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本实用新型提供了一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；所述石英...
该专利属于上海先进半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海先进半导体制造有限公司授权不得商用。

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