本发明专利技术涉及在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性的测定。一种用于测定具有连接ＤＵＴ２和网络分析器１的信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ的夹具３的夹具特性（亦即信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ的反射特性、传输Ｓ参数等）的夹具特性测定装置，在ＤＵＴ２不连接在信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ上的开路状态下，测定信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ的反射系数，在信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ全部接地的短路状态下，测定信号线３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ的反射系数，根据这些测定结果，导出夹具３的夹具特性。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在运算测量被测定物的电路参数时所使用的夹具的特性的测定。
技术介绍
传统上，都要进行被测定物(DUTDevice Under Test)的电路参数(例如S参数)的测定(例如参照专利文献1(特开平11-38054号公报))。具体说，从信号源通过DUT向接收部发送信号。该信号由接收部接收。通过测定由接收部接收的信号，就能够取得DUT的S参数或频率特性。此时，由于信号源等测定系统和DUT的不匹配等在测定中产生测定系统误差。该测定系统误差，例如有Ed由桥的方向性引起的误差，Er由频率跟踪引起的误差，Es由源匹配引起的误差。在这种场合，例如可以如专利文献1中记载的那样修正误差。这样的修正称为校准。现对于校准加以概述。把信号源连接到校正工具上，实现开路、短路、加载(标准负荷Z0)三种状态。通过桥取得此时从校正工具反射的信号，求与三种状态对应的三种S参数。从三种S参数求三种变量Ed、Er、Es。另外，也可以在夹具上固定DUT，通过夹具把DUT连接到测定系统(例如网络分析器)上来进行。在这一场合，可以如上述那样来修正测定系统(例如网络分析器)中的误差。另外，在夹具的传送线路特性良好的场合，从测定系统给予夹具的信号，由夹具仅引起相位变化。因此，可以与夹具的传送线路的长度相吻合地校正相位。但是，在把高频信号给予DUT的场合，传送线路特性良好的夹具的制造困难。因此，从测定系统给予夹具的信号，通过夹具产生损失。在这一场合，如仅进行相位的校正，则测定精度恶化。因此，理想的是测定夹具的特性，更正确地进行校正。因此，本专利技术的课题是测定在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性。
技术实现思路
本专利技术的夹具特性测定装置，是用于测定夹具的夹具特性，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述夹具特性测定装置，被构成为具有在被测定物不连接在信号线的开路状态下、测定信号线的反射系数的第一反射系数测定单元；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定单元；根据第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出单元。根据如上述构成的夹具特性测定装置，可以提供用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定装置，所述夹具具有用于连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线。第一反射系数测定单元，在被测定物未被连接在信号线上的状态下，测定信号线的反射系数。第二反射系数测定单元，在信号线全部接地的短路状态下测定信号线的反射系数。夹具特性导出单元，根据第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果导出夹具特性。另外，在本专利技术的夹具特性测定装置中，夹具也可以具有在表面配置被测定物以及信号线、而在背面配置接地电位部的基板，和在表面开口、而连接接地电位部的通孔。另外，在本专利技术的夹具特性测定装置中，开路状态，也可以是未将被测定物配置在夹具上的状态。另外，在本专利技术的夹具特性测定装置中，短路状态，也可以是在表面上配置信号线以及在通孔上连接的金属化部的状态。另外，在本专利技术的夹具特性测定装置中，夹具特性导出单元，也可以把第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的平方根作为夹具特性。另外，在本专利技术的夹具特性测定装置中，夹具特性导出单元，也可以把第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的四次方根作为夹具特性。另外，本专利技术，也可以是具有上述那样的夹具特性测定装置的、根据通过夹具特性测定装置导出的夹具特性校正被测定物的测定结果的网络分析器。另外，本专利技术，也可以是具有上述那样的夹具特性测定装置的、根据通过夹具特性测定装置导出的夹具特性校正被测定物的测定结果的半导体试验装置。本专利技术的夹具特性测定方法，是用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定方法，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述夹具特性测定方法被构成为，具有在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定步骤；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定步骤；根据第一反射系数测定步骤的测定结果和第二反射系数测定步骤的测定结果，导出夹具特性的夹具特性导出步骤。本专利技术的程序，是使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理的程序，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述程序是使计算机执行下述处理的程序在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；根据第一反射系数测定处理的测定结果和第二反射系数测定处理的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出处理。本专利技术的记录介质，是记录使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理的程序的计算机可读记录介质，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述存储介质是记录使计算机执行下述处理的程序的计算机可读记录介质在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；根据第一反射系数测定处理的测定结果和第二反射系数测定处理的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出处理。附图说明图1是表示通过具有涉及本专利技术的实施形态的夹具特性测定装置的网络分析器1测定固定在夹具3上的DUT2的特性时网络分析器1和DUT2的连接关系的图。图2是夹具3的平面图(图2(a))、截面图(图2(b))。图3是表示开路状态的夹具3的平面图。图4是表示短路状态的夹具3的平面图(图4(a))、截面图(图4(b))。图5是表示网络分析器1的结构的框图。图6是表示夹具特性测定装置60的结构的框图。图7是表示信号线3a的反射特性的真值以及信号线3a的反射系数SAAopen、SAAshort的关系的图。图8是信号线3a的信号流图。图9是表示本专利技术的实施形态的动作的流程图。具体实施例方式下面参照附图说明本专利技术的实施形态。图1是表示通过具有涉及本专利技术的实施形态的夹具特性测定装置的网络分析器1测定固定在夹具3上的DUT2的特性时网络分析器1和DUT2的连接关系的图。网络分析器1是用于测定DUT2的特性的测定装置。DUT2是被测定物(device Under Test)。DUT2安装在夹具3的表面。在夹具3的表面上，配置信号线3a、3b、3c、3d，与DUT2连接。网络分析器1具有端口A、B、C、D。端口A、B、C、D是用于收发信号的端口。端口A连接电缆6a。端口B连接电缆6b。端口C连接电缆6c。端口D连接电缆6d。电缆6a通过接线器8a连接信号线3a。电缆6b通过接线器8b连接信号线3b。电缆6c通过接线器8c连接信号线3c。电缆6d通过接线器8d连接信号线3d。这样，信号线3a、3b、3c、3d与DUT2和网络分析器1连接。图2是夹具3的平面图(图2(a))、截面图(图2(b))。此外，在图2(a)中，虚线表示应该配置DUT2的位置。夹具3具有基板32以及通孔3H。在夹具3的基板32的表面本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种夹具特性测定装置，用于测定夹具的夹具特性，所述夹具具有连接被测定物和用于测定所述被测定物的特性的测定装置的信号线，具有下述单元：在所述被测定物不连接在所述信号线的开路状态下，测定所述信号线的反射系数的第一反射系数测定单元 ；在所述信号线全部接地的短路状态下，测定所述信号线的反射系数的第二反射系数测定单元；和根据所述第一反射系数测定单元的测定结果和所述第二反射系数测定单元的测定结果，导出所述夹具特性的夹具特性导出单元。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：春田将人，绀野裕幸，木村直也，中山喜和，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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