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本发明的实施例提供了一种防刮伤晶圆盒，涉及半导体设备技术领域，该防刮伤晶圆盒包括盒体、至少一组晶圆支撑架和至少一个光感测装置，盒体具有一供机械手臂伸入的开口；晶圆支撑架设置在盒体的侧壁上，且晶圆支撑架用于承载晶圆；光感测装置设置在盒体的侧壁...
该专利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泉芯集成电路制造(济南)有限公司授权不得商用。

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