下载一种应用于硅片转移用机械手的吸盘的技术资料

文档序号:26832331

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本申请涉及硅片转移的技术领域,尤其是涉及一种应用于硅片转移用机械手的吸盘,包括吸附部和安装部,所述吸附部远离安装部的一端开设有刃型边。本申请具有以下效果:刃型边的开设使得吸盘将更容易插入至硅片与硅片之间的空隙中,从而降低了加工过程中对机械手...
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