电子部件试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术的电子部件试验装置将被试验ＩＣ的输入输出端子推压到测试头的插座（５０）进行测试；其中：具有至少包括推压基座（３４）、引导推压基座（３４）、推压块（３１）、杆座３２、及２个弹簧（３６、３８）的推压组件（３０）；该推压基座（３４）可相对插座（５０）接近离开移动地设置；该引导推压基座（３４）固定在推压基座（３４）；该推压块（３１）从插座（５０）的相反面接触于被试验ＩＣ进行推压；该杆座（３２）安装推压块（３１）；该２个弹簧（３６、３８）相对推压块（３１）通过杆座（３２）在被试验ＩＣ的推压方向施加弹性力；该推压组件（３０）的杆座（３２）和弹簧（３６、３８）由引导推压基座（３４）和推压基座（３５）夹住，推压块（３１）通过设于推压基座（３４）的开口部可装拆地安装于杆座（３２）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测试半导体集成电路元件等各种电子部件(以下也代表性地称为IC)的电子部件试验装置，特别是涉及试验时可相对任意的电子部件施加适当的推压力的电子部件试验装置。
技术介绍
在被称为处理设备(Handler)的IC试验装置(电子部件试验装置)中，将收容于托盘的多个被试验IC输送到处理设备内，将各被试验IC与测试头进行电接触，使电子部件试验装置本体(以下也称测试器)进行试验。当结束试验时，从测试头搬出各被试验IC，换载到与试验结果相应的托盘，从而分成合格品和不合格品这样的类别。在过去的电子部件试验装置中，具有用于收容试验前的IC或收容试验完毕的IC的托盘(以下也称用户托盘)与在电子部件试验装置内循环输送的托盘(以下称测试托盘)不同的类型，在这种电子部件试验装置中，试验前后在用户托盘与测试托盘之间进行IC的换载，在使IC接触于测试头进行测试的测试工序中，IC在搭载于测试托盘的状态下推压到测试头。可是，在过去的电子部件试验装置的试验工序中，通过被称为推压组件的推压机构下降将被试验IC推压到接触销，但对于各品种，从被试验IC的封壳引出的输入输出端子的数量例如与40～130根不同，另外，该端子的长度和封壳的形状等也不同，所以，被试验IC的品种要求的适当的推压力不同。因此，为了由电子部件试验装置进行试验的被试验IC的所有品种对应，需要准备可加适当的推压力的该品种量的推压组件，每次改变被试验IC的品种，都需要全部更换为与该品种对应的推压组件。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供用于测试电子部件的电子部件试验装置，特别是提供试验时可相对任意的电子部件施加适当的推压力的电子部件试验装置。为了达到上述目的，按照本专利技术，提供一种电子部件试验装置，该电子部件试验装置将被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的插座进行测试；其中具有至少包括推压基座、引导推压基座、推压块、及大于等于2个的弹性机构的推压组件；该推压基座可相对上述插座接近离开移动地设置；该引导推压基座固定在上述推压基座；该推压块可相对上述推压基座移动地设置，在上述试验时从上述插座的相反面接触于上述被试验电子部件，推压到上述插座；该大于等于2个的弹性机构设于上述引导推压基座与上述推压块之间，具有上述被试验电子部件的推压方向的弹性力；在上述试验时，从上述大于等于2个的弹性机构中的至少1个的弹性机构将弹性力作用于上述推压块(参照权利要求1)。推压组件通过包含具有被试验电子部件的推压方向的弹性力的大于等于2个的弹性机构，从而可扩大可从该推压组件获得的弹性力的范围，同时，通过与被试验电子部件接触的推压块从该大于等于2个的弹性机构中的至少1个弹性机构作用弹性力，从而可从大于等于2个的弹性机构选择获得的弹性力，可获得对任意的被试验电子部件的适当的推压力。在上述专利技术中，不特别进行限定，但按照本专利技术，上述推压块最好可装拆地设于上述推压组件(参照权利要求2)，更为具体地说，上述推压组件还具有安装上述推压块的杆座，上述杆座和上述弹性机构夹于上述引导推压基座与上述推压基座之间，上述推压块的一部分贯通上述杆座，与至少1个上述弹性机构接触，上述推压块通过形成于上述推压基座的开口部可装拆地安装于上述杆座(参照权利要求3)。当交换被试验电子部件的品种时，需要变更为可在品种交换后的被试验电子部件加适当的推压力的推压组件，但通过使得可从推压组件单独地仅拆下推压块，从而可使得非常容易进行伴随着被试验电子部件的品种交换。另外，在上述专利技术中，不特别限定，但按照本专利技术，最好上述推压块具有从上面以直角突出的大于等于2个的轴，上述大于等于2个的轴包含这样的轴，使得上述一个轴将其中心轴重合到上述推压组件的上述大于等于2个的弹性机构中的1个弹性机构的底面地配置，上述另一个轴将其中心轴重合到上述推压组件的上述大于等于2个的弹性机构中的另一个弹性机构的底面地配置(参照权利要求8)；另外，上述推压块最好包含上述大于等于2个的轴的长度分别不同的多种推压块(参照权利要求9)；更为具体地说，最好上述推压块的上述大于等于2个的轴包含这样的轴，使得上述一个轴具有接触于上述推压组件的上述一个弹性机构的长度，上述一个弹性机构的弹性力通过上述一个轴施加到上述推压块，上述另一轴具有接触于上述推压组件的上述另一弹性机构的长度，上述另一弹性机构的弹性力通过上述另一轴施加到上述推压块(参照权利要求11)。在可从推压块拆下的推压块具有以直角突出到其上面的大于等于2个的轴，设定为可相对被试验电子部件加适当推压力的长度，将特定的轴仅接触于特定的弹性机构，使该弹性机构收缩，从而可从具有宽范围的弹性力的大于等于2个的弹性机构获得任意的推压力。另外，按被试验电子部件的品种准备具有可加适当的推压力的长度的轴的推压块，从而可迅速地进行推压组件的变更。另外，在上述专利技术中，虽然不特别限定，但上述推压块最好包含上述轴以外的部分的铅直方向的长度不同的多种推压块(参照权利要求10)。通过对各被试验电子部件的品种准备推压块的轴以外的部分的铅直方向的长度，从而对于被试验电子部件的品种交换前后的该试验电子部件的厚度的不同也可应对。另外，在上述专利技术中，虽然不特别限定，但按照本专利技术，最好上述推压组件的上述引导推压基座具有开口部，上述推压块由贯通上述杆座安装的固定机构可装拆地固定于上述杆座，通过上述引导推压基座的开口部固定/解除上述固定机构，从而进行上述推压块的安装/拆卸(参照权利要求13)。由贯通推压组件的杆座安装的固定机构可装拆地固定推压块，通过引导推压基座的开口部进行该固定机构的固定/解除，进行该推压块的安装/拆卸，从而仅交换推压块，即可容易地实现伴随着被试验电子部件的品种交换时的推压组件的变更，可缩短该推压组件的交换时间的大幅度缩短。附图说明下面，根据附图说明本专利技术的实施形式。图1为示出本专利技术实施形式的电子部件试验装置的透视图。图2为示出图1的电子部件试验装置的被试验IC的处理方法的托盘的流程图。图3为示出图1的电子部件试验装置的IC存放器的构造的透视图。图4为示出在图1的电子部件试验装置中使用的用户托盘的透视图。图5为示出在图1的电子部件试验装置中使用的测试托盘的局部分解透视图。图6为示出图2的测定部的Z轴驱动装置、配合板、测试托盘及插座的断面图。图7为示出在本专利技术的实施形式的电子部件试验装置中使用的推压组件、配合板、插入部件、插座导向构件、及具有接触销的插座的构造的分解透视图。图8为图7的断面图，为示出在测试头中推压组件下降了的状态的图。图9(A)、图9(B)、及图9(C)为示出本专利技术的实施形式的推压组件导向构件的平面图和侧面图的图。图10为示出安装了图9(C)所示推压块的推压组件的断面图。图11为示出图8的推压组件、插座导向构件、及接触销的位置关系的断面图。图12为用于本专利技术的实施形式的电子部件试验装置的配合板的透视图。图13为用于说明配合板在本专利技术的实施形式的电子部件试验装置的安装方法的透视图。图14为示出本专利技术的实施形式的电子部件试验装置的测定部的Z轴驱动装置、配合板、测试托盘、及插座的分解透视图。图15为示出本专利技术的实施形式的电子部件试验装置的腔室的测定部的Z轴驱动装置的一例的断面图。图16为示出实施例1的推压组件的推压力的测定结果的图。图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，将被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的插座进行测试；其特征在于：具有至少包括推压基座、引导推压基座、推压块、及大于等于２个的弹性机构的推压组件；该推压基座可相对上述插座接近、离开移动地设置；该引导 推压基座固定在上述推压基座；该推压块可相对上述推压基座移动地设置，在上述试验时从上述插座的相反面接触于上述被试验电子部件，推压到上述插座；该大于等于２个的弹性机构设于上述引导推压基座与上述推压块之间，具有上述被试验电子部件的 推压方向的弹性力；在上述试验时，从上述大于等于２个的弹性机构中的至少１个的弹性机构将弹性力作用于上述推压块。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤登，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]