟块(3)；
2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述馈电舟脚(2)包括本体部(22)，所述本体部(22)用于对所述导电舟体(1)提供支撑，所述本体部(22)为绝缘体并形成所述绝缘件，所述本体部(22)设有穿孔(21)，所述导电件能够穿过所述穿孔(21)并分别与所述导电舟体(1)及所述馈电承舟块(3)电性连接。
3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导电舟体(1)还包括多个间隔块(11)和多个舟片(12)，所述间隔块(11)和所述舟片(12)依次间隔错开布置，并通过连杆(15)连接，所述本体部(22)的上方对应设有至少两个所述间隔块(11)。
4.根据权利要求3所述的载具，其特征在于，位于所述本体部(22)上方的至少两个所述间隔块(11)包括第一间隔块(13)，所述第一间隔块(13)与所述导电件电性连接。
5.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为顶端与所
6.根据权利要求5所述的载具，其特征在于，所述穿孔(21)的轴向长度小于所述导电柱(41)的轴向长度。
7.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为弹性结构导体(42)，所述弹性结构导体(42)穿过所述穿孔(21)，且所述弹性结构导体(42)的两端分别与所述第一间隔块(13)及所述馈电承舟块(3)抵接，所述弹性结构导体(42)自然状态下的轴向长度大于所述穿孔(21)的轴向长度。
8.根据权利要求7所述的载具，其特征在于，所述弹性结构导体(42)的顶端与所述第一间隔块(13)固定或所述弹性结构导体(42)与所述第一间隔块(13)一体成型。
9.根据权利要求8所述的载具，其特征在于，所述弹性结构导体(42)沿轴向包括螺旋结构段或波浪结构段。
10.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述波浪结构段由导电块加工形成，或者，所述波浪结构段由导电片折叠形成。
11.根据权利要求5-10任一项所述的载具，其特征在于，所述本体部(22)的底部设有与所述接触面(31)相适配的配合面，且所述导电件的底部端面和所述接触面(31)相适配。
12.根据权利要求5-10任一项所述的载具，其特征在于，位于所述本体部(22)上方的至少两个所述间隔块(11)还包括第二间隔块(14)，所述第二间隔块(14)设有配合槽(51)，所述馈电舟脚(2)设有配合凸起(52)，所述导电件穿过所述穿孔(21)并与所述馈电承舟块(3)接触的状态下，所述配合凸起(52)位于所述配合槽(51)内。
13.根据权利要求2-10任一项所述的载具，其特征在于，所述本体部(22)的底部还设有限位件(23)，所述限位件(23)用于限制所述馈电舟脚(2)与所述馈电承舟块(3)脱离。
14.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-13任一项所述的载具。
...【技术特征摘要】
1.一种载具，其特征在于，包括导电舟体(1)和支撑于所述导电舟体(1)底部的支撑件，所述支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚(2)，所述馈电舟脚(2)支撑于馈电承舟块(3)；
2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述馈电舟脚(2)包括本体部(22)，所述本体部(22)用于对所述导电舟体(1)提供支撑，所述本体部(22)为绝缘体并形成所述绝缘件，所述本体部(22)设有穿孔(21)，所述导电件能够穿过所述穿孔(21)并分别与所述导电舟体(1)及所述馈电承舟块(3)电性连接。
3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导电舟体(1)还包括多个间隔块(11)和多个舟片(12)，所述间隔块(11)和所述舟片(12)依次间隔错开布置，并通过连杆(15)连接，所述本体部(22)的上方对应设有至少两个所述间隔块(11)。
4.根据权利要求3所述的载具，其特征在于，位于所述本体部(22)上方的至少两个所述间隔块(11)包括第一间隔块(13)，所述第一间隔块(13)与所述导电件电性连接。
5.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为顶端与所述第一间隔块(13)固定或一体成型的导电柱(41)，所述导电柱(41)的底端能够穿过所述穿孔(21)并与所述馈电承舟块(3)的接触面(31)接触。
6.根据权利要求5所述的载具，其特征在于，所述穿孔(21)的轴向长度小于所述导电柱(41)的轴向长度。
7.根据权利要求4所述的载具，其特征在于，所述导电件为弹性结构导体(42)，所述弹性结构导体(42)穿过所述穿孔(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：张胜，徐兴文，李挺，严大，施述鹏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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