防反射膜、及具有该防反射膜的光学元件和光学系统技术方案

一种防反射膜（１），形成于光学部件（２）的光学面，使入射到该光学面而反射的光线减少，对于入射到该光学面的、波长区域为４００ｎｍ至７００ｎｍ的光线，当该光线的入射角为０度至２５度时，反射率小于等于０．５％，且当该光线的入射角为０度至６０度时，反射率小于等于３．５％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在照相用光学系统、双筒镜、望远镜、显微镜等以多个波长或者频带使用的光学元件中形成的防反射膜，以及在其光学面上形成有该防反射膜的光学元件和光学系统。
技术介绍
防反射膜的目的是用于降低由于构成光学系统的光学元件和介质的折射率不同而产生的反射。这是因为如果这样的反射光照射到像面，会形成重影和光斑，从而给光学性能带来明显的不良影响。近年来，光学系统所必需的光学性能提高，对于形成于该光学系统内所配置的光学元件中的防反射膜，也要求其在比以往更大的入射角度范围中具有更好的低反射性能。为了满足这样的要求，对各种材料或膜厚进行组合的多层膜设计技术或多层膜成膜技术也在逐渐进步(请参照例如特开2000-356704号公报)。但是，根据现有方法制成的防反射膜存在以下问题入射到形成有该防反射膜的光学面上的光线的入射角度增加，而从斜向入射时，防反射膜的特性发生变化，其作为防反射膜的作用急剧变弱，从而反射光增加。这样的反射面在光学系统中仅有一面的情况下，由于该反射光回到物体侧而不会直接对光学系统的光学性能产生影响，但是这样的面有多面的情况下，反射光到达像侧，成为重影和光斑产生的原因的危险性会变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防反射膜，形成于光学部件的光学面上，使入射到所述光学面而反射的光线减少，其特征在于，对于入射到所述光学面的、波长区域为４００ｎｍ至７００ｎｍ的所述光线，当所述光线的入射角为０度至２５度时，反射率小于等于０．５％，且当所述 光线的入射角为０度至６０度时，反射率小于等于３．５％。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中一政，村田刚，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]