一种扩散炉废气过滤排放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废气过滤排放装置技术领域，且公开了一种扩散炉废气过滤排放装置，包括过滤箱，所述过滤箱底部一侧设置有相通的废气管，过滤箱底部另一侧设置有排污口，过滤箱顶部固定安装有上盖，上盖中间位置固定贯穿设置有连接杆，连接杆内部上方开设有排气通槽，排气通槽内部固定设置有负压风机，本实用新型专利技术，通过启动双向气缸回缩带动活动块闭合使得第一支撑杆与第二支撑杆逐渐对齐，从而推动过滤网层、活性炭过滤层与净化层全部推出过滤便于人们进行清洗，然后控制双向气缸伸出即可带动过滤网层下移到过滤箱内部进行过滤净化，通过将密封块插入到密封槽内部提高了密封效果，这样有效的降低了人们进行清洗的工作强度。这样有效的降低了人们进行清洗的工作强度。这样有效的降低了人们进行清洗的工作强度。

Exhaust gas filtering and discharging device of diffusion furnace

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉废气过滤排放装置


[0001]本技术属于废气过滤排放装置
，具体为一种扩散炉废气过滤排放装置。

技术介绍

[0002]扩散炉主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，扩散炉在工作过程中，经高温扩散产生的尾气直接进入排气管道，会产生较多的废气排放，此时需要通过过滤装置进行废气过滤才能排放。
[0003]但是目前市场上的扩散炉废气过滤排放装置，大多过滤部件是固定安装的，无法移出过滤箱不便于人们进行清洗，同时传统扩散炉废气过滤排放装置，整体的过滤步骤将为单一，从而起不到很好的过滤的效果。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种扩散炉废气过滤排放装置，有效的解决了目前市场上的扩散炉废气过滤排放装置，大多过滤部件是固定安装的，无法移出过滤箱不便于人们进行清洗，同时传统扩散炉废气过滤排放装置，整体的过滤步骤将为单一，从而起不到很好的过滤的效果的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉废气过滤排放装置，包括过滤箱，所述过滤箱底部一侧设置有相通的废气管，过滤箱底部另一侧设置有排污口，过滤箱顶部固定安装有上盖，上盖中间位置固定贯穿设置有连接杆，连接杆内部上方开设有排气通槽，排气通槽内部固定设置有负压风机，连接杆位移上盖下方均匀间隔设置有过滤网层、活性炭过滤层与净化层，上盖顶部一侧设置有进水管。
[0006]优选的，所述过滤网层内部均匀间隔内嵌设置有制冷片，活性炭过滤层底部波浪形设置有与进水管连通的导水管，导水管底部均匀设置有喷头。
[0007]优选的，所述上盖与净化层之间连接杆表面环形陈列开设有通孔，通孔与排气通槽相通。
[0008]优选的，所述过滤网层、活性炭过滤层与净化层两侧均安装有导向块，过滤箱内部两侧开设有与导向块相互匹配的导向槽。
[0009]优选的，所述过滤网层底部两侧转动设置第一支撑杆，第一支撑杆底部转动设置有与过滤箱滑动连接的活动块，活动块之间通过双向气缸连接。
[0010]优选的，所述活动块底部转动设置有第二支撑杆，第二支撑杆底部与过滤箱内侧底部转动连接。
[0011]优选的，所述上盖底部固定安装有密封垫，上盖底部贯穿密封垫设置有密封块，过滤箱顶部开设有与密封块相互匹配的密封槽。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1）、在工作中，通过启动双向气缸回缩带动活动块闭合使得第一支撑杆与第二支撑杆逐渐对齐，从而推动过滤网层、活性炭过滤层与净化层全部推出过滤便于人们进行清洗，然后控制双向气缸伸出即可带动过滤网层下移到过滤箱内部进行过滤净化，通过将密封块插入到密封槽内部提高了密封效果，这样有效的降低了人们进行清洗的工作强度；
[0014]2）、通过启动负压风机将扩散炉产生的废气吸入到过滤箱内部，通过喷头喷出冷水与制冷片配合对废气进行降温，从而使得废气中会存在一些含有很多杂质的高温气态水进行过滤，然后再通过活性炭过滤层进行再次过滤除味，最后通过净化层进行净化处理，这样效的提高了整体的过滤效果，避免了过滤不完善对大气造成污染。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术的主视图；
[0017]图2为本技术的过滤网层、活性炭过滤层与净化层立体图；
[0018]图3为本技术的上盖立体图；
[0019]图中：1、过滤箱；2、上盖；3、连接杆；4、排气通槽；5、过滤网层；6、活性炭过滤层；7、净化层；8、制冷片；9、导水管；10、喷头；11、通孔；12、导向块；13、导向槽；14、第一支撑杆；15、活动块；16、双向气缸；17、第二支撑杆；18、密封块；19、密封槽；20、负压风机。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一，由图1、图2和图3给出，本技术包括过滤箱1，所述过滤箱1底部一侧设置有相通的废气管，便于扩散炉排出的废气进入到过滤箱1内部，过滤箱1底部另一侧设置有排污口，便于污水的排出，过滤箱1顶部固定安装有上盖2，便于进行顶部密封，上盖2中间位置固定贯穿设置有连接杆3，起到很好的连接效果，连接杆3内部上方开设有排气通槽4，排气通槽4内部固定设置有负压风机20，便于将过滤后的气体排出，连接杆3位移上盖2下方均匀间隔设置有过滤网层5、活性炭过滤层6与净化层7，有效的提高了整体的过滤效果，上盖2顶部一侧设置有进水管，便于外界冷水的导入。
[0022]实施例二，在实施例一的基础上，由图1给出，过滤网层5内部均匀间隔内嵌设置有制冷片8，便于对初步过滤的废气进行冷凝作用，活性炭过滤层6底部波浪形设置有与进水管连通的导水管9，导水管9底部均匀设置有喷头10，通过喷头10将冷水喷出，从而废气进行再次过滤。
[0023]实施例三，在实施例一的基础上，由图1和图2给出，上盖2与净化层7之间连接杆3表面环形陈列开设有通孔11，通孔11与排气通槽4相通，便于通过通孔11使得过滤好的空气进入到排气通槽4内部排出。
[0024]实施例四，在实施例一的基础上，由图2给出，过滤网层5、活性炭过滤层6与净化层
7两侧均安装有导向块12，过滤箱1内部两侧开设有与导向块12相互匹配的导向槽13，通过导向块12与导向槽13相互配合，便于过滤网层5、活性炭过滤层6与净化层7上下稳定的移动。
[0025]实施例五，在实施例一的基础上，由图1给出，过滤网层5底部两侧转动设置第一支撑杆14，第一支撑杆14底部转动设置有与过滤箱1滑动连接的活动块15，活动块15之间通过双向气缸16连接，通过双向气缸16带动活动块15闭合，从而使得第一支撑杆14将过滤网层5、活性炭过滤层6与净化层7向上顶出过滤箱1。
[0026]实施例六，在实施例一的基础上，由图1给出，活动块15底部转动设置有第二支撑杆17，第二支撑杆17底部与过滤箱1内侧底部转动连接，通过活动块15闭合便于带动第二支撑杆17逐渐垂直，从而提高了整体上移的高度。
[0027]实施例七，在实施例一的基础上，由图3给出，上盖2底部固定安装有密封垫，上盖2底部贯穿密封垫设置有密封块18，过滤箱1顶部开设有与密封块18相互匹配的密封槽19，通过密封块18插入到密封槽19内部，从而提高了整体的密封效果。
[0028]工作原理：工作时，通过启动负压风机20使得过滤箱1内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉废气过滤排放装置，包括过滤箱（1），其特征在于：所述过滤箱（1）底部一侧设置有相通的废气管，过滤箱（1）底部另一侧设置有排污口，过滤箱（1）顶部固定安装有上盖（2），上盖（2）中间位置固定贯穿设置有连接杆（3），连接杆（3）内部上方开设有排气通槽（4），排气通槽（4）内部固定设置有负压风机（20），连接杆（3）位移上盖（2）下方均匀间隔设置有过滤网层（5）、活性炭过滤层（6）与净化层（7），上盖（2）顶部一侧设置有进水管。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉废气过滤排放装置，其特征在于：所述过滤网层（5）内部均匀间隔内嵌设置有制冷片（8），活性炭过滤层（6）底部波浪形设置有与进水管连通的导水管（9），导水管（9）底部均匀设置有喷头（10）。3.根据权利要求1所述的一种扩散炉废气过滤排放装置，其特征在于：所述上盖（2）与净化层（7）之间连接杆（3）表面环形陈列开设有通孔（11），通孔（11）与排气通槽（4）相通。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，时宝斌，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：