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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及曝光机相关,具体是一种曝光定位结构及曝光机。
技术介绍
1、曝光机是集电子光学、机械、真空、电气以及计算机技术等于一体的半导体加工设备。它是通过开启灯光的方式发出uva波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。曝光机即电子串曝光机,在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。曝光定位结构是曝光机中重要的组成部分,主要用于对材料进行固定和定位。
2、现有的曝光定位结构普遍较为简单,在加工线路板时,不便于对不同尺寸的线路板进行固定和定位,存在一定的局限性。因此,针对以上现状,迫切需要提供一种曝光定位结构及曝光机,以克服当前实际应用中的不足。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种曝光定位结构及曝光机,旨在解决上述
技术介绍
中的问题。
2、本专利技术是这样实现的,一种曝光定位结构,包括:
3、底座和顶板,所述顶板通过升降组件安装于底座上,且顶板上还设置有曝光单元;
4、工作台,所述工作台通过立柱固定安装于底座上,且工作台上还开设有定位凹槽;
5、挡板,所述挡板固定安装于工作台上;
6、设置于底座上的定位机构,所述定位机构包括定位组件和用于对待加工线路板进行按压的固定组件,所述定位组件包括第一驱动板、第一支撑板
7、以及用于对第一驱动板靠近弹性伸缩杆的一端进行按压的驱动组件,所述驱动组件设置于底座上,且驱动组件还与固定组件相连接。
8、作为本专利技术进一步的方案:所述固定组件与挡板在工作台上位于同一侧。
9、作为本专利技术进一步的方案:所述固定组件包括:
10、第二支撑板,所述第二支撑板在底座上固定安装有两组,且两组第二支撑板之间设置有支撑轴;
11、第二驱动板,所述第二驱动板上开设有与支撑轴滑动连接的限位孔;
12、调节螺杆,所述调节螺杆与第二驱动板之间螺纹连接,且调节螺杆设置有多组;
13、按压板,所述按压板与调节螺杆之间转动连接;
14、以及联动块,所述联动块的一端与驱动组件固定连接,联动块的另一端与第二驱动板转动连接。
15、作为本专利技术进一步的方案:所述驱动组件包括:
16、电动伸缩杆,所述电动伸缩杆在底座上固定安装有多组;
17、以及升降板,所述升降板与电动伸缩杆的伸缩端固定连接,且升降板还与联动块固定连接。
18、作为本专利技术进一步的方案:所述拓展组件包括:
19、第二转轴,所述第二转轴设置于第一驱动板上;
20、连杆,所述连杆通过连接座与第二转轴转动连接;
21、滑动安装于连杆内的延伸杆,所述延伸杆远离连杆的一端通过连接座与移动块转动连接。
22、作为本专利技术进一步的方案:所述拓展组件还包括电磁铁和磁铁,所述电磁铁固定安装于连杆内,磁铁滑动安装于连杆内,且磁铁与延伸杆固定连接,所述连杆内还设置有用于对磁铁进行弹性支撑的弹簧。
23、作为本专利技术进一步的方案:所述推板内置压力传感器。
24、作为本专利技术进一步的方案:所述升降组件包括内螺纹柱和螺纹杆,所述内螺纹柱在顶板上固定安装有多组,螺纹杆转动安装于底座上,且螺纹杆与内螺纹柱之间螺纹连接,所述底座内还设置有用于带动螺纹杆转动的电机。
25、一种曝光机,包括以上所述的曝光定位结构。
26、与现有技术相比,本专利技术的有益效果:
27、初始状态下,驱动组件对第一驱动板靠近弹性伸缩杆的一侧进行按压,使得第一驱动板通过拓展组件拉动移动块远离定位凹槽,从而使得推板移动至定位凹槽的边缘处,方便将不同尺寸的待加工线路板放置到定位凹槽内;使用时,首先将待加工的线路板放置到定位凹槽内,驱动组件停止对第一驱动板靠近弹性伸缩杆一侧的按压,使得弹性伸缩杆能够推动第一驱动板在第一转轴上转动,使得第一驱动板远离弹性伸缩杆的一端向定位凹槽一侧移动,并配合拓展组件,可以推动移动块向定位凹槽一侧移动,进而使得三组推板均按压到待加工线路板的侧边,使得待加工线路板被定位到挡板和三组推板之间,同时配合固定组件,可以对待加工线路板进行按压,实现对待加工线路板的定位与固定,升降组件通过带动顶板向底座一侧移动的方式,实现对曝光单元工作位置的调节,便于对定位后的线路板进行加工;通过工作台、挡板、定位机构以及驱动组件的配合设置,避免了现有的曝光定位结构普遍较为简单,在加工线路板时,不便于对不同尺寸的线路板进行固定和定位,存在一定的局限性的问题。
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1.一种曝光定位结构,包括底座和顶板,所述顶板通过升降组件安装于底座上,且顶板上还设置有曝光单元,其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述固定组件与挡板在工作台上位于同一侧。
3.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述固定组件包括:
4.根据权利要求3所述的曝光定位结构,其特征在于,所述驱动组件包括:
5.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述拓展组件包括:
6.根据权利要求5所述的曝光定位结构,其特征在于,所述拓展组件还包括电磁铁和磁铁,所述电磁铁固定安装于连杆内,磁铁滑动安装于连杆内,且磁铁与延伸杆固定连接,所述连杆内还设置有用于对磁铁进行弹性支撑的弹簧。
7.根据权利要求5所述的曝光定位结构,其特征在于,所述推板内置压力传感器。
8.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述升降组件包括内螺纹柱和螺纹杆,所述内螺纹柱在顶板上固定安装有多组,螺纹杆转动安装于底座上,且螺纹杆与内螺纹柱之间螺纹连接,所述底座内还设置有用于带动螺纹
9.一种曝光机,其特征在于,包括如权利要求1至8任意一项所述的曝光定位结构。
...【技术特征摘要】
1.一种曝光定位结构,包括底座和顶板,所述顶板通过升降组件安装于底座上,且顶板上还设置有曝光单元,其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述固定组件与挡板在工作台上位于同一侧。
3.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述固定组件包括:
4.根据权利要求3所述的曝光定位结构,其特征在于,所述驱动组件包括:
5.根据权利要求1所述的曝光定位结构,其特征在于,所述拓展组件包括:
6.根据权利要求5所述的曝光定位结构,其特征在于,所述拓展组件还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员:代晓龙,
申请(专利权)人:深圳市欣光辉科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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