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一种扩散炉炉口排风装置制造方法及图纸
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下载一种扩散炉炉口排风装置的技术资料
文档序号:26674653
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本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉炉口排风装置,解决了目前扩散炉生产加工过程中泄露的废气容易在炉口处冷凝形成腐蚀性废液的问题,其包括炉口插管,所述炉口插管的一端固定安装有废气收集罩,废气收集罩一侧的中部开设有开口,开口的内部固...
该专利属于青岛赛尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛赛尔微电子有限公司授权不得商用。
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