温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种探针装置及检查装置，使薄膜探针的各触头与被检查体的电极确实地接触。该探针装置包括：固定于主体框架侧的探针基座，支承薄膜探针并使其与被检查体的电极进行电接触的探针块，在上述薄膜探针的各触头与被检查体的电极接触的状态下、以均匀的压...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。