一种扩散炉炉口排风装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉炉口排风装置，解决了目前扩散炉生产加工过程中泄露的废气容易在炉口处冷凝形成腐蚀性废液的问题，其包括炉口插管，所述炉口插管的一端固定安装有废气收集罩，废气收集罩一侧的中部开设有开口，开口的内部固定安装有套管，废气收集罩顶部的两端均固定安装有废气排出管，两个废气排出管的一侧均安装有排气风机，废气收集罩底部的中部固定安装有锥形废液收集斗，锥形废液收集斗的底部安装有收集瓶；本扩散炉炉口排风装置能够安全的对泄漏废气进行处理，以及能够对废气冷凝的腐蚀性废液进行有效的收集和处理，从而能够有效的对扩散炉进行防护，避免了泄露废气影响扩散炉的有效和安全使用。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉炉口排风装置
本技术属于扩散炉
，具体为一种扩散炉炉口排风装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。目前扩散炉在生产加工过程中产生的废气容易从炉口处泄露，而泄露的废气容易在炉口处冷凝形成腐蚀性的废液，腐蚀性废液的积聚会对设备造成腐蚀和污染，从而影响扩散炉的有效和安全使用；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。
技术实现思路
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种扩散炉炉口排风装置，有效的解决了目前扩散炉生产加工过程中泄露的废气容易在炉口处冷凝形成腐蚀性废液的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉炉口排风装置，包括炉口插管，所述炉口插管的一端固定安装有废气收集罩，废气收集罩一侧的中部开设有开口，开口的内部固定安装有套管，废气收集罩顶部的两端均固定安装有废气排出管，两个废气排出管的一侧均安装有排气风机，废气收集罩底部的中部固定安装有锥形废液收集斗，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉炉口排风装置，包括炉口插管(1)，其特征在于：所述炉口插管(1)的一端固定安装有废气收集罩(2)，废气收集罩(2)一侧的中部开设有开口(3)，开口(3)的内部固定安装有套管(4)，废气收集罩(2)顶部的两端均固定安装有废气排出管(5)，两个废气排出管(5)的一侧均安装有排气风机(6)，废气收集罩(2)底部的中部固定安装有锥形废液收集斗(7)，锥形废液收集斗(7)的底部安装有收集瓶(8)，废气收集罩(2)内壁的两侧均固定安装有导液管(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉炉口排风装置，包括炉口插管(1)，其特征在于：所述炉口插管(1)的一端固定安装有废气收集罩(2)，废气收集罩(2)一侧的中部开设有开口(3)，开口(3)的内部固定安装有套管(4)，废气收集罩(2)顶部的两端均固定安装有废气排出管(5)，两个废气排出管(5)的一侧均安装有排气风机(6)，废气收集罩(2)底部的中部固定安装有锥形废液收集斗(7)，锥形废液收集斗(7)的底部安装有收集瓶(8)，废气收集罩(2)内壁的两侧均固定安装有导液管(9)。


2.根据权利要求1所述的一种扩散炉炉口排风装置，其特征在于：所述炉口插管(1)的中部固定安装有固定圈(101)，固定圈(101)的中部等距离安装有固定螺栓(102)。


3.根据权利要求1所述的一种扩散炉炉口排风装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，于洋，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37