【技术实现步骤摘要】
液体槽和晶圆处理设备
本技术涉及晶圆生产加工领域，具体涉及一种液体槽和晶圆处理设备。
技术介绍
在现有技术中，使用液体槽处理晶圆，或者制备一些溶液，例如SPM(硫酸-双氧水混合)溶液，是非常普遍的事情。但是现有技术中的液体槽通常只能控制该液体槽内的化学品在一个特定的温度，而不能在制程中改变化学品的温度。因此，使用现有技术中的液体槽清洗晶圆时，无法通过改变液体槽中化学品的温度来提高对晶圆的清洗效率，也不能根据不同的化学品在不同温度下的外特性来改善制程。因此，使用现有技术中的液体槽会影响对晶圆的处理效果，也无法根据不同的化学品在不同温度下的外特性来改善制程，还有可能会影响使用所述液体槽制备的溶液的使用效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种液体槽和晶圆处理设备，能够控制槽体内的化学品在不同的温度间调整，使得用户能够利用化学品的温度特性来优化制程。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种液体槽，包括循环管路和槽体，且所述循环管路的首端和尾端均连通至所述槽体，还包括：温控单元，包括加热器和制冷器，所述温控...
【技术保护点】
1.一种液体槽，包括循环管路和槽体，且所述循环管路的首端和尾端均连通至所述槽体，其特征在于，还包括：/n温控单元，包括加热器和制冷器，所述温控单元安装至所述循环管路，用于控制所述循环管路内的液体的温度；/n控制单元，连接至所述温控单元，用于控制所述温控单元对所述循环管路内的液体进行加热或者冷却。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种液体槽，包括循环管路和槽体，且所述循环管路的首端和尾端均连通至所述槽体，其特征在于，还包括：
温控单元，包括加热器和制冷器，所述温控单元安装至所述循环管路，用于控制所述循环管路内的液体的温度；
控制单元，连接至所述温控单元，用于控制所述温控单元对所述循环管路内的液体进行加热或者冷却。
2.根据权利要求1所述的液体槽，其特征在于，还包括控制按钮，所述控制按钮连接至所述控制单元，用于供用户向所述液体槽输入控制条件，从而控制所述温控单元对所述循环管路内液体的温度进行控制。
3.根据权利要求1所述的液体槽，其特征在于，还包括温度检测计，安装于所述循环管路内，用于检测所述循环管路内液体的温度。
4.根据权利要求3所述的液体槽，其特征在于，所述温度检测计还连接到所述控制单元，用于供所述控制单元根据检测到的温度而控制所述循环管路内的液体的温度。
5.根据权利要求3所述的液体槽，其特征在于，还包括：
显示单元，连接至所述温度检测计，用于显示所述温度检测计检测到的温度。
技术研发人员：白靖宇，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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