【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状被 检查体的探针装置及检查装置。
技术介绍
通常，使用探针卡那样的探针装置检查液晶面板等平板状 被检查体。作为该种探针装置中的一种，公知有使用探针片， 该探针片在电气绝缘性薄膜的一面上形成互相平行延伸的多根 配线，将各配线的一部分作为探针元件使用。专利文献l中公 开有该例。下面，对该专利文献l的专利技术进行概述。如图2所示，探针装置1的结构包括探针块2。在图示例中， 探针块2由探针片3、与探针片3连接的片状的第l连接片4、与 第l连接片4连接的第2连接片5、及安装有上述片3、 4和5的探 针座6。如图3所示，探针片3为在电气绝缘性薄膜9的一面上形成 其前端部互相并列地向前后方向延伸的多根配线8的薄膜测试 装置。配线8的配列间距与液晶面板10的电极ll (参照图2)的配歹'J间3巨相同。另外，探针片3在各配线8的前端部具有突起电极13。各突 起电极13具有半球状的形状。如图4所示，第l连接片4为在电气绝缘性薄膜17的 一 面上 形成多根配线15及16的薄片(TAB),并且，在另一面上具有 与配线15、 16电连...
【技术保护点】
一种探针装置，其特征在于， 该探针装置包括：固定于主体框架一侧的探针基座，支承薄膜探针并使其与被检查体的电极进行电接触的探针块，在上述薄膜探针的各触头与被检查体的电极接触的状态下、以均匀的压力对该薄膜探针加压的加压机构； 上述加压机构具有顶端加压部，该顶端加压部直接与上述薄膜探针接触，在该薄膜探针的各触头与上述被检查体的电极相接触的状态下，对该薄膜探针进行加压； 上述顶端加压部由对上述薄膜探针进行加压的加压板、使利用该加压板施加的压力变均匀的弹性体、设于上述薄膜探针的上述触头一侧且与上述弹性体互相结合使施加到上述各触头上的压力均匀的支承薄膜构成。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田贵生，久我智昭，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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