【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光器测试领域，涉及一种半导体激光器三维光束特性测试装置及测试方法。
技术介绍
半导体激光器由于具有体积小、重量轻、直接采用电驱动、电光转换效率高、寿命长等优点，在工业加工、激光医疗、激光显示、激光测距、激光雷达、激光制导等领域获得了越来越为广泛的应用。但是半导体激光器由于其特殊的有源区波导结构，快轴发散角比较大，而且快慢轴光束不对称，导致其输出光束的质量比较差，因此半导体激光器的光束质量成为制约其应用的关键瓶颈之一。研究改进半导体激光器的光束质量，必须准确获取其快慢轴发散角、束腰半径等信息，因此对半导体激光器光束特性的测量就越来越为人们所关注。多年来，人们提出了多种测试半导体发散角的方法。其中常用的测试方法有 (I)直接测量法直接测量法主要包括两种a)垂直定距测量法(半导体激光器参数测量装置[200510115043]专利)。即保持激光器发光点与激光探测垂直距离为一固定值，以水平运动的方式，将激光探测器以垂直于激光器发光轴线的垂直平面移动至激光器发光范围区域，测量不同位置处的激光器光功率，达到光束特性测试的目的。但是这种方法测试指向比较单一，各测试点参考...
【技术保护点】
一种三维激光器光束特性测试装置，其特征在于：包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，各个微型光接收器分别接有微型探测器。
【技术特征摘要】
1.一种三维激光器光束特性测试装置，其特征在于包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，各个微型光接收器分别接有微型探测器。2.根据权利要求I所述的测试装置，其特征在于所述多个微型光接收器均匀分布，各个微型光接收器与半导体激光器的输出端之间的距离相等。3.根据权利要求I所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张普，刘兴胜，吴迪，宗恒军，
申请(专利权)人：西安炬光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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