一种具有温度实时监测功能的扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种具有温度实时监测功能的扩散炉，解决了扩散炉在工作时会使其内部气压升高，进而需要人为泄压操作，造成劳动力大，同时存在安全隐患的问题，其包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的顶端设有炉盖，炉盖的底端设有延伸至扩散炉本体内部的密封罩，扩散炉本体的内顶部开设有台阶槽，密封罩上设有位于台阶槽顶端的凸台，凸台的内部开设有通槽，炉盖上设有泄压机构，扩散炉本体的两侧设有与炉盖连接的升降机构；通过泄压机构的设计，便于在扩散炉本体内部压强较大时进行自动泄压操作，有效的避免人为泄压，提高了扩散炉本体的使用安全，同时减少了劳动力投入。劳动力投入。劳动力投入。

【技术实现步骤摘要】
一种具有温度实时监测功能的扩散炉


[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种具有温度实时监测功能的扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]扩散炉在工作时会使其内部气压升高，进而需要人为泄压操作，造成劳动力大，同时存在安全隐患。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种具有温度实时监测功能的扩散炉，有效的解决了上述
技术介绍
中扩散炉在工作时会使其内部气压升高，进而需要人为泄压操作，造成劳动力大，同时存在安全隐患的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有温度实时监测功能的扩散炉，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的顶端设有炉盖，炉盖的底端设有延伸至扩散炉本体内部的密封罩，扩散炉本体的内顶部开设有台阶槽，密封罩上设有位于台阶槽顶端的凸台，凸台的内部开设有通槽，炉盖上设有泄压机构，扩散炉本体的两侧设有与炉盖连接的升降机构。
[0006]优选的，所述扩散炉本体的顶端开设有稳定槽，炉盖的底端设有套设于凸台外部并延伸至稳定槽内部的稳定环。
[0007]优选的，所述泄压机构包括进气孔、泄压杆、止挡板、泄压槽、衔接弹簧和泄压孔，炉盖上穿插泄压杆，泄压杆的底端贯穿通槽并延伸至密封罩的外部底端，泄压杆的顶端设有位于炉盖上方的止挡板，泄压杆上套设有位于止挡板和炉盖之间的衔接弹簧，泄压杆的内部开设有泄压槽，泄压杆上等距离开设有泄压孔和进气孔，进气孔位于泄压孔的下方。
[0008]优选的，所述泄压孔和进气孔均为圆形结构，且泄压孔和进气孔均设有八个，衔接弹簧为拉伸弹簧。
[0009]优选的，所述升降机构包括升降板、轮齿、支撑板、旋转轴一、旋转轴二、齿轮和驱动器，炉盖的顶端对称设有位于扩散炉本体两侧的升降板，扩散炉本体的两侧对称设有套设于升降板外部的支撑板，其中一个支撑板的顶端安装有电机，升降板的内壁两侧均等距离设有轮齿，扩散炉本体的两侧均设有旋转轴一和旋转轴二，旋转轴二位于旋转轴一的一侧，旋转轴一和旋转轴二上均安装有与轮齿啮合连接齿轮，相邻两个齿轮啮合连接，其中一个旋转轴二的一端与电机输出轴连接，两个旋转轴一之间通过驱动器连接。
[0010]优选的，所述驱动器包括传动轴、皮带轮、衔接皮带和固定座，扩散炉本体的一侧安装有固定座，固定座上转动连接有传动轴，传动轴的两端和两个旋转轴一的一端均设有皮带轮，相邻两个皮带轮之间通过衔接皮带连接。
[0011]优选的，所述支撑板的两侧对称设有滑板，升降板的两侧开设有与滑板滑动连接
的滑槽。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]（1）、在工作中，通过设置有扩散炉本体、炉盖、密封罩、台阶槽、凸台、温度传感器和升降机构，实现对扩散炉本体内部温度的实时监测，有效的为物料的加工提供合适温度，进而提高了物料的加工质量，通过泄压机构的设计，便于在扩散炉本体内部压强较大时进行自动泄压操作，有效的避免人为泄压，提高了扩散炉本体的使用安全，同时减少了劳动力投入。
[0014]（2）、通过升降机构的设计，为炉盖的升降提供动力，进而方便在扩散炉本体中投放物料，同时提高了扩散炉本体与炉盖的连接紧密性，进而提高了物料的加工效率。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0016]在附图中：
[0017]图1为本技术结构示意图之一；
[0018]图2为本技术结构示意图之二；
[0019]图3为本技术剖视结构示意图；
[0020]图中：1、扩散炉本体；2、炉盖；3、密封罩；4、台阶槽；5、凸台；6、温度传感器；7、稳定环；8、稳定槽；9、泄压杆；10、止挡板；11、泄压槽；12、衔接弹簧；13、泄压孔；14、通槽；15、升降板；16、轮齿；17、支撑板；18、旋转轴一；19、旋转轴二；20、齿轮；21、传动轴；22、皮带轮；23、衔接皮带；24、固定座；25、电机；26、滑板；27、滑槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1至图3给出，本技术包括扩散炉本体1，这里需要注意的是，扩散炉本体1的内部设有加热装置，扩散炉本体1的外部设有控制器，加热装置和温度传感器6均与控制器电连接，扩散炉本体1的顶端设有炉盖2，炉盖2的底端设有延伸至扩散炉本体1内部的密封罩3，扩散炉本体1的内顶部开设有台阶槽4，密封罩3上设有位于台阶槽4顶端的凸台5，凸台5的内部开设有通槽14，炉盖2上设有泄压机构，通过泄压机构的设计，便于对扩散炉本体1进行排气操作，避免扩散炉本体1内部气压较大而发生爆炸，进而提高了扩散炉本体1的使用安全，扩散炉本体1的两侧设有与炉盖2连接的升降机构，通过升降机构的设计，实现炉盖2的升降，便于在扩散炉本体1内部进行投料，同时提高了炉盖2与扩散炉本体1的连接紧密性，通过温度传感器6的作用，便于实时检测扩散炉本体1内部的温度，进而为物料的加工提供合适温度，进而提高了物料的加工质量。
[0023]实施例二，在实施例一的基础上，由图1至图3给出，扩散炉本体1的顶端开设有稳定槽8，炉盖2的底端设有套设于凸台5外部并延伸至稳定槽8内部的稳定环7，通过稳定槽8
和稳定环7的设计，提高了炉盖2的升降稳定性，同时提高了扩散炉本体1的工作密封性，避免扩散炉本体1出现气体泄漏的情况，进而提高了扩散炉本体1的工作稳定性。
[0024]实施例三，在实施例一的基础上，由图1至图3给出，泄压机构包括进气孔、泄压杆9、止挡板10、泄压槽11、衔接弹簧12和泄压孔13，炉盖2上穿插泄压杆9，泄压杆9的底端贯穿通槽14并延伸至密封罩3的外部底端，泄压杆9的顶端设有位于炉盖2上方的止挡板10，泄压杆9上套设有位于止挡板10和炉盖2之间的衔接弹簧12，泄压杆9的内部开设有泄压槽11，泄压杆9上等距离开设有泄压孔13和进气孔，进气孔位于泄压孔13的下方，泄压孔13和进气孔均为圆形结构，且泄压孔13和进气孔均设有八个，衔接弹簧12为拉伸弹簧；
[0025]扩散炉本体1工作会使其内部产生气压，当扩散炉本体1内部气压越来越大时，气压会推动泄压杆9在通槽14的内部移动，使泄压杆9上移会带动止挡板10上移，进而会使衔接弹簧12处于拉伸状态，同时泄压杆9的上移会使泄压孔13移动至炉盖2的外部，并随着气压的继续增大，进而会使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有温度实时监测功能的扩散炉，包括扩散炉本体（1），其特征在于：所述扩散炉本体（1）的顶端设有炉盖（2），炉盖（2）的底端设有延伸至扩散炉本体（1）内部的密封罩（3），扩散炉本体（1）的内顶部开设有台阶槽（4），密封罩（3）上设有位于台阶槽（4）顶端的凸台（5），凸台（5）的内部开设有通槽（14），炉盖（2）上设有泄压机构，扩散炉本体（1）的两侧设有与炉盖（2）连接的升降机构。2.根据权利要求1所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉，其特征在于：所述扩散炉本体（1）的顶端开设有稳定槽（8），炉盖（2）的底端设有套设于凸台（5）外部并延伸至稳定槽（8）内部的稳定环（7）。3.根据权利要求1所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉，其特征在于：所述泄压机构包括进气孔、泄压杆（9）、止挡板（10）、泄压槽（11）、衔接弹簧（12）和泄压孔（13），炉盖（2）上穿插泄压杆（9），泄压杆（9）的底端贯穿通槽（14）并延伸至密封罩（3）的外部底端，泄压杆（9）的顶端设有位于炉盖（2）上方的止挡板（10），泄压杆（9）上套设有位于止挡板（10）和炉盖（2）之间的衔接弹簧（12），泄压杆（9）的内部开设有泄压槽（11），泄压杆（9）上等距离开设有泄压孔（13）和进气孔，进气孔位于泄压孔（13）的下方。4.根据权利要求3所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉，其特征在于：所述泄压孔（13）和进气孔均为圆形结构，且泄压孔（13）和进气孔均设有八个，衔接弹簧（12）为拉伸弹簧。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，时宝斌，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：