下载一种微导线连接装置的技术资料

文档序号:26652321

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本发明专利公开了一种微导线连接装置,属于电化学加工技术领域。该装置包括电沉积单元、芯片定位单元、溶液循环单元、Z向移动单元、水平移动单元。其中,电沉积单元由喷头、喷头盖、环状阳极和套管组成。装配后,套管的圆锥部位的内表面和与之配合的喷头的圆...
该专利属于河南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南理工大学授权不得商用。

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