本实用新型专利技术涉及一种真空传输阀门门板的升降装置，该升降装置包括机架、升降部和固定部；机架能够与机台固定；固定部包括固定板和固定杆，固定板设有与固定杆对应的固定孔，固定杆的底部设有第一螺纹段，第一螺纹段能够穿过固定孔并与设于门板顶端的第一螺孔配合固定，固定杆顶端设有限位件，限位件能够与固定板的上端面抵接；升降部设于机架，并能够作用于固定板使其带动固定杆相对于机架上升或下降，固定杆的数量为至少两个并布置于升降部的两侧。在对等离子体刻蚀机台进行保养时，通过该升降装置拆装真空传输阀门的门板，能够使得门板能够平稳地升降，以顺利实现拆装，避免门板发生卡滞甚至损坏的情况。板发生卡滞甚至损坏的情况。板发生卡滞甚至损坏的情况。
【技术实现步骤摘要】
一种真空传输阀门门板的升降装置
[0001]本技术涉及半导体加工设备
，具体涉及一种真空传输阀门门板的升降装置。
技术介绍
[0002]在高科技产业的生产制造流程中，等离子体刻蚀机台的保养是非常重要的环节，而在机台保养的过程中，常常需要将真空传输阀门的门板拆下，以对其进行清洁或更换。机台内设有尺寸与门板相适配的安装腔，拆卸门板时需将门板向上移动至与安装腔脱离，安装门板时需将门板由机台外向下移动至安装腔内。
[0003]由于安装腔的尺寸与门板的尺寸相适配，门板需沿竖直方向移动以实现升降，现有技术中，主要是通过T型扳手拆装该真空传输阀门的门板，该T型扳手与门板通过螺纹连接，然后工作人员手动操作T型扳手，使其带动门板升降，从而实现门板的拆装操作。但此种拆装方式容易导致门板的两侧高度不一致，进而使得门板发生卡滞而无法拆装，并且门板的两端会发生摩擦磨损甚至损坏。
[0004]因此，在对等离子体刻蚀机台进行保养时，如何拆装真空传输阀门的门板，使得门板能够平稳地升降，以顺利实现拆装，避免门板发生卡滞甚至损坏的情况，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种真空传输阀门门板的升降装置，在对等离子体刻蚀机台进行保养时，通过该升降装置拆装真空传输阀门的门板，能够使得门板能够平稳地升降，以顺利实现拆装，避免门板发生卡滞甚至损坏的情况。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种真空传输阀门门板的升降装置，其包括机架、升降部和固定部；所述机架能够与机台固定；所述固定部包括固定板和固定杆，所述固定板设有与所述固定杆对应的固定孔，所述固定杆的底部设有第一螺纹段，所述第一螺纹段能够穿过所述固定孔并与设于门板顶端的第一螺孔配合固定，所述固定杆顶端设有限位件，所述限位件能够与所述固定板的上端面抵接；所述升降部设于所述机架，并能够作用于所述固定板使其带动所述固定杆相对于所述机架上升或下降，所述固定杆的数量为至少两个并布置于所述升降部的两侧。
[0007]当需要将真空传输阀门的门板进行拆装时，将机架与机台固定，将每个固定杆的第一螺纹部穿过对应的固定孔与第一螺孔配合，此时，固定部和门板固定，然后通过升降部带动固定板相对于机架上升或下降，从而带动门板上升或下降以实现门板的拆装操作。详细的讲，拆卸门板时，升降部作用于固定板使其向上移动，由于固定杆的限位件与固定板的上端面抵接，该固定板能够带动固定杆向上移动，从而带动门板向上移动，已实现门板的拆卸；安装门板时，通过该升降装置作用于门板使其下降，由于门板的重力作用使得固定杆有相对于固定板向下移动的趋势，从而使得设于固定杆的限位件与固定板的上端面保持抵接
状态。固定部在带动固定板下降的过程中，通过固定杆带动门板下降。
[0008]固定杆的数量为至少两个，并布置于升降部的两侧。也就是说，固定杆的数量可以是两个、三个或更多个，升降部的两侧都设置有固定杆，如此设置，使得升降部在作用于固定板并通过固定杆带动门板升降时，固定板受力平衡，避免其一端发生偏斜的情况，进而保证门板升降稳定、避免门板的两侧高度不一致而发生卡滞甚至无法拆装或损坏的情况，保证门板的顺利拆装、提高机台保养维修效率。
[0009]可选地，所述固定孔为条形孔，所述固定杆能够沿所述固定孔的长度方向移动，以调节相邻两个所述固定杆之间的间距。
[0010]可选地，所述机架设有第二螺孔，所述升降部包括动作杆，所述动作杆与所述固定板可旋转连接，所述动作杆的底部设有第二螺纹段，所述动作杆还设有限位结构，所述动作杆的顶端穿过所述固定板且所述限位结构能够贴合于所述固定板的下端面；所述动作杆能够相对于所述机架转动，并够通过所述第二螺纹段与所述第二螺孔之间的配合带动所述固定部沿所述动作杆的轴向移动。
[0011]可选地，所述机架设有分别与各所述动作杆对应的导向孔，所述第一螺纹段依次穿过所述固定孔和所述导向孔并与所述第一螺孔配合固定，所述导向孔与所述固定孔同轴。
[0012]可选地，所述限位结构为沿所述动作杆的周向设置的环形结构。
[0013]可选地，所述机架包括主体部和支撑部，所述支撑部设于所述主体部的下方并设有安装板，所述安装板能够与所述机台通过安装螺栓固定，所述主体部设有所述第二螺孔。
[0014]可选地，所述动作杆的顶端设有手动操作件。
[0015]可选地，所述机架和所述固定板的材质均为PVC。
[0016]可选地，所述固定杆为固定螺栓，所述固定螺栓的螺栓头形成所述限位件。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例所提供的真空传输阀门门板的升降装置的结构示意图。
[0018]附图1中，附图标记说明如下：
[0019]1‑
机架，11
‑
主体部，12
‑
支撑部，13
‑
安装板，14
‑
安装螺栓；
[0020]2‑
升降部，21
‑
动作杆，22
‑
限位结构，23
‑
手动操作件；
[0021]3‑
固定部，31
‑
固定板，32
‑
固定杆，33
‑
限位件；
[0022]4‑
门板。
具体实施方式
[0023]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0024]本技术实施例提供了一种真空传输阀门门板的升降装置，在对等离子体刻蚀机台进行保养维修时，可通过该升降装置对真空传输阀门的门板4进行升降，以实现门板4的稳定拆装，便于对其进行清洁和更换。
[0025]具体的，如图1所示，该升降装置包括机架1、升降部2和固定部3，其中，机架1能够与机台固定，固定部3能够与门板4的顶端固定，该固定部3包括固定板31和固定杆32，固定
板31设有与固定杆32相适配的固定孔，每个固定杆32的底部都设有第一螺纹段，门板4的顶部设有第一螺孔，第一螺纹段能够穿过固定板31并与门板4的第一螺孔配合固定。固定杆32的顶端设有限位件33，该限位件33能够与固定板31的上端面抵接。升降部2设于机架1，并能够作用于固定板31使其带动固定杆32相对于机架1上升或下降，从而带动门板4上升或下降，以实现门板4的拆装。
[0026]当需要将真空传输阀门的门板4进行拆装时，将机架1与机台固定，将每个固定杆32的第一螺纹部穿过对应的固定孔与第一螺孔配合，此时，固定部3和门板4固定，然后通过升降部2带动固定板31相对于机架1上升或下降，从而带动门板4上升或下降以实现门板4的拆装操作。详细的讲，拆卸门板4时，升降部2作用于固定板31使其向上移动，由于固定杆32的限位件33与固定板31的上端面抵接，该固定板31能够带动固定杆32向上移动，从而带动门板4向上移动，已实现门板4的拆卸；安装门本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空传输阀门门板的升降装置，其特征在于，包括机架(1)、升降部(2)和固定部(3)；所述机架(1)能够与机台固定；所述固定部(3)包括固定板(31)和固定杆(32)，所述固定板(31)设有与所述固定杆(32)对应的固定孔，所述固定杆(32)的底部设有第一螺纹段，所述第一螺纹段能够穿过所述固定孔并与设于门板(4)顶端的第一螺孔配合固定，所述固定杆(32)顶端设有限位件(33)，所述限位件(33)能够与所述固定板(31)的上端面抵接；所述升降部(2)设于所述机架(1)，并能够作用于所述固定板(31)使其带动所述固定杆(32)相对于所述机架(1)上升或下降，所述固定杆(32)的数量为至少两个并布置于所述升降部(2)的两侧。2.根据权利要求1所述的真空传输阀门门板的升降装置，其特征在于，所述固定孔为条形孔，所述固定杆(32)能够沿所述固定孔的长度方向移动，以调节相邻两个所述固定杆(32)之间的间距。3.根据权利要求1或2所述的真空传输阀门门板的升降装置，其特征在于，所述机架(1)设有第二螺孔，所述升降部(2)包括动作杆(21)，所述动作杆(21)与所述固定板(31)可旋转连接，所述动作杆(21)的底部设有第二螺纹段，所述动作杆(21)还设有限位结构(22)，所述动作杆(21)的顶端穿过所述固定板(31)且所述限位结构(22)能够贴合于所述固定板(31...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉祥，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：
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