下载置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片的技术资料

文档序号:2669304

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本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片,所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的...
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