一种便于调节的扩散炉炉门制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉设备技术领域，且公开了一种便于调节的扩散炉炉门，包括炉管，所述炉管顶端设置有炉门，炉门靠近炉管的一侧中间位置固定安装有密封凸块，密封凸块外侧套接有相互匹配的密封套，炉门另一侧中间位置固定安装有固定套筒，本实用新型专利技术，通过将密封凸块插入到炉管内部，同时使得炉管插入到密封槽内部进行密封固定，然后通过转动手柄带动第二齿轮转动，从而使得相应的第一齿轮啮合传动，从而使得第一齿轮上的螺杆转动，由于螺杆与球头套杆螺纹连接，而球头套杆与炉门转动连接，从而实现了调节炉门对炉管的压紧力，这样实现了调节炉门对炉管不同角度的压紧力，这样便于人们进行快速调节使用。们进行快速调节使用。们进行快速调节使用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的扩散炉炉门


[0001]本技术属于扩散炉设备
，具体为一种便于调节的扩散炉炉门。

技术介绍

[0002]扩散炉主要用于硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺，炉体是扩散、氧化工艺的反应腔室，炉门的结构形式非常关键。
[0003]炉门和炉管大多采用石英材质制造，在炉门靠近炉管的一侧设有凸起的石英包块，炉门关闭时该石英包块嵌入至炉管内，以保证炉体的密封性。操作人员在关闭炉门时需要时时调节炉门的位置，使得石英包块恰好位于炉管的中间位置，以便炉门和炉管完全密封配合。
[0004]但是目前市场上扩散炉炉门，整体的调节效果较差，不便于快速将密封凸块调节到炉管的中间位置。

技术实现思路

[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种便于调节的扩散炉炉门，有效的解决了目前市场上扩散炉炉门，整体的调节效果较差，不便于快速将密封凸块调节到炉管的中间位置的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节的扩散炉炉门，包括炉管，所述炉管顶端设置有炉门，炉门靠近炉管的一侧中间位置固定安装有密封凸块，密封凸块外侧套接有相互匹配的密封套，炉门另一侧中间位置固定安装有固定套筒，固定套筒内部伸缩设置有第一球头杆，第一球头杆顶部转动设置有三角支撑板，三角支撑板靠近炉门的一侧三角转动设置有螺杆，炉门表面转动安装有与螺杆螺纹连接的球头套杆，三角支撑板远离炉门的一侧中间位置转动安装有第二球头杆，第二球头杆两侧设置有L型连接杆，L型连接杆底部两侧固定安装有固定板，固定板通过固定螺栓与炉管连接。
[0007]优选的，所述三角支撑板远离炉门一侧三角转动设置有与螺杆固定连接的第一齿轮，三角支撑板表面通过销轴转动设置有与第一齿轮相互啮合的第二齿轮，第二齿轮表面转动设置有手柄。
[0008]优选的，所述球头套杆与螺杆外侧套接有弹簧，三角支撑板表面与弹簧固定连接。
[0009]优选的，所述密封套靠近炉门的一侧表面环形间隔设置有张紧块，炉门表面开设有与张紧块相互匹配的张紧槽，张紧块上下两侧表面固定安装有弹性球，张紧槽内部上下开设有与弹性球相匹配的凹槽。
[0010]优选的，所述密封套远离炉门的一侧表面环形开设有密封槽，密封槽与炉管相互匹配。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1）、本技术，通过将密封凸块插入到炉管内部，同时使得炉管插入到密封槽内部进行密封固定，然后通过转动手柄带动第二齿轮转动，从而使得相应的第一齿轮啮合传
动，从而使得第一齿轮上的螺杆转动，由于螺杆与球头套杆螺纹连接，而球头套杆与炉门转动连接，从而实现了调节炉门对炉管的压紧力，这样实现了调节炉门对炉管不同角度的压紧力，这样便于人们进行快速调节使用；
[0013]2）、通过将密封套套接到密封凸块外侧，此时通过将张紧块插入到张紧槽内部进行连接固定的，同时使得弹性球插入到凹槽内部加强了连接，有效的避免了在调节过程中出现掉落，这样在使用过程中通过密封套与炉管进行直接接触，从而避免了密封凸块与炉管直接接触造成损坏，这样有效的延长了使用寿命。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1为本技术的主视图；
[0016]图2为本技术球头套杆的连接结构示意图；
[0017]图3为本技术第一齿轮与第二齿轮的啮合传动结构示意图；
[0018]图4为本技术的炉门立体图；
[0019]图5为本技术的密封套立体图；
[0020]图中：1、炉管；2、炉门；3、密封凸块；4、密封套；5、固定套筒；6、第一球头杆；7、三角支撑板；8、螺杆；9、球头套杆；10、第一齿轮；11、第二齿轮；12、销轴；13、手柄；14、弹簧；15、L型连接杆；16、张紧块；17、张紧槽；18、弹性球；19、凹槽；20、密封槽；21、第二球头杆；22、固定板。
实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，由图1
‑
图5给出，本技术包括炉管1，炉管1顶端设置有炉门2，炉门2靠近炉管1的一侧中间位置固定安装有密封凸块3，加强了密封的效果，密封凸块3外侧套接有相互匹配的密封套4，不仅提高了密封性，还起到了很好的缓冲保护效果，炉门2另一侧中间位置固定安装有固定套筒5，固定套筒5内部伸缩设置有第一球头杆6，通过第一球头杆6与固定套筒5相互配合，从而提高了炉门2调节的稳定性，第一球头杆6顶部转动设置有三角支撑板7，起到很好的支撑作用，三角支撑板7靠近炉门2的一侧三角转动设置有螺杆8，炉门2表面转动安装有与螺杆8螺纹连接的球头套杆9，通过螺杆8与球头套杆9相互配合，便于对炉门2进行角度的调节，球头套杆9与螺杆8外侧套接有弹簧14，三角支撑板7表面与弹簧14固定连接，弹簧14在炉门2与三角支撑板7之间起到弹性支撑作用，三角支撑板7远离炉门2的一侧中间位置转动安装有第二球头杆21，第二球头杆21两侧设置有L型连接杆15，L型连接杆15底部两侧固定安装有固定板22，固定板22通过固定螺栓与炉管1连接，便于对三角支撑板7进行固定限位。
[0023]实施例二，在实施例一的基础上，由图1和图2给出，三角支撑板7远离炉门2一侧三
角转动设置有与螺杆8固定连接的第一齿轮10，三角支撑板7表面通过销轴12转动设置有与第一齿轮10相互啮合的第二齿轮11，第二齿轮11表面转动设置有手柄13，通过转动手柄13带动第二齿轮11旋转，进而带动第一齿轮10上的螺杆8进行转动，从而使得三角支撑板7三个支撑端能够调节不同高度，从而调节炉门2对炉管1不同角度的压紧力。
[0024]实施例三，在实施例一的基础上，由图3给出，密封套4靠近炉门2的一侧表面环形间隔设置有张紧块16，炉门2表面开设有与张紧块16相互匹配的张紧槽17，通过将张紧块16插入到张紧槽17内部，从而对密封套4起到初步固定作用，张紧块16上下两侧表面固定安装有弹性球18，张紧槽17内部上下开设有与弹性球18相匹配的凹槽19，通过弹性球18卡入到凹槽19内部，从而提高了连接的牢固性，密封套4远离炉门2的一侧表面环形开设有密封槽20，密封槽20与炉管1相互匹配，通过将炉管1插入密封槽20内部，从而起到了很好的密封效果。
[0025]工作原理：工作时，通过将密封套4套接到密封凸块3外侧，此时通过将张紧块16插入到张紧槽17内部，从而起到了初步连接固定的效果，同时使得弹性球18插入到凹槽19内部，从而提高了张本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的扩散炉炉门，包括炉管（1），其特征在于：所述炉管（1）顶端设置有炉门（2），炉门（2）靠近炉管（1）的一侧中间位置固定安装有密封凸块（3），密封凸块（3）外侧套接有相互匹配的密封套（4），炉门（2）另一侧中间位置固定安装有固定套筒（5），固定套筒（5）内部伸缩设置有第一球头杆（6），第一球头杆（6）顶部转动设置有三角支撑板（7），三角支撑板（7）靠近炉门（2）的一侧三角转动设置有螺杆（8），炉门（2）表面转动安装有与螺杆（8）螺纹连接的球头套杆（9），三角支撑板（7）远离炉门（2）的一侧中间位置转动安装有第二球头杆（21），第二球头杆（21）两侧设置有L型连接杆（15），L型连接杆（15）底部两侧固定安装有固定板（22），固定板（22）通过固定螺栓与炉管（1）连接。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的扩散炉炉门，其特征在于：所述三角支撑板（7）远离炉门（2）一侧三角转动设置有与螺杆（8...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，时宝斌，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：