用于常压扩散炉管的石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上。本实用新型专利技术提供的用于常压扩散炉管的石英舟在高温下长期使用时，中部不易变形，避免了晶圆片从石英舟上掉下来，造成产品的报废。

【技术实现步骤摘要】
用于常压扩散炉管的石英舟
本技术涉及一种常压扩散炉管
，特别涉及一种用于常压扩散炉管的石英舟。
技术介绍
一台常压扩散炉管配有两个石英舟，两个石英舟对应有一个工艺腔。一次只有一个石英舟在工艺腔，另外一个石英舟在备用状态，用来冷却，装卸片等，两个石英舟轮流工艺，以节省冷却，装卸片时间。现有的石英舟用于常压扩散炉管等机台工艺时，新购的石英舟首次装配上去，采用机械手校准石英舟时，机械手自动校正石英舟的space(空隙)，space是指200mm(毫米)晶圆片在石英舟槽位中贴紧石英舟左(右)支撑柱凹槽，晶圆片边缘离石英舟右(左)支撑柱凹槽间的距离。space的单位为count，40counts＝1mm。机械手会自动校准slot(槽)的0/29/61/93/125五个槽位的space数据，space最大数据通常在150(150/40＝3.75mm)左右。两个半月左右后(通常是工艺200次左右)，再次采用机械手自动校正石英舟的space，space最大数据基本上都要超过220(220/40＝5.5mm)，当space到达230时，晶圆片移向移一侧，晶圆片能够从另一侧中掉下来。为避免晶圆片掉落，当space超过220时，必须予以更换石英舟。在机台工艺时，大部分常压扩散炉管机台工艺温度大多到达1050摄氏度，长期在1050摄氏度下工艺。当石英舟在高温下长期使用，石英舟中部变形明显，以致于晶圆片从石英舟上掉下来，造成产品报废。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了克服现有技术的石英舟在高温下长期使用时中部变形明显，会导致晶圆片从石英舟上掉下来，造成产品报废的缺陷，提供一种能够减缓石英舟的变形，延长其使用寿命的用于常压扩散炉管的石英舟。本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：本技术提供了一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上。较佳地，所述石英舟包括三根所述石英舟槽棒、至少八个所述石英加强筋。较佳地，所述石英加强筋的数量为八个，八个所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的中部位置；每两个所述石英加强筋位于同一个平面上，且与三根所述石英舟槽棒垂直。本方案中，由于石英舟中部变形明显，将八个所述石英加强筋设于所述两个石英圆盘之间位置的中部位置，增加了三根槽棒之间的支撑力，延缓了石英舟变形程度，延长了石英舟的使用寿命。较佳地，每个所述平面上的两个所述石英加强筋为一组，两个所述石英圆盘之间的中点位置为第一位置，在所述第一位置两侧分别设置两组所述石英加强筋，靠近所述第一位置的两组所述石英加强筋之间的距离小于任意两组所述石英加强筋之间的距离。本方案中，采用距离两个石英圆盘之间位置的中心位置最小距离的一组加强筋之间的距离小于任意两组所述石英加强筋之间的距离的方案，进一步增加了三根槽棒之间的支撑，从而延缓石英舟中部的变形。较佳地，所述石英加强筋为弧形。较佳地，所述石英加强筋的弧度与所述石英圆盘的弧度相一致。本方案中，石英加强筋的弧所对应的圆心角与石英圆盘的弧所对应的圆心角相等。较佳地，所述石英加强筋的弧所对应的半径大于等于所述石英圆盘的半径。较佳地，所述石英加强筋的弧所对应的半径与所述石英圆盘的半径之差小于等于5mm。本方案中，石英加强筋采用弧形，弧度与两个石英圆盘保持一致，保证了石英舟原有的运动占用空间。较佳地，所述石英加强筋的横截面为圆形。较佳地，所述石英加强筋的横截面的直径为6-10mm。本方案中，采用圆柱体并使圆柱体直径为6-10mm，既减少了气流对晶圆片均匀性的影响，同时又保证了石英槽棒间的拉力和支撑力。本技术的积极进步效果在于：本技术提供的用于常压扩散炉管的石英舟，通过石英加强筋的作用，使得石英舟的中部不容易变形，延长了石英舟的使用寿命。附图说明图1为本技术一较佳实施例的用于常压扩散炉管的石英舟的示意图的主视图。图2为本技术一较佳实施例的用于常压扩散炉管的石英舟的示意图的俯视图。图3为本技术一较佳实施例的用于常压扩散炉管的石英舟的示意图的仰视图。具体实施方式下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本技术。如图1至图3所示，一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括两个石英圆盘1、三根石英舟槽棒2、八个石英加强筋3。两个石英圆盘1分别固设于三根石英舟槽棒2的两端部；每根石英舟槽棒2上设有若干个槽位，该槽位用于存放晶圆片；八个石英加强筋3位于两个石英圆盘1之间的位置；石英加强筋3的两端分别固设于两根石英舟槽棒2上。本实施例中，八个石英加强筋3为弧形且石英加强筋3的弧所对应的半径与石英圆盘1的半径相等；石英加强筋3的横截面为圆形，且该圆形的直径为10mm；八个石英加强筋3位于两个石英圆盘1之间的中部位置；每两个石英加强筋3位于同一个平面上，且与三根石英舟槽棒2垂直。将每个平面上的两个石英加强筋3归为一组，两个石英圆盘1之间位置的中心位置为第一位置，在第一位置两侧分别设置两组石英加强筋3，距离第一位置最小距离的一组石英加强筋3之间的距离小于任意两组石英加强筋3之间的距离。本实施例中，石英加强筋3采用弧形，弧度与两个石英圆盘1保持一致，且石英加强筋3的弧所对应的半径与石英圆盘1的半径相等，保证了石英舟原有的运动占用空间。石英加强筋3的横截面为圆形，且该圆形的直径为10mm，有效地减少了气流对晶圆片均匀性的影响，同时保证了石英舟槽棒2间的拉力和支撑力。将八个所述石英加强筋3设于所述两个石英圆盘1之间的中部位置，且靠近两个石英圆盘1之间位置的中心位置为一组，该组石英加强筋3之间的距离小于任意其他两组所述石英加强筋3之间的距离，增加了三根石英舟槽棒2之间的支撑，从而延缓石英舟中部的变形，延长了石英舟的使用寿命。本实施例提供的一种用于常压扩散炉管的石英舟，通过八根石英加强筋的作用，增加了三根槽棒之间的支撑，使得石英舟的中部不容易变形，延长了石英舟的使用寿命。虽然以上描述了本技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于常压扩散炉管的石英舟，其特征在于，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；/n两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；/n所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；/n所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；/n所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上；/n所述石英舟包括三根所述石英舟槽棒；/n所述石英加强筋的数量为八个，八个所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的中部位置；每两个所述石英加强筋位于同一个平面上，且与三根所述石英舟槽棒垂直。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于常压扩散炉管的石英舟，其特征在于，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；
两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；
所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；
所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；
所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上；
所述石英舟包括三根所述石英舟槽棒；
所述石英加强筋的数量为八个，八个所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间的中部位置；每两个所述石英加强筋位于同一个平面上，且与三根所述石英舟槽棒垂直。


2.如权利要求1所述的用于常压扩散炉管的石英舟，其特征在于，每个所述平面上的两个所述石英加强筋为一组，两个所述石英圆盘之间的中点位置为第一位置，在所述第一位置两侧分别设置两组所述石英加强筋，靠近所述第一位置的两组所述石英加强筋之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国栋，陈秀伟，黄国荣，
申请(专利权)人：上海先进半导体制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31