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本申请涉及一种载具及镀膜设备，其中，载具包括导电舟体和设于导电舟体底部的支撑件，支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚，馈电舟脚，馈电舟脚支撑于馈电承舟块；导电舟体和馈电承舟块通过导电件电性连接，馈电舟脚包括包裹于导电件外的绝缘件。该载具的设置，使得...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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