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该实用新型涉及一种液体槽和晶圆处理设备，其中所述液体槽，包括循环管路和槽体，且所述循环管路的首端和尾端均连通至所述槽体，还包括：温控单元，包括加热器和制冷器，所述温控单元安装至所述循环管路，用于控制所述循环管路内的液体的温度；控制单元，连接...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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