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本发明涉及到一种射频等离子体探针装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。其特征是由双探针、放大驱动电路、模数／数模转换卡和笔记本电脑构成；除置于等离子体中的双探针外，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统地；探针装置工作完全...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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