【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用在显示器件中的防反射和防静电多层结构；特别涉及具有提高的粘接系数和强度的在玻璃基片上的五层防反射和防静电涂层。
技术介绍
近来，为了防止产生静电、体(block)电磁辐射和减少外部光反射，薄膜涂层被广泛地应用于显示器件的表面。这种薄膜通常由至少2层和2种材料构成；并且为了增强其电和光学特性，可采用由不同材料形成的大量层来制造。这种类型的多层薄膜还需要具有适当的机械特性，例如粘接系数和强度。为此，一般通过采用各种膜形成技术制造多层薄膜，如喷射、淀积、涂敷、化学淀积和溅射。作为最通常采用的一种膜形成方法的溅射可分为成批型溅射、互返(inter-back)溅射、和一字形溅射技术中的一种，这取决于采用何种方式进行装载和卸载基片。在成批型溅射中，基片直接装载在涂敷室中，并在其中用薄膜涂敷基片表面。在互返溅射中，提供子处理室用于通过它从进行膜形成的涂敷室装载和卸载基片。在一字形溅射中，在涂敷室附近提供装载室和卸载室。待处理基片经过装载室被运载到涂敷室，然后被处理过的基片从涂敷室经过卸载室运出。在制造LCD和PDP的领域内，上述一字形溅射技术最广泛地用于利用...
【技术保护点】
一种用于显示器件的防反射和防静电结构，包括玻璃基片、和依次按顺序形成在玻璃基片上的ＩＴＯ层、第一Ｎｂ↓［２］Ｏ↓［５］层、第一ＳｉＯ↓［２］层、第二Ｎｂ↓［２］Ｏ↓［５］层和第二ＳｉＯ↓［２］层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜台洙，柳济春，禹庆槿，具滋铉，吴定烘，金教正，
申请(专利权)人：三星康宁株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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