一种科研型高温扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种科研型高温扩散炉，解决了现有扩散炉通入气体均匀性差以及隔热保温效果差的问题，其包括炉体，所述炉体的顶端设置有加热组件，炉体内部的一端设置有布气盘，布气盘通过支撑座与炉体想配合连接，布气盘为中空式结构，布气盘的一侧设置有若干排气微孔，布气盘远离排气微孔的一侧设置有内齿圈，布气盘靠近内齿圈一侧的中间位置设置有连接套，连接套的内部设置有进气管，连接套与进气管之间通过气封相配合连接，进气管的另一端与加热组件相配合连接，炉体内部靠近布气盘的一端设置有与内齿圈相匹配的驱动组件；通过该扩散炉能够实现均匀进气，同时具有较好的隔热保温效果。同时具有较好的隔热保温效果。同时具有较好的隔热保温效果。

【技术实现步骤摘要】
一种科研型高温扩散炉


[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种科研型高温扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。
[0003]现有的扩散炉体能够实现对硅片的高温扩散，但是其通入气体的均匀性差，容易导致扩散不均匀影响硅片质量，此外，现有的扩散炉隔热保温效果差，影响扩散质量。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种科研型高温扩散炉，有效的解决了现有扩散炉通入气体均匀性差以及隔热保温效果差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种科研型高温扩散炉，包括炉体，所述炉体的顶端设置有加热组件，炉体内部的一端设置有布气盘，布气盘通过支撑座与炉体想配合连接，布气盘为中空式结构，布气盘的一侧设置有若干排气微孔，布气盘远离排气微孔的一侧设置有内齿圈，布气盘靠近内齿圈一侧的中间位置设置有连接套，连接套的内部设置有进气管，连接套与进气管之间通过气封相配合连接，进气管的另一端与加热组件相配合连接，炉体内部靠近布气盘的一端设置有与内齿圈相匹配的驱动组件。
[0006]优选的，所述布气盘与支撑座之间通过轴承相配合连接，支撑座与炉体为固定连接结构。
[0007]优选的，所述驱动组件由驱动电机、驱动轴和驱动齿轮构成，驱动电机与炉体固定连接，驱动齿轮通过驱动轴与驱动电机的输出轴连接，驱动齿轮与内齿圈相啮合。
[0008]优选的，所述炉体和加热组件的内部均设置有隔热保温层，隔热保温层由聚氨酯发泡层、真空层、离心玻璃纤维岩棉层和热辐射层构成，真空层位于聚氨酯发泡层的一侧，离心玻璃纤维岩棉层位于真空层的一侧，热辐射层位于离心玻璃纤维岩棉层的一侧。
[0009]优选的，所述热辐射层由耐热基板、若干连接板和热辐射面层构成，热辐射面层固定连接于连接板的一侧，连接板的另一侧与耐热基板相配合连接。
[0010]优选的，所述耐热基板靠近连接板的一侧开设有T型安装槽，连接板的一侧设置有与T型安装槽相匹配的T型安装卡扣，热辐射面层为不规则四面体结构。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）、在工作中，通过设置有布气盘、排气微孔、内齿圈、连接套、进气管、气封和驱动组件能够使得气体分散进入，从而提高进气的均匀度，进而提高扩散效果；
[0013]（2）、通过设置由聚氨酯发泡层、真空层、离心玻璃纤维岩棉层和热辐射层构成的隔热保温层能够使得扩散炉具有较好的隔热保温效果，从而能够实现热辐射，避免热能的损失，提高对热能的利用率。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0015]在附图中：
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术布气盘与支撑座和驱动组件连接结构示意图；
[0018]图3为本技术布气盘结构示意图；
[0019]图4为本技术隔热保温层结构示意图；
[0020]图5为本技术热辐射面层与连接板连接结构示意图；
[0021]图中：1、炉体；2、加热组件；3、布气盘；4、支撑座；5、排气微孔；6、内齿圈；7、连接套；8、进气管；9、气封；10、驱动组件；11、轴承；12、驱动电机；13、驱动轴；14、驱动齿轮；15、隔热保温层；16、聚氨酯发泡层；17、真空层；18、离心玻璃纤维岩棉层；19、热辐射层；20、耐热基板；21、连接板；22、热辐射面层；23、T型安装槽；24、T型安装卡扣。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例一，由图1至图3给出，本技术包括炉体1，炉体1的顶端设置有加热组件2，炉体1内部的一端设置有布气盘3，布气盘3通过支撑座4与炉体1想配合连接，布气盘3为中空式结构，布气盘3的一侧设置有若干排气微孔5，布气盘3远离排气微孔5的一侧设置有内齿圈6，布气盘3靠近内齿圈6一侧的中间位置设置有连接套7，连接套7的内部设置有进气管8，连接套7与进气管8之间通过气封9相配合连接，进气管8的另一端与加热组件2相配合连接，炉体1内部靠近布气盘3的一端设置有与内齿圈6相匹配的驱动组件10。
[0024]实施例二，在实施例一的基础上，由图1和图2给出，布气盘3与支撑座4之间通过轴承11相配合连接，能够提高布气盘3与支撑座4之间的活动度，支撑座4与炉体1为固定连接结构，驱动组件10由驱动电机12、驱动轴13和驱动齿轮14构成，能够实现对布气盘3进行驱动，从而能够带动布气盘3转动，进一步提高气体的扩散均匀度，驱动电机12与炉体1固定连接，驱动齿轮14通过驱动轴13与驱动电机12的输出轴连接，驱动齿轮14与内齿圈6相啮合，能够通过驱动齿轮14驱动内齿圈6转动，从而带动布气盘3转动；
[0025]使用时，启动驱动电机12，通过驱动电机12带动驱动轴13转动，从而带动驱动齿轮14转动，由于驱动齿轮14与内齿圈6相啮合，从而通过内齿圈6带动布气盘3转动，由于连接套7与进气管8之间通过气封9连接，因此在提高密封性的同时能够保证活动性，使得气体从进气管8进入到连接套7的内部，再进入到布气盘3的内部，最后通过排气微孔5排出，能够有效提高气体排出的均匀度。
[0026]实施例三，在实施例一的基础上，由图1、图4和图5给出，炉体1和加热组件2的内部均设置有隔热保温层15，隔热保温层15由聚氨酯发泡层16、真空层17、离心玻璃纤维岩棉层18和热辐射层19构成，通过聚氨酯发泡层16、真空层17、离心玻璃纤维岩棉层18和热辐射层
19的设置能够提高隔热保温效果，通过热辐射层19能够实现热辐射，提高对热能的利用率，真空层17位于聚氨酯发泡层16的一侧，离心玻璃纤维岩棉层18位于真空层17的一侧，热辐射层19位于离心玻璃纤维岩棉层18的一侧，热辐射层19由耐热基板20、若干连接板21和热辐射面层22构成，通过组合式结构，便于对热辐射面层22进行更换，热辐射面层22固定连接于连接板21的一侧，连接板21的另一侧与耐热基板20相配合连接，耐热基板20靠近连接板21的一侧开设有T型安装槽23，连接板21的一侧设置有与T型安装槽23相匹配的T型安装卡扣24，能够提高对热辐射面层22的拆装效率，热辐射面层22为不规则四面体结构，能够实现多角度热辐射。
[0027]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种科研型高温扩散炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的顶端设置有加热组件（2），炉体（1）内部的一端设置有布气盘（3），布气盘（3）通过支撑座（4）与炉体（1）想配合连接，布气盘（3）为中空式结构，布气盘（3）的一侧设置有若干排气微孔（5），布气盘（3）远离排气微孔（5）的一侧设置有内齿圈（6），布气盘（3）靠近内齿圈（6）一侧的中间位置设置有连接套（7），连接套（7）的内部设置有进气管（8），连接套（7）与进气管（8）之间通过气封（9）相配合连接，进气管（8）的另一端与加热组件（2）相配合连接，炉体（1）内部靠近布气盘（3）的一端设置有与内齿圈（6）相匹配的驱动组件（10）。2.根据权利要求1所述的一种科研型高温扩散炉，其特征在于：所述布气盘（3）与支撑座（4）之间通过轴承（11）相配合连接，支撑座（4）与炉体（1）为固定连接结构。3.根据权利要求1所述的一种科研型高温扩散炉，其特征在于：所述驱动组件（10）由驱动电机（12）、驱动轴（13）和驱动齿轮（14）构成，驱动电机（12）与炉体（1）固定连接，驱动齿轮（14）通过驱动轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，王龙峰，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：