一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备制造技术

本发明专利技术公开了一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，包括底座、滑动组件、S形水管组件、分拣箱和控制箱，所述底座上侧固定有烘干组件、辅助冷却箱和分拣箱，且烘干组件位于辅助冷却箱左侧，同时辅助冷却箱位于分拣箱左侧，所述烘干组件上侧固定有过滤组件，所述滑动组件用于对烘干箱左侧进料口和右侧出料口进行密封，所述S形水管组件包括水管、进水口和出水口，所述分拣箱内部上侧固定有第二机械手，所述分拣箱后侧贯穿有第二传送带。该芯片加工用表面处理烘干一体化设备，设置有烘干组件和滑动组件，烘干组件内的电加热丝和热风机可同时烘干工作，滑动组件内密封板可对烘干箱左侧进料口和右侧出料口进行辅助密封，减少热空气溢出。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备
本专利技术涉及芯片
，具体为一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备。
技术介绍
芯片是半导体元件产品的统称，使用单晶硅晶圆(或III-V族，如砷化镓)用作基层，然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等组件，再利用薄膜和CMP技术制成导线，如此便完成芯片制作。主要的工艺技术可以分为以下几大类：黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。现有的芯片表面溶解的三氧化二铝和甘油混合保护层，需要对其进行烘干，一般的烘干装置烘干不均匀效率低，并且烘干时产生的多余热气未对其进行回收再利用，造成资源浪费，同时烘干后的芯片未对其辅助冷却，如温度较高影响后期加工，最后在出现不合格芯片外形时未对其进行处理，如后期加工完成后在进行筛选，损失较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的芯片表面溶解的三氧化二铝和甘油混合保护层，需要对其进行烘干，一般的烘干装置烘干不均匀效率低，并且烘干时产生的多余热气未对其进行回收再利用，同时烘干后的芯片未对其辅助冷却，最后在出现不合格芯片外形时未对其进行处理的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，包括底座、滑动组件、S形水管组件、分拣箱和控制箱，底座，所述底座上侧固定有烘干组件、辅助冷却箱和分拣箱，且烘干组件位于辅助冷却箱左侧，同时辅助冷却箱位于分拣箱左侧，所述烘干组件上侧固定有过滤组件；滑动组件，所述滑动组件用于对烘干箱左侧进料口和右侧出料口进行密封，且滑动组件固定在烘干箱左右外壁上；S形水管组件，所述S形水管组件包括水管、进水口和出水口，且水管一端与进水口相连通，同时水管另一端与出水口相连通；分拣箱，所述分拣箱内部上侧固定有第二机械手，且第二机械手下侧固定有夹持组件，所述分拣箱后侧贯穿有第二传送带。优选的，所述烘干组件包括烘干箱、电加热丝和热风机，所述烘干箱内壁上固定有电加热丝，且烘干箱上侧贯穿有热风机。优选的，所述烘干箱左侧内壁上固定有温度传感器，且烘干箱通过第一输气管与第一存储箱相连通，同时第一存储箱通过第二输气管与第二存储箱相连通，所述第二存储箱右侧贯穿有排气管。优选的，所述烘干箱内贯穿有第一传送带，且第一传送带位于第三传送带左侧，同时第三传送带贯穿辅助冷却箱和分拣箱内部，所述辅助冷却箱内部上侧贯穿有散热扇，且辅助冷却箱内部上侧固定有第一机械手，同时第一机械手下侧固定有信息录入摄像机。优选的，所述过滤组件包括进风管、固定环和过滤网，所述进风管固定在烘干组件上侧，且进风管上侧螺纹连接有固定环，同时固定环上螺纹连接有过滤网。优选的，所述滑动组件包括固定块、液压缸、固定板、密封板、滑道和温度传感器，所述固定块上侧固定有液压缸，且液压缸通过活塞杆固定有固定板，所述固定板一端固定在密封板上，且密封板滑动连接有滑道，同时滑道开设在烘干箱左右外壁上。优选的，所述夹持组件包括U形固定板、电动伸缩杆、固定板、弹簧轴和夹持板，所述U形固定板上固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆一端固定有固定板，同时固定板一侧固定有弹簧轴，所述弹簧轴一端固定有夹持板。优选的，所述固定板通过弹簧轴与夹持板构成伸缩结构，且夹持板上固定有橡胶防滑垫。优选的，所述控制箱固定在烘干箱前侧。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该芯片加工用表面处理烘干一体化设备，(1)设置有烘干组件和滑动组件，烘干组件内的电加热丝和热风机可同时烘干工作，提高烘干效率，并且在电加热丝或者热风机出现故障时，烘干工作可继续进行，保证整个工作正常进行，增加其实用性，滑动组件内密封板可对烘干箱左侧进料口和右侧出料口进行辅助密封，这样可减少热空气溢出，确保烘干质量；(2)设置有第一存储箱和第二存储箱，多余的热空气进入第一存储箱和第二存储箱内部，这样就可对水管内的自来水进行加热处理，水管加热后的水可用作生活热水，这样就对多余的热空气进行回收再利用，减少资源浪费；(3)设置有辅助冷却箱，辅助冷却箱内的散热扇对烘干后的芯片进行散热处理，避免因芯片温度过高影响后期加工质量；(4)设置有夹持组件，夹持板在电动伸缩杆的辅助作用下可对不同宽度的芯片进行夹持，这样就可将外形或者其他不合格的芯片移动至第二传送带上，通过第二传送带将其移动至所需位置，并对其进行处理，从而起到分选工作，确保后期芯片加工质量。附图说明图1为本专利技术正视结构示意图；图2为本专利技术后视结构示意图；图3为本专利技术俯视结构示意图；图4为本专利技术左视结构示意图；图5为本专利技术右视结构示意图；图6为本专利技术烘干组件和过滤组件结构示意图；图7为本专利技术图1中A处放大结构示意图；图8为本专利技术图1中B处放大结构示意图。图中：1、底座，2、烘干组件，201、烘干箱，202、电加热丝，203、热风机，3、过滤组件，301、进风管，302、固定环，303、过滤网，4、滑动组件，401、固定块，402、液压缸，403、固定板，404、密封板，405、滑道，5、温度传感器，6、第一输气管，7、第一存储箱，8、S形水管组件，801、水管，802、进水口，803、出水口，9、第二输气管，10、第二存储箱，11、排气管，12、第一传送带，13、辅助冷却箱，14、分拣箱，15、散热扇，16、第一机械手，17、信息录入摄像机，18、第二机械手，19、夹持组件，1901、U形固定板，1902、电动伸缩杆，1903、固定板，1904、弹簧轴，1905、夹持板，20、第二传送带，21、第三传送带，22、控制箱。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-8，本专利技术提供一种技术方案：一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，如图1和图6所示，底座1，底座1上侧固定有烘干组件2、辅助冷却箱13和分拣箱14，且烘干组件2位于辅助冷却箱13左侧，同时辅助冷却箱13位于分拣箱14左侧，烘干组件2上侧固定有过滤组件3，烘干组件2包括烘干箱201、电加热丝202和热风机203，烘干箱201内壁上固定有电加热丝202，且烘干箱201上侧贯穿有热风机203，过滤组件3包括进风管301、固定环302和过滤网303，进风管301固定在烘干组件2上侧，且进风管301上侧螺纹连接有固定环302，同时固定环302上螺纹连接有过滤网303，在热风机203的作用下风通过过滤网303过滤后进入烘干箱201内部，过滤网303设置有两层，且上层过滤网303的网格密度大于下层过滤网303的网格密度，两层过滤网303的设置可将粉尘过滤更加彻底，避免粉尘粘连在芯片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，包括底座(1)、滑动组件(4)、S形水管组件(8)、分拣箱(14)和控制箱(22)，其特征在于：/n底座(1)，所述底座(1)上侧固定有烘干组件(2)、辅助冷却箱(13)和分拣箱(14)，且烘干组件(2)位于辅助冷却箱(13)左侧，同时辅助冷却箱(13)位于分拣箱(14)左侧，所述烘干组件(2)上侧固定有过滤组件(3)；/n滑动组件(4)，所述滑动组件(4)用于对烘干箱(201)左侧进料口和右侧出料口进行密封，且滑动组件(4)固定在烘干箱(201)左右外壁上；/nS形水管组件(8)，所述S形水管组件(8)包括水管(801)、进水口(802)和出水口(803)，且水管(801)一端与进水口(802)相连通，同时水管(801)另一端与出水口(803)相连通；/n分拣箱(14)，所述分拣箱(14)内部上侧固定有第二机械手(18)，且第二机械手(18)下侧固定有夹持组件(19)，所述分拣箱(14)后侧贯穿有第二传送带(20)。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，包括底座(1)、滑动组件(4)、S形水管组件(8)、分拣箱(14)和控制箱(22)，其特征在于：
底座(1)，所述底座(1)上侧固定有烘干组件(2)、辅助冷却箱(13)和分拣箱(14)，且烘干组件(2)位于辅助冷却箱(13)左侧，同时辅助冷却箱(13)位于分拣箱(14)左侧，所述烘干组件(2)上侧固定有过滤组件(3)；
滑动组件(4)，所述滑动组件(4)用于对烘干箱(201)左侧进料口和右侧出料口进行密封，且滑动组件(4)固定在烘干箱(201)左右外壁上；
S形水管组件(8)，所述S形水管组件(8)包括水管(801)、进水口(802)和出水口(803)，且水管(801)一端与进水口(802)相连通，同时水管(801)另一端与出水口(803)相连通；
分拣箱(14)，所述分拣箱(14)内部上侧固定有第二机械手(18)，且第二机械手(18)下侧固定有夹持组件(19)，所述分拣箱(14)后侧贯穿有第二传送带(20)。


2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，其特征在于：所述烘干组件(2)包括烘干箱(201)、电加热丝(202)和热风机(203)，所述烘干箱(201)内壁上固定有电加热丝(202)，且烘干箱(201)上侧贯穿有热风机(203)。


3.根据权利要求2所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，其特征在于：所述烘干箱(201)左侧内壁上固定有温度传感器(5)，且烘干箱(201)通过第一输气管(6)与第一存储箱(7)相连通，同时第一存储箱(7)通过第二输气管(9)与第二存储箱(10)相连通，所述第二存储箱(10)右侧贯穿有排气管(11)。


4.根据权利要求2所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备，其特征在于：所述烘干箱(201)内贯穿有第一传送带(12)，且第一传送带(12)位于第三传送带(21)左侧，同时第三传送带(21)贯穿辅助冷却箱(13)和分拣箱(14)内部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许同，
申请(专利权)人：许同，
类型：发明
国别省市：安徽;34