一种微导线连接装置制造方法及图纸

本发明专利技术专利公开了一种微导线连接装置，属于电化学加工技术领域。该装置包括电沉积单元、芯片定位单元、溶液循环单元、Z向移动单元、水平移动单元。其中，电沉积单元由喷头、喷头盖、环状阳极和套管组成。装配后，套管的圆锥部位的内表面和与之配合的喷头的圆锥部位的外表面形成下端开放、上端密封的空腔。泵开始工作时，电解液从电沉积单元的出液口流出、流经微导线和芯片表面、从吸液口被吸入电沉积单元下端的空腔，然后从电解液出口孔返回到溶液循环单元。本发明专利技术可在芯片表面形成可控的电沉积微小区域，实现微细导线与微小芯片在竖直方向的快速定位和连接，定位精确度高，限域性好。

【技术实现步骤摘要】
一种微导线连接装置
本专利技术涉及一种微导线连接装置，尤其涉及一种采用电沉积的方式实现微导线与芯片连接的装置。
技术介绍
在现有的芯片引线连接技术中，超声压焊（bonding）是常采用的连接方式，但对于硬度过高或者熔点过高的连接材料、以及芯片面积过小的芯片引线连接，采用超声压焊的方式并不能得到很好的连接质量和较高的连接效率。基于熔融原理的焊接方式（如激光焊、电阻焊等）因其热源问题往往会使芯片上导电薄膜受热起皱或无法加热到要求的连接温度，而不能得到可靠有效的连接质量。因此，对于特殊情况的芯片引线连接需要一种新型的工艺方法和装置来实现。电化学沉积技术是一种利用电化学原理使金属原子在导电基底表面逐渐生长的加工方式，其特点在于制造过程是从原子尺度开始，无需高温、高压等条件，易于实现材料的定点定位填充生长，连接强度高、可靠性好。如公开号为CN210506578U的专利提出了一种微导线的电镀连接装置，该专利利用可升降的连接压头将微导线轻压在芯片的导电薄膜上，在电场作用下，微导线与导电薄膜之间开始沉积金属层，从而实现微导线与芯片的电镀连接。该专利提出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微导线连接装置，其特征在于，包括电沉积单元、芯片定位单元、溶液循环单元、Z向移动单元、水平移动单元；其中，所述的电沉积单元设置在Z向移动单元的定位环上，Z向移动单元设置在支撑架上，支撑架设置在底座上，所述的芯片固定在芯片定位单元上，芯片定位单元设置在储液槽内，储液槽设置在水平移动单元上，水平移动单元设置在底座上。/n

【技术特征摘要】
1.一种微导线连接装置，其特征在于，包括电沉积单元、芯片定位单元、溶液循环单元、Z向移动单元、水平移动单元；其中，所述的电沉积单元设置在Z向移动单元的定位环上，Z向移动单元设置在支撑架上，支撑架设置在底座上，所述的芯片固定在芯片定位单元上，芯片定位单元设置在储液槽内，储液槽设置在水平移动单元上，水平移动单元设置在底座上。


2.根据权利要求1所述的一种微导线连接装置，其特征是，所述的电沉积单元包括：
喷头，为上圆柱、下圆锥的中空结构，其上圆柱内表面较大的空腔为溶液缓冲腔、外表面设置有外螺纹结构，下圆锥体两侧设有吸取电解液用的溶液通道槽；
喷头盖，装配在喷头的上部，和喷头上部的溶液缓冲腔形成密闭空腔；喷头盖上设置有导线固定管孔、溶液导流孔，导线固定管孔用于插入导线固定管，溶液导流孔用于接入电解液循环管道；
环状阳极，设置在喷头上部的溶液缓冲腔内，并和电沉积电源的正极相连；
套管，为带凸缘的上圆柱、下圆锥的中空结构；套管的凸缘用于将电沉积单元固定在Z向移动单元的定位环上；套管的上圆柱内表面设置有内螺纹结构，可以同轴的和喷头圆柱外表面的外螺纹装配配合；套管的下圆锥两侧设置有电解液出口孔，用于和溶液循环单元的循环管道连接。


3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦歌，李朋倡，闫亮，张振，明平美，张新民，李蒙，牛屾，陈旭，银燕毅，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：河南;41