【技术实现步骤摘要】
一种可调节放膜辊位套件
本技术属于机械设备组件
,具体涉及一种可调节放膜辊位套件。
技术介绍
曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业.曝光机即电子束曝光机,是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在现有技术中,阻焊曝光机在进行作业时,当产品与膜位置不一致时,使产品加工完成精密度会不高,质量下降,当需要调节产品与膜的位置时,需要停机调整,不仅调整过程麻烦,而且耽误工作效率,影响产品质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可调节放膜辊位套件,旨在解决现有技术中的阻焊曝光机在作业时产品与膜有偏差,需要停机调整,调整方式繁琐、不便捷,且产品加工效率慢精密度不高的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种可调节放膜辊位套件,包括放膜辊、气缸固定板、左固定板和右固定板,所述放膜辊位于左固定板和右固定板之间,所述左固定板的右端开凿有轴承孔,所述轴承孔内壁固定连接有活动轴承,所述气缸固定板的右端 ...
【技术保护点】
1.一种可调节放膜辊位套件,包括放膜辊(6)、气缸固定板(11)、左固定板(13)和右固定板(14),所述放膜辊(6)位于左固定板(13)和右固定板(14)之间,其特征在于:所述左固定板(13)的右端开凿有轴承孔,所述轴承孔内壁固定连接有活动轴承(7),所述气缸固定板(11)的右端转动有固定杆,所述固定杆右侧圆周表面与活动轴承(7)过盈配合,所述气缸固定板(11)的右端前后两侧均固定连接有调节气缸(8),所述固定杆的右端固定连接于放膜辊(6)的左端,所述放膜辊(6)的左端转动连接有螺杆(12),所述螺杆(12)转动连接于右固定板(14)的左端,所述螺杆(12)的右端贯穿右固 ...
【技术特征摘要】
1.一种可调节放膜辊位套件,包括放膜辊(6)、气缸固定板(11)、左固定板(13)和右固定板(14),所述放膜辊(6)位于左固定板(13)和右固定板(14)之间,其特征在于:所述左固定板(13)的右端开凿有轴承孔,所述轴承孔内壁固定连接有活动轴承(7),所述气缸固定板(11)的右端转动有固定杆,所述固定杆右侧圆周表面与活动轴承(7)过盈配合,所述气缸固定板(11)的右端前后两侧均固定连接有调节气缸(8),所述固定杆的右端固定连接于放膜辊(6)的左端,所述放膜辊(6)的左端转动连接有螺杆(12),所述螺杆(12)转动连接于右固定板(14)的左端,所述螺杆(12)的右端贯穿右固定板(14)的右端并向外延伸,所述螺杆(12)的圆周表面螺纹连接有调节螺母(5),所述右固定板(14)的右端固定连接有调节板(4),所述位于右固定板(14)右端的螺杆(12)贯穿于调节板(4)的右端并固定连接有调节杆(2),所述调节杆(2)的右端固定连接有压力表(1)。
2.根据权利要求1所述的一种可调节放膜辊...
【专利技术属性】
技术研发人员:付菊玲,
申请(专利权)人:深圳市欣光辉科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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