本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种用于扩散炉的加热装置，解决了现有扩散炉在新制品进炉时回温较慢的问题，其包括加热组件，所述加热组件位于扩散炉壳体的顶端，扩散炉壳体的内部设置有与加热组件相配合连接的炉体，加热组件由加热室、进气管、封闭阀门一、回气管、封闭阀门二和耐高温轴流风机构成，进气管的一端与加热室的排气端连接，进气管的另一端与炉体的进气端连接，封闭阀门一连接于进气管的一侧，回气管的一端通过耐高温轴流风机与加热室的进气端连接，回气管的另一端与炉体的排气端连接，封闭阀门二连接于回气管的一侧；通过该加热装置能够实现在新制品进炉后快速回温，使得温度迅速达到工作温度，从而提高加工效率。加工效率。加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于扩散炉的加热装置
[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种用于扩散炉的加热装置。
技术介绍
[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]在三氯氧磷液态扩散工艺过程中，扩散炉的反应管内温度高达850
‑
900度，采用固态氮化硼扩散时，扩散温度更高，炉内温度达到950
‑
1000度。而制品出炉时，要求出炉温度降至750度甚至700度以下。降温后制品出炉及新制品的进炉时，炉门的打开状态又会使得炉管内的大量热量从炉口散失，常使炉管内温度降至600度甚至更低。这样再次进行工艺时需要加热(即对炉管进行“回温”)，使炉管内的温度达到工艺温度。目前扩散炉的“回温”时间占整个工艺循环时间的比重很大，导致工艺时间过长，生产效率和产能受到很大影响，成为提升生产效率，降低生产成本的瓶颈。
技术实现思路
[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种用于扩散炉的加热装置，有效的解决了现有扩散炉在新制品进炉时回温较慢的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于扩散炉的加热装置，包括加热组件，所述加热组件位于扩散炉壳体的顶端，扩散炉壳体的内部设置有与加热组件相配合连接的炉体，加热组件由加热室、进气管、封闭阀门一、回气管、封闭阀门二和耐高温轴流风机构成，进气管的一端与加热室的排气端连接，进气管的另一端与炉体的进气端连接，封闭阀门一连接于进气管的一侧，回气管的一端通过耐高温轴流风机与加热室的进气端连接，回气管的另一端与炉体的排气端连接，封闭阀门二连接于回气管的一侧。
[0006]优选的，所述加热室由外保护层、聚氨酯隔热层、陶瓷耐火层、金属加热层、高频加热线圈、第一电热网、第二电热网、第三电热网和若干辅助导热组件构成，聚氨酯隔热层连接于外保护层的内侧壁，陶瓷耐火层连接于聚氨酯隔热层的内侧壁，金属加热层连接于陶瓷耐火层的内侧壁，高频加热线圈套设于金属加热层外侧的中间位置，第一电热网、第二电热网、第三电热网和辅助导热组件均连接于金属加热层的内部。
[0007]优选的，所述第一电热网、第二电热网和第三电热网均为铁铬铝合金材质。
[0008]优选的，所述辅助导热组件由横向导热柱和竖向导热柱构成，横向导热柱和竖向导热柱交叉连接。
[0009]优选的，所述横向导热柱和竖向导热柱的一侧均设置有若干导流锥体，横向导热柱、竖向导热柱和导流锥体均为铁铬铝合金材质。
[0010]优选的，所述金属加热层和高频加热线圈均为铜材质。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）、在工作中，通过设置由加热室、进气管、封闭阀门一、回气管、封闭阀门二和耐
高温轴流风机构成的加热组件以及由外保护层、聚氨酯隔热层、陶瓷耐火层、金属加热层、高频加热线圈、第一电热网、第二电热网、第三电热网和辅助导热组件构成的加热室能够实现在工作过程中进行热循环，无需将热能排出，提高对热能的利用率，从而降低能耗，同时能够在开炉放入新制品后实现对炉体快速回温，使得温度快速达到工作温度，从而能够提高加工效率。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0014]在附图中：
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术加热组件与炉体连接结构示意图；
[0017]图3为本技术加热组件剖视图；
[0018]图4为本技术金属加热层与高频加热线圈连接结构示意图；
[0019]图5为本技术辅助导热组件结构示意图；
[0020]图中：1、加热组件；2、扩散炉壳体；3、炉体；4、加热室；5、进气管；6、封闭阀门一；7、回气管；8、封闭阀门二；9、耐高温轴流风机；10、外保护层；11、聚氨酯隔热层；12、陶瓷耐火层；13、金属加热层；14、高频加热线圈；15、第一电热网；16、第二电热网；17、第三电热网；18、辅助导热组件；19、横向导热柱；20、竖向导热柱；21、导流锥体。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1和图2给出，本技术包括加热组件1，加热组件1位于扩散炉壳体2的顶端，扩散炉壳体2的内部设置有与加热组件1相配合连接的炉体3，加热组件1由加热室4、进气管5、封闭阀门一6、回气管7、封闭阀门二8和耐高温轴流风机9构成，进气管5的一端与加热室4的排气端连接，进气管5的另一端与炉体3的进气端连接，封闭阀门一6连接于进气管5的一侧，回气管7的一端通过耐高温轴流风机9与加热室4的进气端连接，回气管7的另一端与炉体3的排气端连接，封闭阀门二8连接于回气管7的一侧。
[0023]实施例二，在实施例一的基础上，由图2至图4给出，加热室4由外保护层10、聚氨酯隔热层11、陶瓷耐火层12、金属加热层13、高频加热线圈14、第一电热网15、第二电热网16、第三电热网17和若干辅助导热组件18构成，聚氨酯隔热层11连接于外保护层10的内侧壁，通过聚氨酯隔热层11能够起到隔热保温的效果，陶瓷耐火层12连接于聚氨酯隔热层11的内侧壁，通过陶瓷耐火层12能够起到隔火耐热的效果，金属加热层13连接于陶瓷耐火层12的内侧壁，高频加热线圈14套设于金属加热层13外侧的中间位置，通过金属加热层13、高频加热线圈14能够实现蓄热，第一电热网15、第二电热网16、第三电热网17和辅助导热组件18均连接于金属加热层13的内部，能够在工作时起到多级加热效果。
[0024]实施例三，在实施例一的基础上，由图3至图5给出，第一电热网15、第二电热网16和第三电热网17均为铁铬铝合金材质，能够实现快速升温，并且使用寿命高，辅助导热组件18由横向导热柱19和竖向导热柱20构成，横向导热柱19和竖向导热柱20交叉连接，横向导热柱19和竖向导热柱20的一侧均设置有若干导流锥体21，能够实现辅助导热和对气体的导流，降低气体流动阻力，横向导热柱19、竖向导热柱20和导流锥体21均为铁铬铝合金材质，金属加热层13和高频加热线圈14均为铜材质；
[0025]正常工作时，通过第一电热网15、第二电热网16、第三电热网17实现加热，通过进气管5、回气管7和耐高温轴流风机9实现热循环，从而能够避免热量损失，通过热循环能够降低能耗，在制品加工完成后，首先关闭耐高温轴流风机9，然后关闭封闭阀门一6和封闭本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的加热装置，包括加热组件（1），其特征在于：所述加热组件（1）位于扩散炉壳体（2）的顶端，扩散炉壳体（2）的内部设置有与加热组件（1）相配合连接的炉体（3），加热组件（1）由加热室（4）、进气管（5）、封闭阀门一（6）、回气管（7）、封闭阀门二（8）和耐高温轴流风机（9）构成，进气管（5）的一端与加热室（4）的排气端连接，进气管（5）的另一端与炉体（3）的进气端连接，封闭阀门一（6）连接于进气管（5）的一侧，回气管（7）的一端通过耐高温轴流风机（9）与加热室（4）的进气端连接，回气管（7）的另一端与炉体（3）的排气端连接，封闭阀门二（8）连接于回气管（7）的一侧。2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于：所述加热室（4）由外保护层（10）、聚氨酯隔热层（11）、陶瓷耐火层（12）、金属加热层（13）、高频加热线圈（14）、第一电热网（15）、第二电热网（16）、第三电热网（17）和若干辅助导热组件（18）构成，聚氨酯隔热层（11）连接于外保护层（10）的内侧壁，陶瓷耐火层（12）连...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，王龙峰，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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