【技术实现步骤摘要】
本专利技术提出，利用紫外光学元件在紫外激光照射下，由于缺陷等的存在而产生荧光的特性，通过测量荧光强度分布及荧光强度与入射紫外光能量的关系计算得到紫外激光器输出光束分布特性。
技术介绍
在紫外光束特性测试系统中，对紫外光信号进行成像有两种方法一是用对紫外光响应的紫外成像器件直接成像；二是先将紫外光信号转换成常规波段光信号，然后用常规波段的光成像器件对其成像。紫外光信号转换成常规波段光信号主要通过荧光材料实现。荧光材料主要包括硫化锌类荧光粉和绿色、红色荧光粉等，有铝酸盐、磷酸盐、硼酸盐及硅酸盐四大体系，该类材料的合成工艺较复杂，成本高，材料稳定性差，亮度低。当将该两种方法应用于高功率紫外激光器输出光束特性测量中时，为了不损坏紫外成像器件及紫外 光信号至常规波段光信号转换器件，常使用光束取样器件和衰减器对高功率紫外激光光束采样和衰减。由于光学器件响应的非线性和成像像差而引入激光光束分布特性的测量误差。另外，紫外光直接检测设备成本高，响应度低，寿命短，而紫外光学元件例如石英、氟化钙等，损伤阈值高，在紫外光照射下由于缺陷等的存在而产生荧光，可以利用该特性间接测量激光器输出...
【技术保护点】
一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法，其特征在于测试步骤如下：步骤（1）、高功率紫外激光器输出光束特性测试系统由紫外激光器、紫外光学元件、反射镜、滤光片、光束诊断相机及计算机组成；将紫外激光直接照射到紫外光学元件上，紫外光学元件在紫外激光照射下产生荧光，波长记为λ1,λ2...λi，所选用的紫外光学元件不同，产生的荧光光谱不同，通过滤光片选择照射到光束诊断相机上的荧光波长范围，光束诊断相机采集荧光强度分布并传输到计算机上；步骤（2）、荧光强度分布P(x,y)是单一波长荧光强度分布或者是某一波长范围内荧光强度分布PΔλ(x,y)，或者是全部荧光强度分布根据荧光强度分布及入...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李斌成，刘卫静，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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