置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片制造技术

本发明专利技术公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明专利技术的微型滤光片的优点是：具有高均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格控制作为原位滤光层的Ｈｇ↓［１－ｘ］Ｃｄ↓［ｘ］Ｔｅ的组分来实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且非常可靠和稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及滤光片，具体是指置于碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面列阵器件芯片内部的微型滤光片。
技术介绍
红外焦平面列阵器件是既具有红外信息获取又具有信息处理功能的先进的成像传感器，在空间对地观测、光电对抗、机器人视觉、搜索与跟踪、医用和工业热成像、以及导弹精确制导等军、民用领域有重要而广泛的应用。由于其不可替代的地位和作用，世界上的主要工业大国都将碲镉汞红外焦平面列阵器件列为重点发展的高技术项目。在高级红外应用系统的大力驱动下，红外探测技术已进入了以大面阵、小型化和多色化等为特点的第三代红外焦平面探测器的重要发展阶段，见S.Horn，P.Norton，T.Cincotta，A.Stoltz，et al，“Challenges for third-generation cooledimagers”，proceeding of SPIE，Vol.5074，2003，P44-51。高分辨率始终是红外探测技术发展所不懈追求的目标，新一代红外焦平面探测技术已由单像元发展到4096×4096的凝视大面阵，预计于2010年红外焦平面探测器规模将达到10K×10K。但是，随着红外焦平面探测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的碲镉汞红外焦平面探测器芯片由衬底（１）、衬底上依次置有的缓冲层（２）、响应红外目标辐射的Ｎ型层（４０１）和Ｐ型层（４０２）构成的光电二极管（４）列阵组成；其特征在于：所述的微 型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层（２）和响应红外目标辐射的光电二极管（４）列阵之间的掺杂Ｈｇ↓［１－ｘ］Ｃｄ↓［ｘ］Ｔｅ外延层，其中ｘ为组分，微型滤光片的滤光波段与组分、掺杂浓度有关；微型滤光片的滤光波段由器件的响应波段确定；微型滤光片的厚度必须远远大于该层材料吸收系数的倒数，即１／α，α为吸收系数。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶振华，何力，胡晓宁，周文洪，吴俊，巫艳，丁瑞军，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]