【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及曝光机相关，具体是一种升降工作台结构及曝光机。
技术介绍
1、曝光机是集电子光学、机械、真空、电气以及计算机技术等于一体的半导体加工设备。它是通过开启灯光的方式发出uva波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。曝光机即电子串曝光机，在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。
2、现有的升降工作台结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台面的清洁度，严重影响材料的加工质量。因此，针对以上现状，迫切需要提供一种升降工作台结构及曝光机，以克服当前实际应用中的不足。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种升降工作台结构及曝光机，旨在解决上述
技术介绍
中的问题。
2、本专利技术是这样实现的，一种升降工作台结构，包括：
3、主体框架，所述主体框架包括底座、立板以及顶板，所述顶板通过立板固定安装于底座上，且顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元；
4、升降框，所述升降框上固定安装有多组升降板，且底座上还设置有用于带动升降板移动的升降组件；
5、固定安装于升降框上的工作台，所述工作台上开设有多组贯穿孔；
6、以及清理机构，所述清理机构包括抽吸组件以及清理组件，所述抽吸组件包括底板、弹簧和吸尘块，所述底板
7、作为本专利技术进一步的方案：所述按压组件包括：
8、按压板，所述按压板通过移动组件滑动安装于升降框内，且按压板还与清理组件连接；
9、第一导管，所述第一导管在按压板上固定安装有多组，且底板上设置有用于与第二凸块相互挤压的第一凸块。
10、作为本专利技术进一步的方案：所述移动组件包括第二螺纹杆和导向杆，所述导向杆在升降框内至少固定安装有一组，且按压板上开设有与导向杆滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆转动安装于升降框内，且第二螺纹杆与按压板螺纹连接，所述升降板上还设置有用于带动第二螺纹杆转动的驱动组件。
11、作为本专利技术进一步的方案：所述驱动组件包括：
12、第一齿条，所述第一齿条固定安装于底座上；
13、用于与第一齿条相啮合的第二齿轮，所述第二齿轮通过第二转轴转动安装于升降板上；
14、以及传动件，用于所述第二转轴与所述第二螺纹杆之间的连接。
15、作为本专利技术进一步的方案：所述抽气组件包括：
16、分流盒，所述分流盒固定安装于升降框内，且分流盒上连接有第一导管；
17、以及第二导管，用于底板与分流盒之间的连通。
18、作为本专利技术进一步的方案：所述第二导管为伸缩软管。
19、作为本专利技术进一步的方案：所述清理组件包括：
20、与按压组件相连接的联动板，所述联动板滑动安装于升降框上；
21、调节板，所述调节板的一端通过翻转组件转动安装于联动板上；
22、清理辊，所述清理辊转动安装于调节板的另一端；
23、驱动块，所述驱动块固定安装于清理辊上，且升降框上还设置有与驱动块相接触的摩擦板。
24、作为本专利技术进一步的方案：所述驱动块为圆柱形结构，且摩擦板表面和驱动块表面均开设有齿槽。
25、作为本专利技术进一步的方案：所述翻转组件包括：
26、第二齿条，所述第二齿条滑动安装于联动板上，且第二齿条与联动板之间过盈配合；
27、第一转轴，用于调节板与联动板之间的转动连接；
28、以及固定安装于第一转轴上的第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿条相啮合。
29、一种曝光机，包括以上所述的升降工作台结构。
30、与现有技术相比，本专利技术的有益效果：使用时，将待加工材料放置到标示线框选的区域内，便于曝光单元对其进行加工，升降组件通过带动升降板移动的方式，能够带动升降框在竖直方向上移动，从而实现对工作台工作高度的调节；初始状态下，吸尘块顶部与工作台的表面齐平，进行清洁时，首先利用清理组件对工作台的表面进行清扫，清扫的同时，抽气组件工作，使得吸尘孔内产生负压，并且按压组件带动多组底板依次向工作台一侧移动，使得吸尘块凸出工作台的表面，进而使得吸尘孔移动至工作台上方，并对清扫后的工作台进行吸尘，使得工作台始终保持清洁状态，提高材料的加工质量；通过工作台、升降框、升降板、升降组件以及清理组件的配合设置，避免了现有的升降工作台结构大多结构简单，功能单一，多不具备清洁功能，无法保证工作台面的清洁度，严重影响材料的加工质量的问题。
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1.一种升降工作台结构，包括主体框架，所述主体框架包括底座、立板以及顶板，所述顶板通过立板固定安装于底座上，且顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述按压组件包括：
3.根据权利要求2所述的升降工作台结构，其特征在于，所述移动组件包括第二螺纹杆和导向杆，所述导向杆在升降框内至少固定安装有一组，且按压板上开设有与导向杆滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆转动安装于升降框内，且第二螺纹杆与按压板螺纹连接，所述升降板上还设置有用于带动第二螺纹杆转动的驱动组件。
4.根据权利要求3所述的升降工作台结构，其特征在于，所述驱动组件包括：
5.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述抽气组件包括：
6.根据权利要求5所述的升降工作台结构，其特征在于，所述第二导管为伸缩软管。
7.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述清理组件包括：
8.根据权利要求7所述的升降工作台结构，其特征在于，所述驱动块为圆柱形结构，且摩擦板表面和
9.根据权利要求7所述的升降工作台结构，其特征在于，所述翻转组件包括：
10.一种曝光机，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的升降工作台结构。
...【技术特征摘要】
1.一种升降工作台结构，包括主体框架，所述主体框架包括底座、立板以及顶板，所述顶板通过立板固定安装于底座上，且顶板靠近底座的一侧安装有曝光单元，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的升降工作台结构，其特征在于，所述按压组件包括：
3.根据权利要求2所述的升降工作台结构，其特征在于，所述移动组件包括第二螺纹杆和导向杆，所述导向杆在升降框内至少固定安装有一组，且按压板上开设有与导向杆滑动连接的通孔，所述第二螺纹杆转动安装于升降框内，且第二螺纹杆与按压板螺纹连接，所述升降板上还设置有用于带动第二螺纹杆转动的驱动组件。
4.根据权利要求3所述的升降工作台结...
【专利技术属性】
技术研发人员：代晓龙，
申请(专利权)人：深圳市欣光辉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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