防刮伤晶圆盒制造技术

本发明专利技术的实施例提供了一种防刮伤晶圆盒，涉及半导体设备技术领域，该防刮伤晶圆盒包括盒体、至少一组晶圆支撑架和至少一个光感测装置，盒体具有一供机械手臂伸入的开口；晶圆支撑架设置在盒体的侧壁上，且晶圆支撑架用于承载晶圆；光感测装置设置在盒体的侧壁上，其中，光感测装置用于在晶圆上方形成光帘，并在光帘受阻的情况下报警。当机械手臂高度异常时，会与光帘发生干涉，使得光帘受阻，而光感测装置能够在光帘受阻时报警，使得操作人员及时获知机械手臂高度异常情况并停机，有效避免了机械手臂刮伤晶圆，同时也避免了目视法视野不足而造成误判的情况。

【技术实现步骤摘要】
防刮伤晶圆盒
本专利技术涉及半导体设备
，具体而言，涉及一种防刮伤晶圆盒。
技术介绍
晶圆盒为放置晶圆之专用载具，产品生产时由生产设备上的机械手臂伸入晶圆盒里抓取晶圆，机械手臂零件会因长期使用而磨损，造成抓取或放置晶圆时手臂倾斜而刮伤晶圆。现有技术中，针对机械手臂容易刮伤晶圆，通常是采用目视法来校正机械手臂的高度，而由于晶圆盒为不透明的容器，机械手臂伸入晶圆盒检查抓取高度与状态时无法得到很好的视野，容易产生误差，导致检查后仍会发生晶圆刮伤问题，且因目视法无法量化，每个人检查的标准无法一致，不同人检查有不同的标准，故目视法并不能很好地解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的包括，例如，提供了一种防刮伤晶圆盒，其能够实时监测机械手臂的高度，防止机械手臂刮伤晶圆。本专利技术的实施例可以这样实现：第一方面，本专利技术实施例提供一种防刮伤晶圆盒，包括：盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；设置在所述盒体的侧壁上晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；以及，设置在所述盒体的侧壁上的光感测装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防刮伤晶圆盒，其特征在于，包括：/n盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；/n设置在所述盒体的侧壁上的晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；/n以及，设置在所述盒体的侧壁上，并与所述晶圆支撑架相对应的光感测装置；/n其中，所述光感测装置用于在所述晶圆上方形成光帘，并在所述光帘受阻的情况下输出示警信息。/n

【技术特征摘要】
1.一种防刮伤晶圆盒，其特征在于，包括：
盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；
设置在所述盒体的侧壁上的晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；
以及，设置在所述盒体的侧壁上，并与所述晶圆支撑架相对应的光感测装置；
其中，所述光感测装置用于在所述晶圆上方形成光帘，并在所述光帘受阻的情况下输出示警信息。


2.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置包括红外发射组件和红外接收组件，所述红外发射组件和所述红外接收组件分别设置在所述盒体上相对的侧壁上，所述红外发射组件出射的红外线信号由对侧的所述红外接收组件接收，以在所述红外发射组件和所述红外接收组件之间形成所述光帘。


3.根据权利要求2所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述红外发射组件包括发射横架和多个红外发射器，所述发射横架设置在所述盒体的侧壁上，多个所述红外发射器间隔设置在所述发射横架上；所述红外接收组件包括接收横架和多个红外接收器，所述接收横架设置在所述盒体的侧壁上并与所述发射横架相对应，多个所述红外接收器间隔设置在所述接收横架上，并与多个所述红外发射器一一对应。


4.根据权利要求3所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置还包括报警器，所述报警器设置在所述接收横架上，并同时与多个所述红外接收器电连接，用于在至少一个所述红外接收器接收所述红外线受阻时报警...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志平，黄德昇，赖正训，曾圣翔，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37