【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于等离子体科学与
，涉及到一种射频等离子体探针装置， 用于诊断等离子体，特别是射频和双频等离子体以获得等离子体的密度和电子 温度等参数。
技术介绍
探针是诊断等离子体参数常用的装置，可以分为单探针、双探针等多种类 型。单探针是把一个小金属电极置于等离子体中，在探针与等离子体地之间加 上扫描偏置电压，然后测量探针电流随扫描偏置电压的变化，得到伏安特性曲 线，再通过分析伏安特性曲线就可以得到等离子体的参数。双探针由两个靠近 的单探针构成，扫描偏置电压加在两探针之间也是通过分析伏安特性曲线获得 等离子体的参数。双探针装置与等离子体放电系统不共地，因此双探针对于等 离子体无参考地的情况也可以进行诊断。利用探针诊断射频等离子体时，探针的伏安特性曲线会受到射频信号的严 重干扰。单探针与等离子体放电系统共地，干扰是射频信号直接叠加在探针上 造成的；对于双探针，射频干扰是通过探针装置与等离子体地间的分布电容耦 合造成的。解决这一问题通常的办法是在探针电路中串联若干射频扼流圈，并 在探针头部附近安装辅助电极。这些措施虽然能够使射频扰动得到衰减，但使 探针结构复...
【技术保护点】
一种射频等离子体探针装置，包括双探针、放大驱动电路、模数／数模转换卡和笔记本电脑，其特征在于，双探针置于等离子体中，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统的地，距离大于０．５米；探针装置工作依靠笔记本电脑的电池供电；笔记本电脑由电池供电，不使用交流适配器； 探针装置工作所需的扫描偏置信号由模数／数模转换卡的模拟输出提供； 放大驱动电路、模数／数模转换卡分别从笔记本电脑的ＵＳＢ接口取电；放大驱动电路所需的正负高电压由笔记本电脑的ＵＳＢ接口输出的５Ｖ电压经直流－直流变换模块升压后提供。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陆文琪，王友年，邓新绿，徐军，董闯，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]
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